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सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक (एसआईसी)सिलिकॉन और कार्बन युक्त एक उन्नत सिरेमिक सामग्री है। 1893 की शुरुआत में, कृत्रिम रूप से संश्लेषित एसआईसी पाउडर एक अपघर्षक के रूप में बड़े पैमाने पर उत्पादित होने लगा। तैयार सिलिकॉन कार्बाइड अनाज को बहुत कठिन बनाने के लिए पाप किया जा सकता हैचीनी मिट्टी की चीज़ें, जो हैसीआईसी सिरेमिक.
सीसी सिरेमिक संरचना
SIC सिरेमिक में उच्च कठोरता, उच्च शक्ति और संपीड़ित प्रतिरोध, उच्च तापमान स्थिरता, अच्छे तापीय चालकता, संक्षारण प्रतिरोध और कम विस्तार गुणांक की उत्कृष्ट विशेषताएं हैं। SIC सिरेमिक वर्तमान में व्यापक रूप से ऑटोमोबाइल, पर्यावरण संरक्षण, एयरोस्पेस, इलेक्ट्रॉनिक सूचना, ऊर्जा, आदि के क्षेत्र में उपयोग किया जाता है, और कई औद्योगिक क्षेत्रों में एक अपूरणीय महत्वपूर्ण घटक या मुख्य भाग बन गया है।
वर्तमान में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की तैयारी प्रक्रिया को विभाजित किया गया हैप्रतिक्रिया sintering, दबावहीन पापी, गर्म दबाया सिंटरिंगऔरपुनरुत्थान sintering। प्रतिक्रिया सिंटरिंग में सबसे बड़ा बाजार और कम उत्पादन लागत है; दबाव रहित सिंटरिंग की उच्च लागत लेकिन उत्कृष्ट प्रदर्शन है; हॉट प्रेस्ड सिन्टरिंग में सबसे अच्छा प्रदर्शन होता है लेकिन उच्च लागत होती है, और इसका उपयोग मुख्य रूप से उच्च-सटीक क्षेत्रों जैसे एयरोस्पेस और सेमीकंडक्टर्स में किया जाता है; Recrystallization sintering खराब प्रदर्शन के साथ झरझरा सामग्री पैदा करता है। इसलिए, सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किए जाने वाले एसआईसी सिरेमिक को अक्सर गर्म दबाए गए सिंटरिंग द्वारा तैयार किया जाता है।
अन्य सात प्रकार के SIC की तुलना में गर्म दबाए गए SIC सिरेमिक (HPSC) के सापेक्ष लाभ और नुकसान:
विभिन्न उत्पादन विधियों द्वारा मुख्य बाजार और एसआईसी का प्रदर्शन
गर्म दबाए गए सिंटरिंग द्वारा sic सिरेमिक की तैयारी:
•कच्चे माल की तैयारी: उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड पाउडर को कच्चे माल के रूप में चुना जाता है, और यह यह सुनिश्चित करने के लिए बॉल मिलिंग, स्क्रीनिंग और अन्य प्रक्रियाओं द्वारा पूर्व-उपचारित है कि पाउडर का कण आकार वितरण समान है।
•मोल्ड डिजाइन: तैयार होने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के आकार और आकार के अनुसार एक उपयुक्त मोल्ड डिजाइन करें।
•मोल्ड लोडिंग और दबाया: पूर्व-उपचारित सिलिकॉन कार्बाइड पाउडर को मोल्ड में लोड किया जाता है, और फिर उच्च तापमान और उच्च दबाव की स्थिति के तहत दबाया जाता है।
•सिन्टरिंग और कूलिंग: दबाए जाने के बाद, मोल्ड और सिलिकॉन कार्बाइड खाली को सिंटरिंग के लिए एक उच्च तापमान भट्टी में रखा जाता है। सिंटरिंग प्रक्रिया के दौरान, सिलिकॉन कार्बाइड पाउडर धीरे -धीरे घने सिरेमिक शरीर बनाने के लिए एक रासायनिक प्रतिक्रिया से गुजरता है। सिंटरिंग के बाद, उत्पाद को एक उपयुक्त शीतलन विधि का उपयोग करके कमरे के तापमान पर ठंडा किया जाता है।
गर्म दबाए गए सिलिकॉन कार्बाइड इंडक्शन भट्ठी का वैचारिक आरेख:
• (1) हाइड्रोलिक प्रेस लोड वेक्टर;
• (2) हाइड्रोलिक प्रेस स्टील पिस्टन;
• (3) हीट सिंक;
• (4) उच्च घनत्व ग्रेफाइट लोड स्थानांतरण पिस्टन;
• (5) उच्च घनत्व ग्रेफाइट हॉट प्रेस्ड डाई;
• (6) ग्रेफाइट लोड-असर भट्ठी इन्सुलेशन;
• (7) एयरटाइट वाटर-कूल्ड भट्ठी कवर;
• (8) एयरटाइट भट्ठी की दीवार में एम्बेडेड वाटर-कूल्ड कॉपर इंडक्शन कॉइल पाइप;
• (9) संपीड़ित ग्रेफाइट फाइबरबोर्ड इन्सुलेशन परत;
• (10) एयरटाइट वाटर-कूल्ड भट्ठी;
• (11) हाइड्रोलिक प्रेस फ्रेम लोड-असर निचले बीम को दिखाते हुए फोर्स रिएक्शन वेक्टर;
• (12) HPSC ceramic body
हॉट प्रेस्ड SIC सिरेमिक हैं:
•उच्च पुrity:0.98% (एकल क्रिस्टल SIC 100% शुद्ध है)।
•पूरी तरह से घना: 100% घनत्व आसानी से प्राप्त किया जाता है (एकल क्रिस्टल एसआईसी 100% घना है)।
•बहुमूल्यस्टैलिन.
