उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर नाव

वीटेक सेमीकंडक्टर की उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर नाव अल्ट्रा-उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज से बनी है, जिसमें कम हाइड्रॉक्सिल सामग्री, उच्च शुद्धता और मजबूत उच्च तापमान प्रतिरोध की विशेषताएं हैं। यह सामग्री अर्धचालक उद्योग में प्रसार भट्टियों और सीवीडी भट्टी घटकों के लिए सामग्री के रूप में भी व्यापक रूप से उपयोग की जाती है। सिलिकॉन वेफर्स ले जाने के लिए एक कंटेनर के रूप में, उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज बोट वेफर का उपयोग सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक, रसायन और अन्य क्षेत्रों में किया गया है।

अनुप्रयोग परिदृश्य

पहला अर्धचालक क्षेत्र है। वेफर्स की ताप उपचार प्रक्रिया बहुत महत्वपूर्ण है, जिसमें थर्मल ऑक्सीकरण, प्रसार, एनीलिंग आदि शामिल हैं। ताप उपचार प्रक्रिया के माध्यम से, हम वेफर्स को नई विशेषताएं देते हैं।

बैच फर्नेस कोर ट्यूब का उपयोग अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण प्रक्रियाओं जैसे थर्मल ऑक्सीकरण, उच्च तापमान प्रसार, एनीलिंग और पतली फिल्म बयान के लिए किया जाता है। बैच हीटिंग भट्ठी का उपयोग मुख्य रूप से गर्मी उपचार को पूरा करने के लिए कॉइल द्वारा भट्ठी के शरीर को गर्म करने के लिए किया जाता है। विभिन्न कामकाजी संरचनाओं के अनुसार, बैच भट्ठी कोर ट्यूबों को क्षैतिज भट्टियों और ऊर्ध्वाधर भट्टियों में विभाजित किया जा सकता है:

(1) क्षैतिज भट्टी की उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर नाव क्षैतिज रूप से रखी जाती है, इसलिए इसे क्षैतिज भट्टी कहा जाता है।

गर्मी उपचार प्रक्रिया में, वेफर को उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर नाव पर लोड किया जाता है, धीरे-धीरे क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब में भेजा जाता है, और वेफर को प्रसंस्करण के लिए एक स्थिर तापमान क्षेत्र में रखा जाता है। प्रक्रिया पूरी होने की प्रतीक्षा करने के बाद, अचानक तापमान परिवर्तन के कारण वेफर को क्षतिग्रस्त होने से बचाने के लिए वेफर में प्रयुक्त क्वार्ट्ज नाव को धीरे-धीरे क्वार्ट्ज भट्टी से बाहर निकाला जाता है। 200 मिमी से कम वेफर व्यास वाले एकीकृत सर्किट की प्रसार प्रक्रिया में क्षैतिज भट्टियों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। 

क्षैतिज भट्टियों के फायदे सरल प्रक्रिया, वेफर्स के बीच अच्छी एकरूपता और एक ही समय में कई वेफर्स को संसाधित करने की क्षमता हैं। नुकसान धीमी हीटिंग गति, बड़े उपकरण आकार, स्वचालन में कठिनाई और वेफर्स को लोड और अनलोड करते समय बाहरी हवा का आसान प्रवेश हैं।

(२) ऊर्ध्वाधर भट्ठी की उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोट को लंबवत रूप से रखा गया है, इसलिए इसे एक ऊर्ध्वाधर भट्ठी कहा जाता है।

वेफर को क्वार्ट्ज टॉवर पर लोड किया जाता है और धीरे-धीरे हीटिंग के लिए क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब तक बढ़ जाता है। हीटिंग प्रक्रिया के दौरान, उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर नाव धीरे-धीरे घूमेगी ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि वेफर समान रूप से गर्म हो। प्रसंस्करण के बाद, तापमान परिवर्तन से बचने के लिए क्वार्ट्ज टॉवर धीरे-धीरे नीचे उतरेगा जिससे वेफर क्षति हो सकती है। ऊर्ध्वाधर भट्टियां मुख्य रूप से 200 मिमी और 300 मिमी व्यास वाले वेफर्स की एकीकृत सर्किट प्रक्रिया में उपयोग की जाती हैं। ऊर्ध्वाधर भट्टियों की मुख्य तकनीक उच्च-परिशुद्धता तापमान क्षेत्र नियंत्रण, कण नियंत्रण, सूक्ष्म-पर्यावरण सूक्ष्म-ऑक्सीजन नियंत्रण और मोटराइजेशन में निहित है। ऊर्ध्वाधर भट्टियों के फायदे पतली प्राकृतिक ऑक्साइड परत, अच्छी एकरूपता, आसान स्वचालन, छोटे उपकरण पदचिह्न और बैच प्रसंस्करण हैं। नुकसान यह है कि हीटिंग की गति धीमी है।

फोटोवोल्टिक क्षेत्र में, फोटोवोल्टिक कोशिकाओं की उत्पादन प्रक्रिया में उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया में सिलिकॉन वेफर्स को ले जाने और परिवहन करने के लिए क्वार्ट्ज नौकाओं की आवश्यकता होती है। उच्च शुद्धता वाले नाइट्रोजन, ऑक्सीजन या अन्य अक्रिय गैस वातावरण में उच्च तापमान उपचार, जैसे फॉस्फोरस प्रसार या बोरॉन प्रसार, सौर कोशिकाओं की निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण कदम है। इसका उद्देश्य सिलिकॉन वेफर पर एक पीएन जंक्शन बनाना है।

क्वार्ट्ज बोट ने यह सुनिश्चित करने के लिए ठीक से डिजाइन किए गए स्लॉट तैयार किए हैं कि सिलिकॉन वेफर उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया के दौरान सटीक स्थिति को बनाए रखता है और समान रूप से गर्म होता है। क्योंकि क्वार्ट्ज सामग्री में अच्छी उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता है, यह सिलिकॉन वेफर को प्रदूषित नहीं करेगा, जो उत्पादन वातावरण की उच्च स्वच्छता बनाए रखने के लिए अनुकूल है।

चीन के वेफर प्रयुक्त क्वार्ट्ज बोट बाजार में एक प्रर्वतक और नेता के रूप में, चाहे आप सेमीकंडक्टर उद्योग में लगे हों या फोटोवोल्टिक उद्योग में, जब तक आपको उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज वेफर बोट की आवश्यकता है, कृपया हमसे उद्धरण के लिए पूछें और हम इसे तैयार करने में सक्षम होंगे। यह आपकी आवश्यकताओं के अनुसार आपके लिए है।

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