उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज नक़्क़ाशी की अंगूठी

1.मुख्य विशेषताएं एवं लाभ

• SiO₂ ≥ 99.999% और कसकर नियंत्रित धात्विक अशुद्धियों के साथ सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहाइड्रॉक्सिलेटेड फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज़

• 1100 डिग्री सेल्सियस तक स्थिर निरंतर संचालन, 1200 डिग्री सेल्सियस के करीब अल्पकालिक क्षमता के साथ

• फ्लोरीन- और क्लोरीन-आधारित ईच रसायन और उच्च-ऊर्जा प्लाज्मा एक्सपोज़र के लिए मजबूत प्रतिरोध

• बार-बार चैम्बर तापमान चक्र के तहत कम थर्मल विस्तार और अच्छा थर्मल-शॉक प्रदर्शन

• चैम्बर बेस दबाव और प्रक्रिया गैस संरचना की रक्षा के लिए कम वैक्यूम आउटगैसिंग

• सुसंगत चैम्बर फिट और प्लाज्मा सीमा परिभाषा के लिए पॉलिश संपर्क सतहों के साथ माइक्रोन-स्तरीय आयामी नियंत्रण

• कॉन्फ़िगर करने योग्य डिज़ाइन: फ्लैट रिंग, स्टेप्ड ईच रिंग, रिंग का पता लगाना/रखना, और प्रमुख ईच टूल प्लेटफ़ॉर्म के लिए पूरी तरह से कस्टम प्रोफाइल

2.विशिष्ट अनुप्रयोग

उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज ईच रिंग्स का उपयोग शुष्क प्लाज्मा ईच प्रक्रिया कक्षों में किया जाता है:

• तर्क और मेमोरी डिवाइस प्लाज्मा खोदने के चरण

• SiC और GaN पावर-डिवाइस ईच प्रक्रियाएं

• उच्च-पहलू-अनुपात संरचना नक़्क़ाशी

• ऑप्टिकल और यौगिक-अर्धचालक सब्सट्रेट प्लाज्मा प्रसंस्करण

• उन्नत पैकेजिंग प्लाज़्मा नक़्क़ाशी और संबंधित सफाई चरण

• आरआईई/आईसीपी प्रयोगशाला और उत्पादन नक़्क़ाशी उपकरण

3.मुख्य तकनीकी पैरामीटर

• सामग्री: सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहाइड्रॉक्सिलेटेड फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज़, SiO₂ ≥ 99.999%

• वेफर अनुकूलता: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 इंच सिलिकॉन, SiC, GaN, और नीलम

• ऑपरेटिंग तापमान: -20 डिग्री सेल्सियस से 1100 डिग्री सेल्सियस निरंतर; अल्पकालिक शिखर लगभग 1200 डिग्री सेल्सियस

• प्राथमिक कार्य: प्लाज्मा किनारे का परिरोध, गैस-प्रवाह मार्गदर्शन, किनारे की सुरक्षा, और कक्ष अलगाव

• मशीनिंग गुणवत्ता: माइक्रोन-स्तर की सहनशीलता, पॉलिश की गई सतह, नियंत्रित किनारे और साफ फिनिश

• संरचना विकल्प: फ्लैट रिंग, स्टेप्ड ईच रिंग, रिंग का पता लगाना/रखना, और कस्टम ज्यामिति

• अनुकूलन: बाहरी/आंतरिक व्यास, मोटाई, चरण की ऊँचाई, सुविधाओं का पता लगाना, कक्ष, और प्रति ड्राइंग इंटरफ़ेस विवरण

4.वीटेक हाई प्योरिटी क्वार्ट्ज़ ईच रिंग्स क्यों चुनें?

वीटेक सेमीकंडक्टर ईच और थर्मल टूल्स के लिए प्रोसेस-क्रिटिकल क्वार्ट्ज हार्डवेयर की आपूर्ति करता है। नक़्क़ाशी के छल्ले के लिए, फोकस इस पर है:

• सामग्री की शुद्धता और सतह की सफाई उन्नत ड्राई-ईच वातावरण के लिए उपयुक्त है

• आयामी सटीकता जो स्थिर प्लाज्मा सीमा नियंत्रण और दोहराने योग्य चैम्बर फिट का समर्थन करती है

• ओईएम-शैली प्रतिस्थापन और पूरी तरह से कस्टम चैम्बर इंटरफेस के लिए डिज़ाइन लचीलापन

• एक पूर्ण क्वार्ट्ज घटक श्रृंखला जिसमें वेफर वाहक, भट्टी ट्यूब, नावें और संबंधित प्रक्रिया भाग भी शामिल हैं

उच्च शुद्धता, प्लाज्मा स्थायित्व और सख्त ज्यामिति नियंत्रण के संयोजन से, वीटेक हाई प्योरिटी क्वार्ट्ज ईच रिंग्स पूरे वेफर ईच एकरूपता में सुधार करने, किनारे से संबंधित दोषों को कम करने और सूखे प्लाज्मा ईच टूल्स में लंबे, अधिक स्थिर उत्पादन चक्रों का समर्थन करने में मदद करते हैं।