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टीएसी कोटिंग चक
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टीएसी कोटिंग चक

वेटेक सेमीकंडक्टर के टीएसी कोटिंग चक में एक उच्च गुणवत्ता वाली कोटिंग सतह है, जो अपने उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक निष्क्रियता के लिए जाना जाता है, विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) एपिटैक्सी (ईपीआई) प्रक्रियाओं में। अपनी असाधारण विशेषताओं और बेहतर प्रदर्शन के साथ, हमारे टीएसी कोटिंग चक कई प्रमुख लाभ प्रदान करता है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में अपने दीर्घकालिक भागीदार होने के लिए तत्पर हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर की टीएसी कोटिंग चक एसआईसी ईपीआई प्रक्रिया में असाधारण परिणाम प्राप्त करने के लिए आदर्श समाधान है। इसके टैंटालम कार्बाइड कोटिंग, उच्च तापमान प्रतिरोध, और रासायनिक जड़ता के साथ, हमारा उत्पाद आपको सटीक और विश्वसनीयता के साथ उच्च गुणवत्ता वाले क्रिस्टल का उत्पादन करने के लिए सशक्त बनाता है। हमें पूछताछ करने के लिए।



टीएसी टैंटलम कार्बाइड एक ऐसी सामग्री है जिसका उपयोग आमतौर पर एपिटैक्सियल उपकरणों के आंतरिक भागों की सतह को कोट करने के लिए किया जाता है। इसकी निम्नलिखित विशेषताएं हैं:


Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section

उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध: टैंटलम कार्बाइड कोटिंग 2200 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान का सामना कर सकती है, जिससे वे उच्च तापमान वातावरण जैसे कि एपिटैक्सियल रिएक्शन चैंबर्स में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाते हैं।


उच्च कठोरता: टैंटलम कार्बाइड की कठोरता लगभग 2000 एचके तक पहुंचती है, जो आमतौर पर इस्तेमाल किए जाने वाले स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम मिश्र धातु की तुलना में बहुत कठिन है, जो प्रभावी रूप से सतह के पहनने को रोक सकती है।


मजबूत रासायनिक स्थिरता: टैंटलम कार्बाइड कोटिंग रासायनिक रूप से संक्षारक वातावरण में अच्छा प्रदर्शन करती है और एपिटैक्सियल उपकरण घटकों के सेवा जीवन का विस्तार कर सकती है।


अच्छी विद्युत चालकता: कोटिंग सतह में अच्छी विद्युत चालकता है, जो इलेक्ट्रोस्टैटिक रिलीज और गर्मी चालन के लिए अनुकूल है।


ये गुण टीएसी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग को आंतरिक झाड़ियों, प्रतिक्रिया कक्ष की दीवारों और एपिटैक्सियल उपकरणों के लिए हीटिंग तत्वों जैसे महत्वपूर्ण भागों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। TAC के साथ इन घटकों को कोटिंग करके, एपिटैक्सियल उपकरणों के समग्र प्रदर्शन और सेवा जीवन में सुधार किया जा सकता है।


सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी के लिए, टीएसी कोटिंग चंक भी एक महत्वपूर्ण भूमिका निभा सकता है। सतह कोटिंग चिकनी और घनी है, जो उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड फिल्मों के गठन के लिए अनुकूल है। इसी समय, टीएसी की उत्कृष्ट तापीय चालकता उपकरण के अंदर तापमान वितरण की एकरूपता को बेहतर बनाने में मदद कर सकती है, जिससे एपिटैक्सियल प्रक्रिया की तापमान नियंत्रण सटीकता में सुधार होता है, और अंततः उच्च गुणवत्ता प्राप्त होता हैसिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियलपरत विकास।


टीएसी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग चंक का उत्पाद पैरामीटर

टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण
कोटिंग घनत्व 14.3 (जी/सेमी))
विशिष्ट उत्सर्जन 0.3
थर्मल विस्तार गुणांक 6.3*10-6/K
कठोरता (एचके) 2000 एचके
प्रतिरोध 1 × 10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता <2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदलता है -10 ~ -20UM
कोटिंग मोटाई ≥20um ठेठ मान (35UM ± 10UM)


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