ठोस sic डिस्क-आकार का शॉवर हेड

सीवीडी प्रक्रिया में ठोस एसआईसी डिस्क-आकार के शॉवर हेड की भूमिका समान रूप से बयान क्षेत्र के ऊपर प्रतिक्रिया गैस को वितरित करना है ताकि गैस को एक फ्लैट और समान फिल्म प्राप्त करने के लिए पूरे रिएक्टर में समान रूप से विसरित किया जा सके।

ठोस sic शॉवर सिर CVD भट्ठी के शीर्ष पर या गैस इनलेट के पास सेट किया गया है। प्रतिक्रिया गैस शॉवर सिर पर वितरित छेदों के माध्यम से डिस्क के आकार की संरचना में प्रवेश करती है और शॉवर सिर की सतह के साथ चारों ओर फैलता है। कई चैनल डिज़ाइन और समान रूप से वितरित आउटलेट के माध्यम से, प्रतिक्रिया गैस पूरे रिएक्टर क्षेत्र में समान रूप से प्रवाहित हो सकती है, एकाग्रता या अशांति से बच सकती है, और सब्सट्रेट पर जमा परत की मोटाई की स्थिरता सुनिश्चित कर सकती है।

इसी समय, सेमीकंडक्टर डिस्क शॉवर शॉवर हेड की संरचना में एक प्रसार प्रभाव भी होता है, जो गैस की प्रवाह दर को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है, ताकि यह समान रूप से नोजल आउटलेट पर फैलता हो, और बयान प्रभाव पर स्थानीय गैस प्रवाह परिवर्तनों के प्रभाव को कम कर सके। यह सब्सट्रेट पर प्रत्यक्ष गैस प्रभाव से बचने और असमान बयान की समस्या को रोकने में मदद करता है।

सामग्रियों के दृष्टिकोण से, ठोस एसआईसी गैस शॉवर सिर उच्च तापमान प्रतिरोधी, संक्षारण प्रतिरोधी, और बहुत उच्च स्थिरता के साथ उच्च शक्ति वाले ठोस एसआईसी सामग्री से बना है। यह सीवीडी भट्ठी में लंबे समय तक काम कर सकता है और एक लंबी सेवा जीवन है।

वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च गुणवत्ता वाले अनुकूलित सेवाएं प्रदान करता है। ठोस एसआईसी डिस्क-आकार के शॉवर हेड के आकार और छेद लेआउट को अलग-अलग गैस प्रकारों, प्रवाह दरों और बयान सामग्री के अनुकूल बनाने के लिए ग्राहक की प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुसार लचीले ढंग से समायोजित किया जा सकता है। रिएक्टरों या सब्सट्रेट आकार के विभिन्न आकारों के लिए, गैस वितरण प्रभाव को अनुकूलित करने के लिए अलग-अलग व्यास और छेद वितरण के साथ डिस्क-आकार के शॉवर हेड को अनुकूलित किया जा सकता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर में सॉलिड एसआईसी सेमीकंडक्टर शॉवर हेड प्रोडक्ट्स के लिए परिपक्व प्रक्रियाएं और उन्नत प्रौद्योगिकियां हैं, जो बड़ी संख्या में ग्राहकों को सीवीडी प्रक्रियाओं में निरंतर प्रगति प्राप्त करने में मदद करती हैं। वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर है।

ठोस sic के भौतिक गुण

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