MOCVD ग्रेफाइट ट्रे कैसे चुनें?

प्रश्न 1: MOCVD ग्रेफाइट ट्रे क्या है और यह एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए इतना महत्वपूर्ण क्यों है?

धातु-कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (MOCVD) ग्रेफाइट प्लेट, जिसे MOCVD ग्रेफाइट ट्रे या MOCVD ग्रेफाइट सूसोसेप्टर के रूप में भी जाना जाता है, एक उच्च शुद्धता वाले घटक है जिसका उपयोग एपिटैक्सियल वृद्धि के दौरान अर्धचालक वेफर्स को ठीक करने के लिए किया जाता है। एपिटैक्सियल प्रक्रिया में, यह एक हीटिंग तत्व के रूप में कार्य करता है और समान तापमान वितरण सुनिश्चित करता है, जो उन्नत अर्धचालक उपकरणों, एलईडी विनिर्माण और सौर कोशिकाओं जैसे अनुप्रयोगों में पतली फिल्मों को जमा करने में एक अपूरणीय भूमिका निभाता है।

ग्रेफाइट ट्रे अत्यधिक तापमान (1,800 ° C तक) और संक्षारक गैस वातावरण का सामना कर सकती है, जिससे यह उच्च तापमान, संक्षारण-प्रतिरोधी MOCVD सिस्टम के लिए एक अपरिहार्य सामग्री बन जाता है। इसका प्रदर्शन सीधे प्रक्रिया स्थिरता और वेफर उपज को प्रभावित करता है।

प्रश्न 2: MOCVD ग्रेफाइट ट्रे का चयन करते समय किन भौतिक गुणों को प्राथमिकता दी जानी चाहिए?

सही ग्रेफाइट प्लेट का चयन करने के लिए इसके भौतिक और रासायनिक गुणों का मूल्यांकन करने की आवश्यकता होती है:

● उच्च शुद्धता (99.999%से अधिक):

आमतौर पर, धातुओं या राख जैसी अशुद्धियां एपिटैक्सियल प्रक्रिया को दूषित कर सकती हैं। Veteksemicon जैसे उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सूस्विनर आपूर्तिकर्ता को चुनना अर्धचालक एपिलैयर में न्यूनतम दोष सुनिश्चित करता है।

●  उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता:

वास्तविक प्रसंस्करण के दौरान, ग्रेफाइट प्लेटों को कुछ थर्मल झटकों का सामना करने और तेजी से तापमान चक्रों के तहत संरचनात्मक अखंडता बनाए रखने में सक्षम होना चाहिए। Veteksemic उच्च घनत्व ग्रेफाइट एक समान गर्मी वितरण सुनिश्चित करता है, जो एक समान फिल्म विकास के लिए महत्वपूर्ण है।

●  उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध:

MOCVD प्रक्रिया वातावरण में, ग्रेफाइट आमतौर पर संक्षारक गैसों (जैसे, अमोनिया, हाइड्रोजन) के संपर्क में आता है। उच्च-तापमान संक्षारण प्रतिरोधी MOCVD ग्रेफाइट प्लेटों के साथ ठीक-ठाक-दाने वाली संरचना के साथ जंग को कम करते हैं और सेवा जीवन का विस्तार करते हैं।

●  उच्च-प्रदर्शन यांत्रिक शक्ति:

एपिटैक्सियल प्रक्रिया में, MOCVD ग्रेफाइट ट्रे को बिना युद्ध के कई वेफर्स का समर्थन करना चाहिए। वास्तविक प्रसंस्करण में Veteksemicon के आंकड़ों के अनुसार, ट्रे के क्रैकिंग को रोकने के लिए ग्रेफाइट प्लेट की झुकने की ताकत mp50 एमपीए होनी चाहिए।

Q3: एप्लिकेशन परिदृश्य MOCVD ग्रेफाइट ट्रे के चयन को कैसे प्रभावित करता है?

विभिन्न MOCVD प्रक्रियाओं के लिए अनुरूप ग्रेफाइट प्लेट डिज़ाइन की आवश्यकता होती है:

●  एलईडी/फोटोनिक्स का एपिटैक्सियल ग्रोथ:

अल्ट्रा-स्मूथ MOCVD ग्रेफाइट प्लेटों का उपयोग कण पीढ़ी को कम करने और दोष-मुक्त परतों को सुनिश्चित करने के लिए एपिटैक्सी प्रक्रिया में किया जाता है।

उदाहरण के लिए, Veteksemicon MOCVD ग्रेफाइट प्लेट (या MoCVD के लिए Veteksemicon ग्रेफाइट प्लेट) GAN और GAAS एपिटैक्सी के लिए डिज़ाइन किए गए हैं और अनुकूलित थर्मल प्रबंधन प्रदान करते हैं।

●  पावर सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग:

