उच्च शुद्धता SiC वेफर नाव वाहक

VeTekSemi उच्च शुद्धता SiC वेफर नाव वाहक एक महत्वपूर्ण असर घटक है जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में एनीलिंग भट्टियों, प्रसार भट्टियों और अन्य उपकरणों में किया जाता है। उच्च शुद्धता SiC वेफर नाव वाहक आमतौर पर उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री से बना होता है और इसमें मुख्य रूप से निम्नलिखित भाग शामिल होते हैं:

• नाव समर्थन निकाय: एक ब्रैकेट के समान एक संरचना, विशेष रूप से ले जाने के लिए उपयोग किया जाता हैसिलिकॉन वेफ़र्सया अन्य अर्धचालक सामग्री।

• समर्थन संरचना: इसका समर्थन संरचना डिजाइन इसे उच्च तापमान पर भारी भार वहन करने में सक्षम बनाता है और उच्च तापमान उपचार के दौरान विकृत या क्षति नहीं करेगा।

सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री

के भौतिक गुणपुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड：

यदि उत्पादन प्रक्रिया की आवश्यकताएँ अधिक हैं,सीवीडी एसआईसी कोटिंगउच्च शुद्धता SIC वेफर बोट वाहक पर किया जा सकता है ताकि शुद्धता को 99.99995%से अधिक तक पहुंच सके, जिससे इसके उच्च तापमान प्रतिरोध में सुधार हो सके।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

उच्च तापमान उपचार के दौरान, उच्च शुद्धता SiC वेफर नाव वाहक स्थानीय ओवरहीटिंग से बचने के लिए सिलिकॉन वेफर को समान रूप से गर्म करने में सक्षम बनाता है। इसके अलावा, सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री का उच्च तापमान प्रतिरोध इसे 1200 डिग्री सेल्सियस या इससे भी अधिक तापमान पर संरचनात्मक स्थिरता बनाए रखने में सक्षम बनाता है।

प्रसार या एनीलिंग प्रक्रिया के दौरान, कैंटिलीवर पैडल और उच्च शुद्धता sic वेफर बोट वाहक एक साथ काम करते हैं।कैंटिलीवर पैडलधीरे -धीरे उच्च शुद्धता sic वेफर बोट वाहक को सिलिकॉन वेफर को भट्ठी कक्ष में ले जाता है और प्रसंस्करण के लिए एक निर्दिष्ट स्थिति पर रोकता है। 

उच्च शुद्धता sic वेफर बोट वाहक सिलिकॉन वेफर के साथ संपर्क बनाए रखता है और गर्मी उपचार प्रक्रिया के दौरान एक विशिष्ट स्थिति में तय होता है, जबकि ब्रैकट पैडल तापमान एकरूपता सुनिश्चित करते हुए पूरी संरचना को सही स्थिति में रखने में मदद करता है।

उच्च शुद्धता SIC वेफर बोट कैरियर और कैंटिलीवर पैडल उच्च तापमान प्रक्रिया की सटीकता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए एक साथ काम करते हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर आपको अपनी आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित उच्च शुद्धता sic वेफर बोट वाहक प्रदान करता है। आपकी जांच के लिए आगे देख रहे हैं।

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