सिलिकॉन कार्बाइड लेपित एपी ससेप्टर

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी गैस चरण, तरल चरण या आणविक बीम जमाव जैसी विधियों द्वारा सब्सट्रेट सामग्री की सतह पर एक विशिष्ट जाली संरचना के साथ एक पतली फिल्म के विकास को संदर्भित करता है, ताकि नई विकसित पतली फिल्म परत (एपिटैक्सियल परत) हो सब्सट्रेट के समान या समान जाली संरचना और अभिविन्यास। 

अर्धचालक विनिर्माण में एपिटैक्सी तकनीक महत्वपूर्ण है, विशेष रूप से उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्मों की तैयारी में, जैसे कि एकल क्रिस्टल लेयर्स, हेटरोस्ट्रक्चर और क्वांटम संरचनाएं उच्च प्रदर्शन वाले उपकरणों के निर्माण के लिए उपयोग की जाती हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ईपीआई सुसज्जित एक प्रमुख घटक है जिसका उपयोग एपिटैक्सियल ग्रोथ उपकरणों में सब्सट्रेट का समर्थन करने के लिए किया जाता है और इसका व्यापक रूप से सिलिकॉन एपिटैक्सी में उपयोग किया जाता है। एपिटैक्सियल पेडस्टल की गुणवत्ता और प्रदर्शन सीधे एपिटैक्सियल परत की वृद्धि गुणवत्ता को प्रभावित करते हैं और अर्धचालक उपकरणों के अंतिम प्रदर्शन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी विधि द्वारा एसजीएल ग्रेफाइट की सतह पर एसआईसी कोटिंग की एक परत को लेपित करता है, और उच्च तापमान प्रतिरोध, ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता जैसे गुणों के साथ एसआईसी लेपित ईपीआई सूसोसेप्टर प्राप्त किया।

एक विशिष्ट बैरल रिएक्टर में, सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ईपीआई सूसोसेक्टर में एक बैरल संरचना होती है। SIC कोटेड EPI Souscector के नीचे घूर्णन शाफ्ट से जुड़ा हुआ है। एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया के दौरान, यह बारी -बारी से दक्षिणावर्त और वामावर्त रोटेशन को बनाए रखता है। प्रतिक्रिया गैस नोजल के माध्यम से प्रतिक्रिया कक्ष में प्रवेश करती है, ताकि गैस का प्रवाह प्रतिक्रिया कक्ष में एक समान रूप से एक समान वितरण बनाता है, और अंत में एक समान एपिटैक्सियल परत विकास बनाता है।

एसआईसी कोटेड ग्रेफाइट और ऑक्सीकरण समय के बड़े पैमाने पर परिवर्तन के बीच संबंध

प्रकाशित अध्ययनों के नतीजे बताते हैं कि 1400℃ और 1600℃ पर, SiC लेपित ग्रेफाइट का द्रव्यमान बहुत कम बढ़ता है। यानी SiC लेपित ग्रेफाइट में मजबूत एंटीऑक्सीडेंट क्षमता होती है। इसलिए, SiC लेपित एपी ससेप्टर अधिकांश एपिटैक्सियल भट्टियों में लंबे समय तक काम कर सकता है। यदि आपकी अधिक आवश्यकताएं या अनुकूलित आवश्यकताएं हैं, तो कृपया हमसे संपर्क करें। हम सर्वोत्तम गुणवत्ता वाले SiC लेपित एपी ससेप्टर समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण

यह अर्धचालकसिलिकॉन कार्बाइड लेपित एपी ससेप्टर दुकानें