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ठोस सिलिकॉन कार्बाइड

वेटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा इचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड में एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक है (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) नक़्क़ाशी उपकरणों में भागों में शामिल हैंध्यान केंद्रित करना, गैस शावरहेड, ट्रे, एज रिंग्स, आदि क्लोरीन के लिए ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) की कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण - और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों के लिए, यह प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरणों के लिए एक आदर्श सामग्री है जो रिंग और अन्य घटकों पर ध्यान केंद्रित करती है।


उदाहरण के लिए, फोकस रिंग एक महत्वपूर्ण हिस्सा है जो वेफर के बाहर और वेफर के सीधे संपर्क में है, रिंग के माध्यम से गुजरने वाले प्लाज्मा को ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग में एक वोल्टेज लागू करके, जिससे प्रसंस्करण की एकरूपता में सुधार करने के लिए वेफर पर प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित किया जाता है। पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन से बना है याक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री के रूप में प्रवाहकीय सिलिकॉन, यह सिलिकॉन वेफर्स की चालकता के लगभग करीब है, लेकिन कमी फ्लोरीन युक्त प्लाज्मा में खराब नक़्क़ाशी प्रतिरोध है, नक़्क़ाशी मशीन पार्ट्स सामग्री अक्सर समय की अवधि के लिए उपयोग की जाती है, गंभीर संक्षारण घटना होगी, इसकी उत्पादन दक्षता को गंभीरता से कम करना।


Sओलिड सिस फोकस रिंगकाम के सिद्धांत

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


एसआई आधारित फोकसिंग रिंग और सीवीडी एसआईसी फोकसिंग रिंग की तुलना :

एसआई आधारित फोकसिंग रिंग और सीवीडी एसआईसी फोकसिंग रिंग की तुलना
वस्तु और सीवीडी एसआईसी
घनत्व (जी/सेमी)3) 2.33 3.21
बैंड गैप (ईवी) 1.12 2.3
थर्मल चालकता (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
लोचदार मापांक (जीपीए) 150 440
कठोरता (जीपीए) 11.4 24.5
पहनने और जंग का प्रतिरोध गरीब उत्कृष्ट


वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए एसआईसी फोकस रिंग जैसे उन्नत ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) भागों की पेशकश करता है। हमारे ठोस सिलिकॉन कार्बाइड ध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले यांत्रिक शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, तापीय चालकता, उच्च तापमान स्थायित्व, और आयन नक़्क़ाशी प्रतिरोध के संदर्भ में पारंपरिक सिलिकॉन को बेहतर ढंग से करते हैं।


हमारे SIC फोकसिंग रिंग्स की प्रमुख विशेषताओं में शामिल हैं:

कम नक़्क़ाशी दरों के लिए उच्च घनत्व।

एक उच्च बैंडगैप के साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च तापीय चालकता और थर्मल विस्तार के कम गुणांक।

बेहतर यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध और लोच।

उच्च कठोरता, पहनने का प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध।

उपयोग का उपयोग कियाप्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (PECVD)तकनीक, हमारे एसआईसी फोकसिंग रिंग्स अर्धचालक विनिर्माण में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की बढ़ती मांगों को पूरा करते हैं। वे उच्च प्लाज्मा शक्ति और ऊर्जा का सामना करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, विशेष रूप से मेंकैपेसिटिक रूप से युग्मित प्लाज्मा (CCP)सिस्टम।

वेटेक सेमीकंडक्टर के एसआईसी फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर डिवाइस विनिर्माण में असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं। बेहतर गुणवत्ता और दक्षता के लिए हमारे एसआईसी घटकों को चुनें।


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सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड

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सिलिकॉन कार्बाइड शावर हेड में उत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता, रासायनिक स्थिरता, तापीय चालकता और अच्छी गैस वितरण प्रदर्शन होता है, जो समान गैस वितरण को प्राप्त कर सकता है और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार कर सकता है। इसलिए, यह आमतौर पर उच्च तापमान प्रक्रियाओं जैसे रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) या भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है। हमारे लिए अपने आगे के परामर्श का स्वागत करें, वेटेक सेमीकंडक्टर।
सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग

सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग

चीन में एक पेशेवर सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग उत्पाद निर्माता और कारखाने के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सील रिंग का व्यापक रूप से अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों में इसका उपयोग किया जाता है, जो इसके उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, यांत्रिक शक्ति और तापीय चालकता के कारण होता है। यह विशेष रूप से उच्च तापमान और प्रतिक्रियाशील गैसों जैसे कि सीवीडी, पीवीडी और प्लाज्मा नक़्क़ाशी से जुड़ी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है, और अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण सामग्री पसंद है। आपकी आगे की पूछताछ का स्वागत है।
Sic क्रिस्टल ग्रोथ के लिए CVD SIC ब्लॉक

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SIC क्रिस्टल ग्रोथ के लिए CVD SIC ब्लॉक, वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा विकसित एक नया उच्च शुद्धता कच्चा माल है। इसमें एक उच्च इनपुट-आउटपुट अनुपात है और यह उच्च गुणवत्ता वाले, बड़े आकार के सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल को बढ़ा सकता है, जो आज बाजार में उपयोग किए जाने वाले पाउडर को बदलने के लिए दूसरी पीढ़ी की सामग्री है। तकनीकी मुद्दों पर चर्चा करने के लिए आपका स्वागत है।
Sic क्रिस्टल विकास नई प्रौद्योगिकी

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वेटेक सेमीकंडक्टर की अल्ट्रा-हाई प्यूरीिटी सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) को रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) द्वारा गठित किया जाता है, जिसे भौतिक वाष्प परिवहन (पीवीटी) द्वारा बढ़ते सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल के लिए एक स्रोत सामग्री के रूप में उपयोग करने की सिफारिश की जाती है। SIC क्रिस्टल ग्रोथ नई तकनीक में, स्रोत सामग्री को एक क्रूसिबल में लोड किया गया है और एक बीज क्रिस्टल पर उच्चतर किया गया है। उच्च शुद्धता CVD-SIC ब्लॉकों का उपयोग SIC क्रिस्टल के बढ़ने के लिए एक स्रोत के रूप में करें। हमारे साथ एक साझेदारी स्थापित करने के लिए आपका स्वागत है।
Cvd sic शावर सिर

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वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख सीवीडी एसआईसी शॉवर हेड निर्माता और इनोवेटर है। हम कई वर्षों से एसआईसी सामग्री में विशिष्ट हैं। सीवीडी एसआईसी शॉवर हेड को अपनी उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति और प्लाज्मा कटाव के लिए प्रतिरोध के कारण एक फोकस रिंग सामग्री के रूप में चुना जाता है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
Sic शॉवर हेड

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वेटेक सेमीकंडक्टर चीन में एक प्रमुख एसआईसी शॉवर हेड निर्माता और इनोवेटर है। हम कई वर्षों से एसआईसी सामग्री में विशिष्ट रहे हैं। एसआईसी शॉवर हेड को अपनी उत्कृष्ट थर्मोकैमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति और प्लाज्मा क्षरण के लिए प्रतिरोध के कारण एक फोकस रिंग सामग्री के रूप में चुना जाता है।

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


चीन में एक पेशेवर ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या चीन में उन्नत और टिकाऊ ठोस सिलिकॉन कार्बाइड खरीदना चाहते हो, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।
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