सीवीडी टैंटलम कार्बाइड (TaC) लेपित सुसेप्टर

प्रमुख विशेषताऐं

अनुप्रयोग

विशिष्ट अनुप्रयोगों में शामिल हैं:

• SiC एपिटैक्सियल ग्रोथ

• GaN MOCVD एपिटैक्सी

• एएलएन एपिटैक्सियल ग्रोथ

• तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर विनिर्माण

• हाई-पावर इलेक्ट्रॉनिक्स

• आरएफ उपकरण

• माइक्रोएलईडी उत्पादन

• अनुसंधान और पायलट उत्पादन प्रणाली

संगत उपकरण

संगत प्लेटफार्मों में शामिल हैं:

• ऐक्स्ट्रोन

• एलपीई

• वीको

• एएमईसी

• न्यूफ्लेयर

• कस्टम सीवीडी और एमओसीवीडी रिएक्टर

भी उपलब्ध है:

• वेफर वाहक

• ग्रह संग्राहक

• बैरल ससेप्टर्स

• रोटेशन डिस्क

• अर्धचंद्र भाग

• कवर प्लेटें

• ग्रेफाइट असेंबलियाँ

• कस्टम थर्मल फील्ड घटक

तकनीकी निर्देश

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्नों

1. सीवीडी टीएसी कोटेड ससेप्टर क्या है?

एक उच्च शुद्धता वाला ग्रेफाइट घटक जो घने सीवीडी टीएसी कोटिंग द्वारा संरक्षित होता है जिसका उपयोग एपिटैक्सियल विकास के दौरान वेफर वाहक के रूप में किया जाता है।

2. TaC Coa का उपयोग क्यों करेंSiC कोटिंग के बजाय टिंग?

TaC उच्च तापमान प्रतिरोध, बेहतर रासायनिक स्थिरता और लंबी सेवा जीवन प्रदान करता है।

3.कौन सी अर्धचालक प्रक्रियाएं TaC-c का उपयोग करती हैं?ओटेड रिसेप्टर्स?

SiC एपिटैक्सी, GaN MOCVD, AlN एपिटैक्सी, और अन्य उच्च तापमान क्रिस्टल विकास प्रक्रियाएं।

4. क्या VETEK अनुकूलित सुसेप्टर्स का निर्माण कर सकता है?

हाँ। हम ग्राहक के चित्र और प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर अनुकूलित डिज़ाइन प्रदान करते हैं।

5. कौन से रिएक्टर ब्रांड समर्थित हैं?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare, और अन्य मुख्यधारा प्रणालियाँ।