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सिलिकॉन वेफर्स एकीकृत सर्किट और अर्धचालक उपकरणों की नींव हैं। उनमें एक दिलचस्प विशेषता है - किनारों पर सपाट किनारे या छोटे खांचे। यह कोई दोष नहीं है, बल्कि जानबूझकर डिज़ाइन किया गया कार्यात्मक मार्कर है। वास्तव में, यह पायदान पूरी विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान एक दिशात्मक संदर्भ और पहचान मार्कर के रूप में कार्य करता है।
रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी) रासायनिक प्रतिक्रियाओं और यांत्रिक घर्षण की संयुक्त क्रिया के माध्यम से अतिरिक्त सामग्री और सतह के दोषों को दूर करती है। यह वेफर सतह के वैश्विक समतलीकरण को प्राप्त करने के लिए एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है और मल्टीलेयर कॉपर इंटरकनेक्ट्स और लो-के डाइइलेक्ट्रिक संरचनाओं के लिए अपरिहार्य है। व्यावहारिक विनिर्माण में
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