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सिलिकॉन कार्बाइड नैनोमैटेरियल्स (एसआईसी) नैनोमीटर स्केल (1-100nm) में कम से कम एक आयाम वाली सामग्री हैं। ये सामग्रियां शून्य-, एक-, दो-, या त्रि-आयामी हो सकती हैं और इसमें विविध अनुप्रयोग हो सकते हैं।
CVD SIC रासायनिक वाष्प बयान द्वारा निर्मित एक उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री है। यह मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण उपकरणों में विभिन्न घटकों और कोटिंग्स के लिए उपयोग किया जाता है। निम्नलिखित सामग्री सीवीडी एसआईसी के उत्पाद वर्गीकरण और मुख्य कार्यों का एक परिचय है
यह लेख मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में टीएसी कोटिंग के उत्पाद प्रकार, उत्पाद विशेषताओं और मुख्य कार्यों का परिचय देता है, और एक पूरे के रूप में टीएसी कोटिंग उत्पादों की एक व्यापक विश्लेषण और व्याख्या करता है।
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