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एपिटैक्सी और एटॉमिक लेयर डिपोजिशन (एएलडी) के बीच मुख्य अंतर उनकी फिल्म विकास तंत्र और परिचालन स्थितियों में निहित है। एपिटैक्सी एक विशिष्ट अभिविन्यास संबंध के साथ एक क्रिस्टलीय सब्सट्रेट पर एक क्रिस्टलीय पतली फिल्म बढ़ने की प्रक्रिया को संदर्भित करता है, समान या समान क्रिस्टल संरचना को बनाए रखता है। इसके विपरीत, ALD एक बयान तकनीक है जिसमें एक समय में एक पतली फिल्म एक परमाणु परत बनाने के लिए अनुक्रम में विभिन्न रासायनिक अग्रदूतों के लिए एक सब्सट्रेट को उजागर करना शामिल है।

CVD TAC कोटिंग एक सब्सट्रेट (ग्रेफाइट) पर एक घने और टिकाऊ कोटिंग बनाने के लिए एक प्रक्रिया है। इस विधि में उच्च तापमान पर सब्सट्रेट सतह पर TAC जमा करना शामिल है, जिसके परिणामस्वरूप उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध के साथ एक टैंटलम कार्बाइड (TAC) कोटिंग होती है।

8 इंच के सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) प्रक्रिया के परिपक्वता के रूप में, निर्माता 6-इंच से 8-इंच तक शिफ्ट को तेज कर रहे हैं। हाल ही में, सेमीकंडक्टर और रेजोनैक ने 8-इंच SIC उत्पादन पर अपडेट की घोषणा की।