वेफर हैंडलिंग एंड इफेक्टर

वेफर हैंडलिंग एंड इफ़ेक्टर एक प्रकार का रोबोट हाथ है जो विशेष रूप से अर्धचालक उद्योग के लिए डिज़ाइन किया गया है, आमतौर पर संभालने और स्थानांतरित करने के लिए उपयोग किया जाता हैवेफर्स। वेफर्स के उत्पादन वातावरण के लिए अत्यधिक उच्च स्वच्छता की आवश्यकता होती है, क्योंकि छोटे कणों या दूषित पदार्थों को प्रसंस्करण के दौरान चिप्स विफल होने का कारण बन सकता है। 

उनके उत्कृष्ट भौतिक और रासायनिक गुणों के कारण इन हाथों के निर्माण में सिरेमिक सामग्री का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

शुद्धता और रचना

एल्यूमिना की शुद्धता आमतौर पर .999.9% होती है, और प्लाज्मा नक़्क़ाशी के प्रतिरोध में सुधार करने के लिए धातु अशुद्धियों (जैसे कि MGO, CAO, Sio₂) को 0.05% से 0.8% के भीतर नियंत्रित किया जाता है।

α- चरण एल्यूमिना (कोरंडम संरचना) मुख्य है, क्रिस्टल प्रकार स्थिर है, घनत्व 3.98 ग्राम/सेमी, है, और सिंटरिंग के बाद वास्तविक घनत्व 3.6 ~ 3.9 ग्राम/सेमी है।

यांत्रिक संपत्ति

कठोरता: मोह्स हार्डनेस 9 ~ 9.5, विकर्स हार्डनेस 1800 ~ 2100 एचवी, स्टेनलेस स्टील और मिश्र धातु से अधिक।

झुकने की शक्ति: 300 ~ 400 एमपीए, जो वेफर की उच्च गति से निपटने के यांत्रिक तनाव का सामना कर सकता है।

लोचदार मापांक: 380 ~ 400 GPA, यह सुनिश्चित करने के लिए कि हैंडलिंग आर्म कठोर है और विकृत करना आसान नहीं है।

थर्मल और विद्युत गुण

ऊष्मीय चालकता?

तापमान प्रतिरोध: लंबे समय तक उपयोग तापमान 850 ~ 1300 ℃ तक पहुंच सकता है, वैक्यूम उच्च तापमान वातावरण के लिए उपयुक्त है।

सतह की विशेषता

सतह खुरदरापन: Ra rach 0.2μm (पॉलिश करने के बाद) वेफर खरोंच से बचने के लिए

वैक्यूम सोखना पोरसिटी: आइसोस्टैटिक प्रेसिंग, पोरसिटी <0.5%द्वारा प्राप्त खोखली संरचना।

दूसरा, संरचनात्मक डिजाइन विशेषताएं

हल्के और शक्ति अनुकूलन

एक एकीकृत मोल्डिंग प्रक्रिया का उपयोग करते हुए, वजन धातु की भुजा का केवल 1/3 है, जिससे जड़ता के कारण स्थिति त्रुटि कम होती है।

एंड-इफेक्टर को एक ग्रिपर या वैक्यूम एब्जॉर्बर के रूप में डिज़ाइन किया गया है, और संपर्क सतह को इलेक्ट्रोस्टैटिक सोखना द्वारा 710 को दूषित करने से रोकने के लिए एक एंटीस्टैटिक कोटिंग के साथ लेपित किया गया है।

प्रदूषण प्रतिरोध

उच्च शुद्धता एल्यूमिना रासायनिक रूप से अक्रिय है, धातु आयनों को जारी नहीं करती है, और सेमी F47 स्वच्छता मानक (कण प्रदूषण <10 पीपीएम) से मिलती है।

तीसरा, विनिर्माण प्रक्रिया आवश्यकताएं

गठन और sintering

सामग्री घनत्व> 99.5%सुनिश्चित करने के लिए आइसोस्टैटिक दबाव (दबाव 200 ~ 300 एमपीए)।

उच्च तापमान sintering (1600 ~ 1800 ℃), ताकत और क्रूरता को संतुलित करने के लिए 1 ~ 5μm में अनाज का आकार नियंत्रण।

परिशुद्धता मशीनिंग

डायमंड पीस प्रोसेसिंग, डायमेंशनल सटीकता respost 0.01 मिमी, सपाटता resply 0.05 मिमी/मी

अर्धविराम उत्पादों की दुकानें: