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एमओसीवीडी एपिटेक्सी ग्रेफाइट ससेप्टर्स पर किनारों के पीले होने और सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के छिलने के कारणों का गहन विश्लेषण। वीटेक ने प्रारंभिक सीवीडी जमाव दर और प्रवाह क्षेत्र को सटीक रूप से नियंत्रित करके, कोटिंग उपज को 50% से 90% तक बढ़ाकर और उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट भागों की सेवा जीवन को बढ़ाकर सूक्ष्म तनाव को समाप्त कर दिया।

मल्टी-पॉकेट सिलिकॉन एपिटैक्सी ग्रेफाइट ससेप्टर्स में 1.4% पॉकेट-टू-पॉकेट मोटाई भिन्नता को संबोधित करते हुए, वीटेक सेमी ने ससेप्टर फ़्लैटनेस को <0.08 मिमी तक सुधार दिया और सीवीडी प्रवाह क्षेत्र सिमुलेशन और अल्ट्रा-प्रिसिजन SiC कोटिंग के माध्यम से भिन्नता को 0.69% तक कम कर दिया, जिससे वेफर उपज में वृद्धि हुई।

जानें कि वीटेक ने बड़े आकार के एमओसीवीडी सीआईसी-लेपित ग्रेफाइट रिसेप्टर्स में रेडियल क्रैकिंग को कैसे समाप्त किया। स्ट्रक्चरल स्ट्रेस बफर रिडिजाइन और सीटीई मिलान ने सेवा जीवन को 300%+ तक बढ़ा दिया।