झरझरा सिरेमिक चक

Veteksemicon द्वारा पेश किए गए झरझरा SIC सिरेमिक चक उच्च-शुद्धता वाले झरझरा सिलिकॉन कार्बाइड (SIC) से बनाया गया है, यह सिरेमिक चक उच्च वैक्यूम और तापमान की स्थिति के तहत समान गैस प्रवाह, उत्कृष्ट सपाटता और थर्मल स्थिरता सुनिश्चित करता है। यह वैक्यूम क्लैम्पिंग सिस्टम के लिए आदर्श है, जहां गैर-संपर्क, कण-मुक्त वेफर हैंडलिंग महत्वपूर्ण है।

Ⅰ। प्रमुख सामग्री गुण और प्रदर्शन लाभ

1। उत्कृष्ट तापीय चालकता और तापमान प्रतिरोध

सिलिकॉन कार्बाइड उच्च तापीय चालकता (120-200 w/m · k) प्रदान करता है और 1600 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के तापमान का सामना कर सकता है, जिससे प्लाज्मा नक़्क़ाशी, आयन बीम प्रसंस्करण और उच्च-तापमान जमाव प्रक्रियाओं के लिए चक आदर्श बन जाता है।

भूमिका: एक समान गर्मी अपव्यय सुनिश्चित करता है, वेफर वारपेज को कम करता है और प्रक्रिया एकरूपता में सुधार करता है।

2। बेहतर यांत्रिक शक्ति और पहनने के प्रतिरोध

SIC का घना माइक्रोस्ट्रक्चर चक को असाधारण कठोरता (> 2000 HV) और मैकेनिकल ड्यूरेबिलिटी देता है, जो कि वेफर लोडिंग/अनलोडिंग चक्र और कठोर प्रक्रिया वातावरण को दोहराने के लिए आवश्यक है।

भूमिका: आयामी स्थिरता और सतह की सटीकता को बनाए रखते हुए चक के जीवनकाल को लम्बा खींचता है।

3। समान वैक्यूम वितरण के लिए नियंत्रित छिद्र

सिरेमिक की बारीक ट्यून्ड झरझरा संरचना वेफर सतह पर लगातार वैक्यूम सक्शन को सक्षम करती है, न्यूनतम कण संदूषण के साथ सुरक्षित वेफर प्लेसमेंट सुनिश्चित करती है।

भूमिका: क्लीनरूम संगतता को बढ़ाता है और क्षति-मुक्त वेफर प्रसंस्करण सुनिश्चित करता है।

4। उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध

संक्षारक गैसों और प्लाज्मा वातावरण के लिए SIC की जड़ता प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी या रासायनिक सफाई के दौरान चक को गिरावट से बचाती है।

भूमिका: डाउनटाइम को कम करता है और आवृत्ति की सफाई करता है, परिचालन लागत को कम करता है।

Ⅱ। Veteksemicon का अनुकूलन और समर्थन सेवाएं

Veteksemicon में, हम अर्धचालक निर्माताओं की सटीक मांगों को पूरा करने के लिए अनुरूप सेवाओं का एक पूर्ण स्पेक्ट्रम प्रदान करते हैं:

● कस्टम ज्यामिति और छिद्र आकार डिजाइन: हम विभिन्न आकारों, मोटाई और ताकना घनत्वों में चक प्रदान करते हैं जो आपके उपकरण विनिर्देशों और वैक्यूम आवश्यकताओं के लिए अनुकूलित हैं।

● फास्ट टर्नअराउंड प्रोटोटाइपिंग: आर एंड डी और पायलट लाइनों के लिए लघु लीड टाइम्स और कम एमओक्यू उत्पादन समर्थन।

● बिक्री के बाद की सेवा: स्थापना मार्गदर्शन से जीवनचक्र निगरानी तक, हम दीर्घकालिक प्रदर्शन स्थिरता और तकनीकी सहायता सुनिश्चित करते हैं।

Ⅲ। अनुप्रयोग

● नक़्क़ाशी और प्लाज्मा प्रसंस्करण उपकरण

● आयन आरोपण और चैम्बर्स को एनीलिंग

● केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (CMP) सिस्टम

● मेट्रोलॉजी और निरीक्षण मंच

● क्लीनरूम वातावरण में वैक्यूम होल्डिंग और क्लैंपिंग सिस्टम

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