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एएसएम के लिए एक SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर एक एपिटेक्सी सिस्टम के अंदर सिर्फ एक प्रतिस्थापन हिस्सा नहीं है। यह एक प्रक्रिया-महत्वपूर्ण वाहक है जो थर्मल एकरूपता, वेफर सफाई, कोटिंग स्थायित्व, कक्ष स्थिरता और दीर्घकालिक उत्पादन लागत को प्रभावित करता है।

CVD TaC कोटिंग कवर केवल एक सुरक्षात्मक ढक्कन या लेपित ग्रेफाइट घटक नहीं है। उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाओं में, यह कक्ष की सफाई, थर्मल स्थिरता, भाग जीवनकाल और प्रक्रिया स्थिरता को प्रभावित कर सकता है।

पीईसीवीडी उत्पादन में, कई कोटिंग और जमाव समस्याएं प्लाज्मा शक्ति या गैस रसायन विज्ञान से शुरू नहीं होती हैं। वे उस वाहक से शुरू करते हैं जो वेफर्स रखता है।