ठोस सिलिकॉन कार्बाइड

वीटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड में एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक है (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) नक़्क़ाशी उपकरण में भाग शामिल हैंध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले, गैस शॉवरहेड, ट्रे, किनारे के छल्ले, आदि। ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) की क्लोरीन और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों की कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण, यह रिंगों और अन्य पर ध्यान केंद्रित करने वाले प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श सामग्री है अवयव।

उदाहरण के लिए, फोकस रिंग वेफर के बाहर और वेफर के सीधे संपर्क में रखा जाने वाला एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, रिंग के माध्यम से गुजरने वाले प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग पर वोल्टेज लगाकर, जिससे एकरूपता में सुधार के लिए वेफर पर प्लाज्मा को केंद्रित किया जाता है। प्रसंस्करण. पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन से बनी होती हैक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री के रूप में प्रवाहकीय सिलिकॉन, यह सिलिकॉन वेफर्स की चालकता के लगभग करीब है, लेकिन कमी फ्लोरीन युक्त प्लाज्मा में खराब नक़्क़ाशी प्रतिरोध है, नक़्क़ाशी मशीन भागों सामग्री अक्सर समय की अवधि के लिए उपयोग की जाती है, गंभीर होगी संक्षारण घटना, इसकी उत्पादन क्षमता को गंभीर रूप से कम कर देती है।

Sठोस SiC फोकस रिंगकाम के सिद्धांत：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना：

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना
वस्तु	और	सीवीडी SiC
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	2.33	3.21
बैंड गैप (eV)	1.12	2.3
तापीय चालकता (डब्ल्यू/सेमी℃)	1.5	5
सीटीई (x10^-6/℃)	2.6	4
लोचदार मापांक (जीपीए)	150	440
कठोरता (जीपीए)	11.4	24.5
घिसाव और संक्षारण का प्रतिरोध	गरीब	उत्कृष्ट

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए SiC फोकसिंग रिंग जैसे उन्नत ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) भागों की पेशकश करता है। हमारे ठोस सिलिकॉन कार्बाइड फ़ोकसिंग रिंग यांत्रिक शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, तापीय चालकता, उच्च तापमान स्थायित्व और आयन नक़्क़ाशी प्रतिरोध के मामले में पारंपरिक सिलिकॉन से बेहतर प्रदर्शन करते हैं।

हमारे SiC फ़ोकसिंग रिंग की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:

कम नक़्क़ाशी दरों के लिए उच्च घनत्व।

उच्च बैंडगैप के साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च तापीय चालकता और तापीय विस्तार का कम गुणांक।

बेहतर यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध और लोच।

उच्च कठोरता, पहनने का प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध।

का उपयोग करके निर्मितप्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (PECVD)तकनीक, हमारे SiC फ़ोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर निर्माण में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की बढ़ती मांगों को पूरा करते हैं। इन्हें विशेष रूप से उच्च प्लाज्मा शक्ति और ऊर्जा का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया हैकैपेसिटिवली कपल्ड प्लाज़्मा (CCP)सिस्टम.

VeTek सेमीकंडक्टर के SiC फोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण में असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं। बेहतर गुणवत्ता और दक्षता के लिए हमारे SiC घटकों को चुनें।

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सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग

चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग उत्पाद निर्माता और कारखाने के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग का व्यापक रूप से अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों में इसका उपयोग किया जाता है, जो इसके उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, यांत्रिक शक्ति और तापीय चालकता के कारण होता है। यह विशेष रूप से उच्च तापमान और प्रतिक्रियाशील गैसों जैसे कि सीवीडी, पीवीडी और प्लाज्मा नक़्क़ाशी से जुड़ी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है, और अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण सामग्री पसंद है। आपकी आगे की पूछताछ का स्वागत है।

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Sic क्रिस्टल ग्रोथ के लिए CVD SIC ब्लॉक

SIC क्रिस्टल ग्रोथ के लिए CVD SIC ब्लॉक, वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा विकसित एक नया उच्च शुद्धता कच्चा माल है। इसमें एक उच्च इनपुट-आउटपुट अनुपात है और यह उच्च गुणवत्ता वाले, बड़े आकार के सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल को बढ़ा सकता है, जो आज बाजार में उपयोग किए जाने वाले पाउडर को बदलने के लिए दूसरी पीढ़ी की सामग्री है। तकनीकी मुद्दों पर चर्चा करने के लिए आपका स्वागत है।

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Sic क्रिस्टल विकास नई प्रौद्योगिकी

वेटेक सेमीकंडक्टर की अल्ट्रा-हाई प्यूरीिटी सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) को रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) द्वारा गठित किया जाता है, जिसे भौतिक वाष्प परिवहन (पीवीटी) द्वारा बढ़ते सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल के लिए एक स्रोत सामग्री के रूप में उपयोग करने की सिफारिश की जाती है। SIC क्रिस्टल ग्रोथ नई तकनीक में, स्रोत सामग्री को एक क्रूसिबल में लोड किया गया है और एक बीज क्रिस्टल पर उच्चतर किया गया है। उच्च शुद्धता CVD-SIC ब्लॉकों का उपयोग SIC क्रिस्टल के बढ़ने के लिए एक स्रोत के रूप में करें। हमारे साथ एक साझेदारी स्थापित करने के लिए आपका स्वागत है।

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Cvd sic शावर सिर

वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख सीवीडी एसआईसी शॉवर हेड निर्माता और इनोवेटर है। हम कई वर्षों से एसआईसी सामग्री में विशिष्ट हैं। सीवीडी एसआईसी शॉवर हेड को अपनी उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति और प्लाज्मा कटाव के लिए प्रतिरोध के कारण एक फोकस रिंग सामग्री के रूप में चुना जाता है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

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Sic शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख एसआईसी शॉवर हेड निर्माता और इनोवेटर है। हम कई वर्षों से एसआईसी सामग्री में विशिष्ट रहे हैं। एसआईसी शॉवर हेड को अपनी उत्कृष्ट थर्मोकैमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति और प्लाज्मा क्षरण के लिए प्रतिरोध के कारण एक फोकस रिंग सामग्री के रूप में चुना जाता है।

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सॉलिड SiC गैस शावर हेड

सॉलिड SiC गैस शावर हेड सीवीडी प्रक्रिया में गैस को एक समान बनाने में प्रमुख भूमिका निभाता है, जिससे सब्सट्रेट का एक समान ताप सुनिश्चित होता है। वीटेक सेमीकंडक्टर कई वर्षों से ठोस SiC उपकरणों के क्षेत्र में गहराई से शामिल है और ग्राहकों को अनुकूलित सॉलिड SiC गैस शावर हेड प्रदान करने में सक्षम है। इससे कोई फर्क नहीं पड़ता कि आपकी आवश्यकताएं क्या हैं, हम आपकी पूछताछ के लिए तत्पर हैं।

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चीन में एक पेशेवर ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ ठोस सिलिकॉन कार्बाइड खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।