MOCVD SiC लेपित सुसेप्टर

तकनीकी मापदंड

सीवीडी एसआईसी फिल्म क्रिस्टल संरचना

उत्पाद परिभाषा और संरचना

VETEK MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर एक प्रीमियम वेफर-ले जाने वाला घटक है जिसे विशेष रूप से GaN और SiC जैसे तीसरी पीढ़ी के अर्धचालकों के एपिटैक्सियल प्रसंस्करण के लिए इंजीनियर किया गया है। यह उत्पाद दो उच्च-प्रदर्शन सामग्रियों के बेहतर भौतिक गुणों को एकीकृत करता है:

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट: आधार सामग्री में असाधारण संरचनात्मक अखंडता, उच्च घनत्व और थर्मल प्रसंस्करण स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए आइसोस्टैटिक प्रेसिंग तकनीक का उपयोग करके निर्मित किया गया है।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग: उन्नत रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) तकनीक के माध्यम से ग्रेफाइट सतह पर एक घनी, तनाव मुक्त सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सुरक्षात्मक परत उगाई जाती है।

VETEK आपकी उपज की गारंटी क्यों है?

थर्मल एकरूपता नियंत्रण में अंतिम परिशुद्धता: पारंपरिक वाहकों के विपरीत, VETEK ससेप्टर्स कोटिंग की मोटाई और थर्मल प्रतिरोध के नैनोमीटर-स्केल सटीक नियंत्रण के माध्यम से पूरी सतह पर अत्यधिक सिंक्रनाइज़ गर्मी हस्तांतरण प्राप्त करते हैं। यह परिष्कृत थर्मल प्रबंधन वेफर सतह पर तरंग दैर्ध्य मानक विचलन (एसटीडी) को प्रभावी ढंग से कम करता है, जिससे एकल-वेफर गुणवत्ता और समग्र बैच स्थिरता दोनों में काफी वृद्धि होती है।

शून्य कण संदूषण से दीर्घकालिक सुरक्षा: अत्यधिक संक्षारक गैसों वाले एमओसीवीडी प्रतिक्रिया कक्षों में, साधारण ग्रेफाइट पेडस्टल में कणों के फटने का खतरा होता है। VETEK की CVD SiC कोटिंग में असाधारण रासायनिक जड़ता होती है, जो एक अभेद्य ढाल के रूप में कार्य करती है जो ग्रेफाइट माइक्रोप्रोर्स को सील कर देती है। यह सब्सट्रेट अशुद्धियों के पूर्ण अलगाव को सुनिश्चित करता है, जिससे GaN या SiC एपीटैक्सियल परतों के किसी भी संदूषण को रोका जा सकता है।

असाधारण थकान प्रतिरोध और सेवा जीवन:VETEK की मालिकाना इंटरफ़ेस उपचार प्रक्रिया के लिए धन्यवाद, हमारी SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट के साथ एक अनुकूलित थर्मल विस्तार मैच प्राप्त करती है। अत्यधिक तापमान के बीच उच्च आवृत्ति थर्मल साइक्लिंग के तहत भी, कोटिंग छीलने या सूक्ष्म दरारें विकसित किए बिना बेहतर आसंजन बनाए रखती है। यह स्पेयर पार्ट के रखरखाव की आवृत्ति को काफी कम कर देता है और आपके स्वामित्व की कुल लागत को कम कर देता है।

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