•अल्ट्राफाइन ग्रेन हॉट प्रेस्ड एसआईसी सेरामिक्स माइक्रोस्ट्रक्चर आसानी से 100% घनत्व प्राप्त करता है। यह SIC के अन्य सभी रूपों से बेहतर गर्म दबा हुआ SIC सिरेमिक बनाता है, जिसमें एकल क्रिस्टल SIC और प्रत्यक्ष sintered Sic शामिल हैं।
इसलिए, एसआईसी सिरेमिक में बेहतर गुण होते हैं जो अन्य सिरेमिक सामग्री को पार करते हैं।
सेमीकंडक्टर उद्योग में, एसआईसी सिरेमिक का व्यापक रूप से उपयोग किया गया है, जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड पीसने के लिए पीस पीसवेफर्स, वेफर हैंडलिंग एंड इफेक्टरवेफर्स के परिवहन के लिए, और हीट ट्रीटमेंट इक्विपमेंट के रिएक्शन चैंबर में भागों, आदि।
SIC सिरेमिक पूरे अर्धचालक उद्योग में एक बड़ी भूमिका निभा रहे हैं, और अर्धचालक प्रौद्योगिकी के निरंतर उन्नयन के साथ, वे एक अधिक महत्वपूर्ण स्थिति पर कब्जा कर लेंगे।
अब, एसआईसी सिरेमिक के सिंटरिंग तापमान को कम करना और नई और सस्ती उत्पादन प्रक्रियाओं को ढूंढना अभी भी भौतिक श्रमिकों का अनुसंधान फोकस है। उसी समय, SIC सिरेमिक के सभी लाभों की खोज और विकास करना और मानव जाति को लाभान्वित करना वेटेक अर्धचालक का प्राथमिक कार्य है। हम मानते हैं कि SIC सिरेमिक में व्यापक विकास और अनुप्रयोग की संभावनाएं होंगी।
Vetesemicon के भौतिक गुण sintered सिलिकॉन कार्बाइड :
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
रासायनिक रचना
Sic> 95%, और <5%
थोक घनत्व
> 3.07 ग्राम/सेमी।
स्पष्ट पोरसिटी
<0.1%
20 ℃ पर टूटना का मापांक
270 एमपीए
1200 पर टूटना का मापांक ℃
290 एमपीए
20 ℃ पर कठोरता
2400 किग्रा/mm²
20% पर फ्रैक्चर क्रूरता
3.3 एमपीए · एम1/2
1200 पर थर्मल चालकता ℃
45 डब्ल्यू/एम.के.
20-1200 पर थर्मल विस्तार ℃
4.51 × 10-6/℃
अधिकतम कार्य तापमान
1400 ℃
1200 पर थर्मल शॉक प्रतिरोध
अच्छा
वेटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर चीनी निर्माता और आपूर्तिकर्ता है उच्च शुद्धता sic वेफर नाव वाहक, उच्च शुद्धता sic ब्रैकट पैडल, सीसी ब्रैकट पैडल, सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट, Mocvd sic कोटिंग सूसोसेप्टरऔर अन्य अर्धचालक सिरेमिक। वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए विभिन्न कोटिंग उत्पादों के लिए उन्नत समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है।
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