नक़्क़ाशी के लिए फोकस रिंग

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन नक़्क़ाशी के छल्ले प्लाज्मा पर्यावरण स्थिरता को बनाए रखने, उपकरणों और वेफर्स की रक्षा करने, संसाधन उपयोग का अनुकूलन और उन्नत प्रक्रिया आवश्यकताओं के लिए अनुकूलित करके अर्धचालक नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में आवश्यक घटक हैं। इसका प्रदर्शन सीधे चिप निर्माण की उपज और लागत को प्रभावित करता है।

Etched फोकस रिंग, इलेक्ट्रोड और आदि (एज तापमान नियंत्रक) प्लाज्मा एकरूपता, तापमान नियंत्रण और प्रक्रिया पुनरावृत्ति को सुनिश्चित करने के लिए कोर उपभोग्य सामग्रियों हैं। इन घटकों को सीवीडी, नक़्क़ाशी और फिल्म उपकरणों के वैक्यूम चैंबर में ठीक से इकट्ठा किया जाता है और सीधे वेफर के केंद्र तक किनारे से नक़्क़ाशी की सटीकता और उपज का निर्धारण किया जाता है।

उच्च-अंत विनिर्माण प्रक्रियाओं में भौतिक गुणों के लिए कड़े मांग के जवाब में, Veteksemi उच्च-शुद्धता वाले मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन का उपयोग करके 10-20ω · सेमी की प्रतिरोधकता के साथ ध्यान केंद्रित करने और उपभोग्य सामग्रियों का समर्थन करने के लिए नवाचार करता है। सामग्री विज्ञान, विद्युत डिजाइन और थर्मोडायनामिक्स के सहयोगी अनुकूलन के माध्यम से, वेटेकसेमी ध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले और सहायक उपभोग्य सामग्रियों का निर्माण करने में सक्षम है। दीर्घायु, सटीकता और लागत प्रभावशीलता में सफलता में सुधार प्राप्त करने के लिए पारंपरिक क्वार्ट्ज समाधानों को व्यापक रूप से पार करता है।

मुख्य सामग्री तुलना और प्रतिरोधकता अनुकूलन

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन बनाम। क्वार्ट्ज

उत्पाद -कोर आचरणe

1। परमाणु स्तर प्रक्रिया सटीकता

प्रतिरोधकता अनुकूलन + अल्ट्रा-सटीक पॉलिशिंग (आरए <0.1μM) सेमी F47 मानकों को पूरा करने के लिए सूक्ष्म-डिस्चार्ज और कण संदूषण को समाप्त करता है।

ढांकता हुआ नुकसान (TANΔ <0.001) वेफर ढांकता हुआ वातावरण से अत्यधिक मेल खाता है, एज इलेक्ट्रिक फील्ड विरूपण से परहेज करता है और 3D NAND 89.5 ° ° 0.3 ° ऊर्ध्वाधर गहरे छेद नक़्क़ाशी का समर्थन करता है।

2। बुद्धिमान प्रणाली संगतता

ETC एज तापमान नियंत्रण मॉड्यूल के साथ एकीकृत, शीतलन हवा का प्रवाह चैम्बर थर्मल बहाव की भरपाई के लिए थर्मोकपल और एआई एल्गोरिथ्म द्वारा गतिशील रूप से समायोजित किया जाता है।

समर्थन अनुकूलित आरएफ मिलान नेटवर्क, मुख्यधारा की मशीनों जैसे कि अमात सेंटुरा, एलएएम रिसर्च कियो और आईसीपी/सीसीपी प्लाज्मा स्रोतों के लिए उपयुक्त है।

3। व्यापक लागत-प्रभावशीलता

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन का जीवन क्वार्ट्ज की तुलना में 275% लंबा है, रखरखाव चक्र 3,000 घंटे से अधिक है, और स्वामित्व की व्यापक लागत (TCO) 30% तक कम हो जाती है।

प्रतिरोधकता ग्रेडिएंट कस्टमाइज़ेशन सर्विस (5-100 · सेमी), ग्राहक प्रक्रिया विंडो (जैसे कि GAN/SIC वाइड बैंड गैप सामग्री नक़्क़ाशी) से मेल खाते हैं।

प्रतिरोधकता का प्रभाव

उत्पाद वाणिज्यिक शर्तें

न्यूनतम आदेश मात्रा	1 सेट
कीमत	अनुकूलित उद्धरण के लिए संपर्क करें
पैकेजिंग विवरण	मानक निर्यात पैकेज
डिलीवरी का समय	डिलीवरी का समय: आदेश की पुष्टि के बाद 30-35 दिन
भुगतान की शर्तें	टी/टी
आपूर्ति की योग्यता	600 सेट/महीना