सेमीकेरा सेमीकंडक्टर के प्रयोगात्मक आंकड़ों के साथ संयुक्त, बढ़ाया ऑक्सीकरण प्रतिरोध के साथ प्लेटों को आमतौर पर सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) या गैलियम नाइट्राइड (जीएएन) प्रक्रियाओं के लिए पसंद किया जाता है।

●  उच्च-थ्रूपुट उत्पादन:

मल्टी-वेफर ट्रे को रिएक्टर डिजाइन के साथ संरेखित करने के लिए सटीक प्रसंस्करण की आवश्यकता होती है। विश्वसनीय आपूर्तिकर्ता सेमीकेरा सेमीकंडक्टर से अनुकूलन योग्य MOCVD ग्रेफाइट ट्रे विशिष्ट उपकरण कॉन्फ़िगरेशन से मेल खा सकती हैं।

Q4: एक विश्वसनीय MOCVD ग्रेफाइट प्लेट आपूर्तिकर्ता खोजने के लिए महत्वपूर्ण विचार क्या हैं?

●  प्रमाणन और परीक्षण:

सत्यापित करें कि आपूर्तिकर्ता सामग्री प्रमाणन (जैसे शुद्धता रिपोर्ट, घनत्व परीक्षण) प्रदान करता है और पोस्ट-प्रोसेसिंग सतह उपचार प्रदान करता है (जैसे कि पोरसिटी को कम करने के लिए कोटिंग)। एक प्रमुख चीनी सेमीकंडक्टर कोटिंग और एपिटैक्सियल प्रोसेस उपकरण निर्माता के रूप में, वेटेकिकमोन MOCVD ग्रेफाइट प्लेटों को सरकारी विभागों द्वारा कठोर सीमा प्रयोगों के लिए प्रमाणित किया गया है, और अपने उत्पादों की शुद्धता और घनत्व परीक्षण परिणाम अपने साथियों से बहुत आगे हैं।

●  अनुकूलन क्षमताएं:

शीर्ष उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सूस्विनर आपूर्तिकर्ताओं को अपने रिएक्टर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए आकार, छेद पैटर्न और कोटिंग को अनुकूलित करना चाहिए। वेटेकिकॉन और सेमीकेरा सेमीकंडक्टर दोनों के पास संबंधित उत्पादों और प्रौद्योगिकियों की अनुकूलन सेवा क्षमताएं हैं, और आपकी विभिन्न अनुकूलित आवश्यकताओं को पूरा करने में पूरी तरह से सक्षम हैं।

●  जीवनकाल और लागत दक्षता:

जबकि सस्ता ग्रेफाइट अपफ्रंट लागतों को बचा सकता है, अवर ग्रेफाइट प्लेटें लगातार प्रतिस्थापन और डाउनटाइम को जन्म देती हैं, जो सामान्य उत्पादन दक्षता को गंभीरता से प्रभावित करती है। Veteksemicon ग्रेफाइट प्लेटों और अन्य गुणवत्ता वाले उत्पादों को चुनना आपके व्यवसाय को दीर्घकालिक विश्वसनीय उत्पादन प्राप्त करने में सक्षम करेगा।

Q5: MOCVD ग्रेफाइट ट्रे के सेवा जीवन का विस्तार कैसे करें?

●  ऑक्सीकरण को रोकें: हीटिंग/कूलिंग साइकिल के दौरान अक्रिय गैस पर्ज का उपयोग करें।

●  नियमित रूप से साफ करें: जमा किए गए अवशेषों को हटाने के लिए गैर-अपघर्षक तरीकों (जैसे सूखी नक़्क़ाशी) का उपयोग करें।

●  यांत्रिक तनाव से बचें: वेफर लोडिंग/अनलोडिंग के दौरान ट्रे को सावधानी से संभालें।

Veteksemicon की सबसे अच्छी सलाह आपको:

MOCVD ग्रेफाइट प्लेटों के लिए जो उच्च तापमान संक्षारण के प्रतिरोधी हैं, सेमीकंडक्टर-ग्रेड सामग्री में विशेषज्ञता के साथ आपूर्तिकर्ताओं को प्राथमिकता देते हैं।

प्रदर्शन को सत्यापित करने के लिए वास्तविक प्रक्रिया स्थितियों के तहत नमूने का परीक्षण करें।

चरम वातावरण में स्थायित्व और विश्वसनीयता को बढ़ाने के लिए उन्नत कोटिंग्स (जैसे कि एसआईसी कोटिंग, टीएसी कोटिंग) का अन्वेषण करें।

SIC कोटिंग MOCVD ग्रेफाइट प्लेट के बारे में अधिक जानकारी के लिए, यहां क्लिक करें।

TAC कोटिंग MOCVD ग्रेफाइट प्लेट के बारे में अधिक जानकारी के लिए, यहां क्लिक करें।