वेफर नौकाओं को संभालने और समर्थन करने के लिए वेटेक सेमीकंडक्टर के एसआईसी कैंटिलीवर पैडल का उपयोग गर्मी उपचार भट्टियों में किया जाता है। SIC सामग्री की उच्च तापमान स्थिरता और उच्च तापीय चालकता अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रिया में उच्च दक्षता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करती है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में अपने दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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वीटेक सेमीकंडक्टर की SiC कैंटिलीवर पैडल विशेषताएं:
उच्च तापमान स्थिरता: उच्च तापमान पर अपने आकार और संरचना को बनाए रखने में सक्षम, उच्च तापमान प्रसंस्करण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त।
संक्षारण प्रतिरोध: विभिन्न रसायनों और गैसों के लिए उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध।
उच्च शक्ति और कठोरता: विरूपण और क्षति को रोकने के लिए विश्वसनीय समर्थन प्रदान करता है।
वेटेक सेमीकंडक्टर के SIC कैंटिलीवर पैडल के लाभ:
उच्च परिशुद्धता: उच्च प्रसंस्करण सटीकता स्वचालित उपकरणों में स्थिर संचालन सुनिश्चित करती है।
कम संदूषण: उच्च शुद्धता वाली SiC सामग्री संदूषण के जोखिम को कम करती है, जो विशेष रूप से अति-स्वच्छ विनिर्माण वातावरण के लिए महत्वपूर्ण है।
उच्च यांत्रिक गुण: उच्च तापमान और उच्च दबावों के साथ कठोर कामकाजी वातावरण का सामना करने में सक्षम।
SIC कैंटिलीवर पैडल और इसके अनुप्रयोग सिद्धांत के विशिष्ट अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर विनिर्माण में सिलिकॉन वेफर हैंडलिंग:
SiC कैंटिलीवर पैडल का उपयोग मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण के दौरान सिलिकॉन वेफर्स को संभालने और समर्थन करने के लिए किया जाता है। इन प्रक्रियाओं में आमतौर पर सफाई, नक़्क़ाशी, कोटिंग और गर्मी उपचार शामिल होते हैं। अनुप्रयोग सिद्धांत:
Silicon wafer handling: SiC Cantilever Paddle is designed to safely clamp and move silicon wafers. During high temperature and chemical treatment processes, the high hardness and strength of SiC material ensure that the silicon wafer will not be damaged or deformed.
रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया:
सीवीडी प्रक्रिया में, एसआईसी कैंटिलीवर पैडल का उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को ले जाने के लिए किया जाता है ताकि पतली फिल्मों को उनकी सतहों पर जमा किया जा सके। आवेदन सिद्धांत:
सीवीडी प्रक्रिया में, प्रतिक्रिया कक्ष में सिलिकॉन वेफर को ठीक करने के लिए SiC कैंटिलीवर पैडल का उपयोग किया जाता है, और गैसीय अग्रदूत उच्च तापमान पर विघटित होता है और सिलिकॉन वेफर की सतह पर एक पतली फिल्म बनाता है। SiC सामग्री का रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध उच्च तापमान और रासायनिक वातावरण के तहत स्थिर संचालन सुनिश्चित करता है।
SIC कैंटिलीवर पैडल का उत्पाद पैरामीटर
पुनर्गणित सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस)
1600 डिग्री सेल्सियस (ऑक्सीजन के साथ), 1700 डिग्री सेल्सियस (वातावरण को कम करना)
Sic सामग्री
> 99.96%
निःशुल्क सी सामग्री
<0.1%
थोक घनत्व
2.60-2.70 ग्राम/सेमी3
स्पष्ट पोरसिटी
<16%
संपीड़न ताकत
> 600 एमपीए
ठंडी झुकने की ताकत
80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस)
गर्म झुकने की शक्ति
90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस)
थर्मल विस्तार @1500 डिग्री सेल्सियस
4.70x10-6/° C
तापीय चालकता @1200°C
23 w/m • k
लोचदार मापांक
240 जीपीए
थर्मल सदमे प्रतिरोध
बहुत ही अच्छा
उत्पादन की दुकानें:
सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:
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