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सिलिकॉन कार्बाइड सिस वेफर बोट
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सिलिकॉन कार्बाइड सिस वेफर बोट

Veteksemicon sic वेफर नौकाओं का उपयोग अर्धचालक विनिर्माण में महत्वपूर्ण उच्च तापमान प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जो सिलिकॉन-आधारित एकीकृत सर्किट के लिए ऑक्सीकरण, प्रसार और एनीलिंग प्रक्रियाओं के लिए विश्वसनीय वाहक के रूप में सेवा करता है। वे तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर सेक्टर में भी उत्कृष्ट प्रदर्शन करते हैं, जो कि SIC और GAN बिजली उपकरणों के लिए एपिटैक्सियल ग्रोथ (EPI) और मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वाष्प डिपोजिशन (MOCVD) जैसी प्रक्रियाओं की मांग के लिए पूरी तरह से अनुकूल हैं। वे फोटोवोल्टिक उद्योग में उच्च दक्षता वाले सौर कोशिकाओं के उच्च तापमान निर्माण का भी समर्थन करते हैं। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।

Veteksemicon sic वेफर बोट एक कोर वाहक है जिसे विशेष रूप से उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च-शुद्धता वाले आइसोस्टिक रूप से दबाए गए ग्रेफाइट को अपने सब्सट्रेट के रूप में उपयोग करते हुए, यह उत्पाद सतह पर एक घने, गैर-पोती सिलिकॉन कार्बाइड सुरक्षात्मक परत बनाने के लिए पेटेंट रासायनिक वाष्प जमाव प्रौद्योगिकी का उपयोग करता है।


यह परत मूल रूप से सिलिकॉन कार्बाइड के असाधारण संक्षारण प्रतिरोध के साथ ग्रेफाइट की उत्कृष्ट तापीय चालकता को जोड़ती है। सख्ती से नियंत्रित कोटिंग 80-120μm की मोटाई प्राप्त करती है, विभिन्न अम्लीय और क्षारीय वायुमंडल से संक्षारण का प्रभावी ढंग से विरोध करती है, जिससे धातु संदूषण के जोखिम को कम करता है। यह उच्च तापमान वाले वातावरण में भी संरचनात्मक स्थिरता और आयामी अखंडता को बनाए रखता है, ऑक्सीकरण, प्रसार और एपिटैक्सियल विकास जैसी महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं के दौरान वेफर्स के लिए विश्वसनीय संरक्षण और सहायता प्रदान करता है, प्रभावी रूप से पारंपरिक ग्रेफाइट नावों के तीन बार से अधिक वेफर जीवनकाल का विस्तार करता है।


Ⅰ। तकनीकी मापदंड


परियोजना
पैरामीटर
मूलभूत सामग्री
Isostatically उच्च शुद्धता ग्रेफाइट दबा दिया
कोटिंग मोटाई
80-120μM (अनुकूलन योग्य)
सतह खुरदरापन
बाहर ≤ 0.8μm
औसत जीवन प्रत्याशा
150-200 प्रक्रिया चक्र
लागू प्रक्रिया
CVD/MOCVD/ऑक्सीकरण/प्रसार


Ⅱ। Veteksemicon sic वेफर बोट कोर लाभ



  • उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध


Veteksemicon वेफर बोट पर SIC कोटिंग हमारे मालिकाना उच्च तापमान CVD प्रक्रिया का उपयोग करके जमा की जाती है, जिसके परिणामस्वरूप एक घनी, समान संरचना होती है जो पूरी तरह से छिद्रों और दरारों से मुक्त होती है। यह ठोस अवरोध प्रभावी रूप से भट्ठी के वातावरण से वेफर्स को अलग करता है। मजबूत ऑक्सीकरण करने वाले वायुमंडल, फ्लोराइनेटेड यौगिक और अन्य संक्षारक गैसें इस सुरक्षात्मक परत के लिए अभेद्य हैं। इसका मतलब है कि आपके वेफर्स को संदूषण से बचाया जाता है, जबकि नाव खुद को बार -बार चरम प्रक्रियाओं के माध्यम से बरकरार रखती है, अपने सेवा जीवन को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाती है।



