Sic कोटिंग कलेक्टर नीचे

वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च गुणवत्ता प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध निर्माता हैसीवीडी टीएसी कोटिंगऔर सीवीडी एसआईसी कोटिंग कलेक्टर बॉटम और हमारे ग्राहकों की जरूरतों को पूरा करने के लिए ऐक्सट्रॉन उपकरण के साथ मिलकर काम करें। चाहे प्रक्रिया अनुकूलन या नए उत्पाद विकास में, हम आपको तकनीकी सहायता प्रदान करने के लिए तैयार हैं और आपके पास मौजूद किसी भी प्रश्न का उत्तर दे सकते हैं।

उत्पाद कोर फ़ंक्शन

प्रक्रिया स्थिरता गारंटी

तापमान ढाल नियंत्रण: .51.5℃/CM@1200℃

प्रवाह क्षेत्र अनुकूलन: विशेष चैनल डिजाइन प्रतिक्रिया गैस वितरण एकरूपता को 92.6% तक बनाता है

उपकरण संरक्षण तंत्र

दोहरी सुरक्षा:

थर्मल शॉक बफर: 10 ℃/s तेजी से तापमान परिवर्तन का सामना करना

कण अवरोधन: ट्रैपिंग> 0.3μm तलछट कण

अत्याधुनिक प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में

संपूर्ण प्रक्रिया गुणवत्ता नियंत्रण

उत्पादन ट्रेसबिलिटी तंत्र

कच्चे माल का स्रोत: जापान से टोकाई/टॉयो ग्रेफाइट, जर्मनी से एसजीएल ग्रेफाइट

डिजिटल ट्विन मॉनिटरिंग: प्रत्येक घटक एक स्वतंत्र प्रक्रिया पैरामीटर डेटाबेस से मेल खाता है

आवेदन परिदृश्य:

तीसरी पीढ़ी अर्धचालक विनिर्माण

परिदृश्य: 6-इंच SIC एपिटैक्सियल ग्रोथ (100-150μm मोटाई कंट्रोल)

संगत मॉडल: AIXTRON G5 WW/CRIUS II

AIXTRON SIC कोटेड कलेक्टर टॉप, कलेक्टर सेंटर और SIC लेपित कलेक्टर, थर्मल प्रबंधन और सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रियाओं में रासायनिक सुरक्षा का उपयोग करके, फिल्म विकास वातावरण को अनुकूलित किया जा सकता है, और फिल्म की गुणवत्ता और स्थिरता में सुधार किया जा सकता है। Aixtron उपकरण में इन घटकों का संयोजन स्थिर प्रक्रिया की स्थिति और कुशल अर्धचालक उत्पादन सुनिश्चित करता है।

CVD SIC फिल्म का SEM डेटा