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क्वार्ट्ज बोट एक प्रमुख लोड-असर घटक है जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में किया जाता है। यह मुख्य रूप से वेफर्स के उच्च तापमान प्रसंस्करण के लिए उपयोग किया जाता है, जैसे कि प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग। इसकी उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, कम प्रदूषण की विशेषताएं और संक्षारण प्रतिरोध इसे अर्धचालक उद्योग में एक अपरिहार्य सामग्री बनाती है। यह लेख सामग्री, भौतिक गुणों, वर्गीकरण, क्वार्ट्ज बोट के आवेदन परिदृश्यों और PECVD ग्रेफाइट बोट से इसके अंतर पर विस्तार से बताएगा।

PECVD ग्रेफाइट बोट की मुख्य सामग्री उच्च-शुद्धता वाले आइसोट्रोपिक ग्रेफाइट सामग्री है (शुद्धता आमतौर पर .999.999%है), जिसमें उत्कृष्ट विद्युत चालकता, तापीय चालकता और घनत्व है। साधारण ग्रेफाइट नावों की तुलना में, PECVD ग्रेफाइट नौकाओं में कई भौतिक और रासायनिक संपत्ति के फायदे होते हैं और मुख्य रूप से अर्धचालक और फोटोवोल्टिक उद्योगों में उपयोग किए जाते हैं, विशेष रूप से PECVD और CVD प्रक्रियाओं में।

MOCVD ग्रेफाइट ट्रे एपिटैक्सियल प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। यह लेख भौतिक गुणों और अनुप्रयोग परिदृश्यों के दृष्टिकोण से MOCVD ग्रेफाइट ट्रे के चयन पर एक विस्तृत विश्लेषण करता है।