  • अति-उच्च पवित्रता सामग्री


हम समझते हैं कि मामूली संदूषण भी वेफर्स के एक पूरे बैच को बेकार कर सकता है। इसलिए, Veteksemicon कच्चे माल को कठोरता से नियंत्रित करता है, एक सब्सट्रेट के रूप में 99.9995% से अधिक की शुद्धता के साथ आयातित आइसोस्टिक रूप से दबाए गए ग्रेफाइट का उपयोग करता है। इस सब्सट्रेट पर जमा एसआईसी कोटिंग भी 99.999% शुद्धता प्राप्त करती है, जिसमें सोडियम, पोटेशियम, लोहा और भारी धातुओं जैसी महत्वपूर्ण अशुद्धियों के साथ बेहद कम स्तर (पीपीबी) तक रखा गया है। यह निकट-इन्ट्रिंसिक शुद्धता यह सुनिश्चित करती है कि कोई भी संदूषक उच्च तापमान पर जारी नहीं किया जाता है, जिससे वाहक से संबंधित मुद्दों के कारण डिवाइस के प्रदर्शन में गिरावट के जोखिम को मौलिक रूप से समाप्त किया जाता है।



  • उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता


अर्धचालक विनिर्माण के लिए बेहद सुसंगत थर्मल प्रक्रियाओं की आवश्यकता होती है। Veteksemicon वेफर बोट के थर्मल विस्तार के गुणांक को सावधानीपूर्वक सिलिकॉन वेफर्स से बारीकी से मिलान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। तेजी से हीटिंग और कूलिंग के दौरान, नाव और वेफर सिंक में चलते हैं, जिससे थर्मल तनाव के कारण जाली दोषों और युद्ध के जोखिम को काफी कम कर दिया जाता है। यह इन उच्च तापमानों पर भी उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति और आयामी स्थिरता को बनाए रखते हुए, 1600 ℃ तक निरंतर परिचालन तापमान का सामना कर सकता है। यह प्रत्येक प्रक्रिया में पुनरावृत्ति और विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है, जो चिप निर्माण में सहिष्णुता नियंत्रण के लिए एक ठोस आधार प्रदान करता है।



  • टिकाऊ यांत्रिक शक्ति


हमारे उत्पादों का मूल्य न केवल प्रारंभिक निवेश में है, बल्कि स्वामित्व की दीर्घकालिक लागत में भी है। पारंपरिक क्वार्ट्ज या ग्रेफाइट घटकों की तुलना में, Veteksemicon sic वेफर बोट्स असाधारण पहनने और प्रभाव प्रतिरोध प्रदान करते हैं। उनकी उच्च सतह की कठोरता हैंडलिंग और सफाई के दौरान खरोंच और मलबे का विरोध करती है। यह बेरहमी उन्हें 200 से अधिक उच्च तापमान प्रक्रिया चक्र और आवश्यक सफाई प्रक्रियाओं का आसानी से झेलने में सक्षम बनाती है, जिससे लगातार घटक प्रतिस्थापन के साथ जुड़े खरीद लागत, इन्वेंट्री लागत और उपकरण डाउनटाइम को काफी कम कर दिया जाता है।



  • पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन समर्थन


Veteksemicon sic वेफर बोट 'पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन के उत्पादन के लिए कच्चे माल को कवर करता है, अंतर्राष्ट्रीय मानक प्रमाणन पारित किया है, और अर्धचालक और नए ऊर्जा क्षेत्रों में इसकी विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए कई पेटेंट प्रौद्योगिकियां हैं।


Ⅲ। मुख्य अनुप्रयोग फ़ील्ड


अनुप्रयोग दिशा
विशिष्ट परिदृश्य
बिजली उपकरण विनिर्माण
Sic और gan epitaxial विकास
एकीकृत परिपथ उत्पादन
उच्च तापमान ऑक्सीकरण और प्रसार प्रक्रिया
फोटोवोल्टिक उद्योग
सोलर सेल एनीलिंग


विस्तृत तकनीकी विनिर्देशों, श्वेत पत्र, या नमूना परीक्षण व्यवस्था के लिए, कृपया हमारी तकनीकी सहायता टीम से संपर्क करें ताकि यह पता लगाया जा सके कि वेटेकिकॉन आपकी प्रक्रिया दक्षता को कैसे बढ़ा सकता है।


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