MOCVD के लिए Sic कोटेड सैटेलाइट कवर

MOCVD के लिए SIC लेपित उपग्रह कवर अपने अत्यधिक उच्च तापमान प्रतिरोध, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और बकाया ऑक्सीकरण प्रतिरोध के कारण वेफर्स पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करने में एक अपूरणीय भूमिका निभाता है।

प्रमुख सामग्री और संरचनाएँ

● सब्सट्रेट: एसआईसी कोटेड कवर के लिए आमतौर पर उच्च शुद्धता ग्रेफाइट या सिरेमिक सब्सट्रेट से बना होता है, जैसे कि आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट, अच्छी यांत्रिक शक्ति और हल्के वजन प्रदान करने के लिए।

● सतह कोटिंग: उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) सामग्री को उच्च तापमान, संक्षारण और कण संदूषण के प्रतिरोध को बढ़ाने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया का उपयोग करके लेपित।

● रूप: आमतौर पर डिस्क-आकार या MOCVD उपकरण (जैसे, Veeco, Aixtron) के विभिन्न मॉडलों को समायोजित करने के लिए विशेष संरचनात्मक डिजाइनों के साथ।

MOCVD प्रक्रिया में उपयोग और प्रमुख भूमिकाएँ:

MOCVD के लिए SIC कोटेड सैटेलाइट कवर मुख्य रूप से MOCVD एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्शन चैंबर में उपयोग किया जाता है, और इसके कार्यों में शामिल हैं:

(1) वेफर्स की रक्षा करना और तापमान वितरण का अनुकूलन करना

MOCVD उपकरणों में एक प्रमुख गर्मी परिरक्षण घटक के रूप में, यह गैर-समान हीटिंग को कम करने और विकास के तापमान की एकरूपता में सुधार करने के लिए वेफर की परिधि को कवर करता है।

विशेषताएँ: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग में उच्च तापमान स्थिरता और थर्मल चालकता है (300W.M (300W.M)^-1-K^-1), जो एपिटैक्सियल लेयर की मोटाई और डोपिंग एकरूपता को बेहतर बनाने में मदद करता है।

(2) कण संदूषण को रोकें और एपिटैक्सियल लेयर क्वालिटी में सुधार करें

SIC कोटिंग की घनी और संक्षारण-प्रतिरोधी सतह स्रोत गैसों (जैसे TMGA, TMAL, NH₃) को MOCVD प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट के साथ प्रतिक्रिया करने से रोकती है और कण संदूषण को कम करती है।

विशेषताएँ: इसकी कम सोखने की विशेषताएं बयान अवशेषों को कम करती हैं, GAN, SIC एपिटैक्सियल वेफर की उपज में सुधार करती हैं।

(३) उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, उपकरण के सेवा जीवन को लंबा करना

उच्च तापमान (> 1000 डिग्री सेल्सियस) और संक्षारक गैसों (जैसे, NH,, H₂) का उपयोग MOCVD प्रक्रिया में किया जाता है। एसआईसी कोटिंग्स रासायनिक कटाव का विरोध करने और उपकरण रखरखाव लागत को कम करने में प्रभावी हैं।

विशेषताएँ: थर्मल विस्तार के अपने कम गुणांक के कारण (4.5 × 10)^-6K^-1), एसआईसी आयामी स्थिरता को बनाए रखता है और थर्मल साइकिलिंग वातावरण में विकृति से बचता है।