SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागों

एसआईसी एपिटैक्सियल ग्रोथ भट्टी के रिएक्शन चैंबर में, एसआईसी कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट पार्ट्स गैस फ्लो डिस्ट्रीब्यूशन, थर्मल फील्ड कंट्रोल और रिएक्शन वायुमंडल एकरूपता के अनुकूलन के लिए प्रमुख घटक हैं। वे आमतौर पर sic कोटिंग से बने होते हैंग्रेफाइट,आधे चाँद के आकार में डिज़ाइन किया गया, सब्सट्रेट क्षेत्र के आसपास, प्रतिक्रिया कक्ष के ऊपरी और निचले ग्रेफाइट भागों में स्थित है।

    •ऊपरी अर्धचंद्राकार ग्रेफाइट भाग: प्रतिक्रिया कक्ष के ऊपरी भाग में, गैस इनलेट के पास, सब्सट्रेट सतह की ओर प्रवाह करने के लिए प्रतिक्रिया गैस का मार्गदर्शन करने के लिए जिम्मेदार।

    •कम हाफमून ग्रेफाइट भाग: प्रतिक्रिया कक्ष के निचले भाग में स्थित, आमतौर पर सब्सट्रेट धारक के नीचे, गैस प्रवाह दिशा को नियंत्रित करने और सब्सट्रेट के नीचे थर्मल क्षेत्र और गैस वितरण को अनुकूलित करने के लिए उपयोग किया जाता है।

दौरानSic epitaxy प्रक्रिया, ऊपरी आधा-चंद्रमा ग्रेफाइट भाग गैस प्रवाह को सब्सट्रेट पर समान रूप से वितरित करने में मदद करता है, गैस को सब्सट्रेट सतह पर सीधे प्रभाव डालने से रोकता है और स्थानीय अति ताप या वायु प्रवाह अशांति का कारण बनता है। निचला आधा-चंद्रमा ग्रेफाइट भाग गैस को सब्सट्रेट के माध्यम से सुचारू रूप से प्रवाहित करने और फिर डिस्चार्ज होने की अनुमति देता है, जबकि अशांति को एपिटैक्सियल परत की विकास एकरूपता को प्रभावित करने से रोकता है।

थर्मल फील्ड रेगुलेशन के संदर्भ में ， Sic कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागों को आकार और स्थिति के माध्यम से प्रतिक्रिया कक्ष में गर्मी को समान रूप से वितरित करने में मदद करता है। ऊपरी हाफमून ग्रेफाइट भाग प्रभावी रूप से हीटर की उज्ज्वल गर्मी को प्रतिबिंबित कर सकता है ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि सब्सट्रेट के ऊपर का तापमान स्थिर है। निचले आधे-चांद ग्रेफाइट भाग की भी एक समान भूमिका होती है, जो अत्यधिक तापमान के अंतर को रोकने के लिए गर्मी चालन के माध्यम से सब्सट्रेट के नीचे गर्मी को समान रूप से वितरित करने में मदद करता है।

SiC कोटिंग घटकों को उच्च तापमान के प्रति प्रतिरोधी और तापीय रूप से प्रवाहकीय बनाती है, इसलिए VeTek सेमीकंडक्टर के हाफमून भागों का सेवा जीवन लंबा होता है। सावधानी से डिजाइन किए गए, SiC एपिटेक्सी के लिए हमारे आधे-चाँद ग्रेफाइट भागों को कई एपिटेक्सियल रिएक्टरों में निर्बाध रूप से एकीकृत किया जा सकता है, जिससे सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया की समग्र दक्षता और विश्वसनीयता में सुधार करने में मदद मिलती है। आपके SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागों को जो भी आवश्यकता हो, कृपया VeTek सेमीकंडक्टर से संपर्क करें।

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