एमओसीवीडी के लिए उच्च शुद्धता अपारदर्शी क्वार्ट्ज शील्ड और शटर

1. तकनीकी विशिष्टताएँ

हम आपके विशिष्ट उपकरण मॉडल के साथ एकदम फिट सुनिश्चित करने के लिए आपके तकनीकी चित्रों के आधार पर उच्च-परिशुद्धता मशीनिंग प्रदान करते हैं।

2. मुख्य अनुप्रयोग फ़ील्ड

● एमओसीवीडी प्रक्रिया सुरक्षा: प्रतिक्रिया पर्यावरण की सुरक्षा के लिए आवश्यक आंतरिक ढाल/लाइनर के रूप में कार्य करना।

● सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी: पतली-फिल्म वृद्धि के दौरान प्रवाह और तापमान स्थिरीकरण के लिए उच्च परिशुद्धता शटर के रूप में उपयोग किया जाता है।

● वाइड-बैंडगैप सेमीकंडक्टर विनिर्माण: GaN और अन्य उन्नत सामग्रियों के लिए उच्च मांग वाले वातावरण के साथ संगत।

3. VETEK क्वार्ट्ज़ सॉल्यूशंस क्यों चुनें?

● सुपीरियर थर्मल विकिरण प्रबंधन: हमारे दूधिया सफेद क्वार्ट्ज में सूक्ष्म बुलबुले का उच्च घनत्व होता है जो उच्च तापमान थर्मल विकिरण (>1000 डिग्री सेल्सियस) को प्रभावी ढंग से फैलाता है और रोकता है। यह हीटिंग तत्वों से दृश्यमान और निकट-अवरक्त प्रकाश को अवशोषित करता है और इसे दूर-अवरक्त विकिरण में परिवर्तित करता है, जिससे अत्यधिक समान ताप सुनिश्चित होता है।
● संदूषण नियंत्रण एवं आसान रखरखाव: एक बलि या प्रतिस्थापन योग्य आंतरिक लाइनर के रूप में, क्वार्ट्ज शील्ड महंगे कक्ष की दीवारों और हीटरों पर उपोत्पाद जमाव को रोककर प्रतिक्रिया कक्ष को साफ रखता है। इन भागों को गीली सफाई (जैसे एसपीएम+डीएचएफ समाधान) के माध्यम से पुनर्जीवित किया जा सकता है या उच्च वेफर पैदावार सुनिश्चित करने के लिए आसानी से बदला जा सकता है।
● अत्यधिक रासायनिक प्रतिरोध: VETEK क्वार्ट्ज़ को लगातार थर्मल साइक्लिंग का सामना करने और धातु ऑर्गेनिक्स (जैसे TMGa) और हाइड्राइड्स (जैसे AsH₃) से जंग का विरोध करने के लिए इंजीनियर किया गया है।
● परिशुद्धता प्रक्रिया नियंत्रण: हमारे क्वार्ट्ज शटर इन्फ्रारेड या फिलामेंट हीटिंग के तहत उच्च आयामी स्थिरता बनाए रखते हैं। उनकी कम थर्मल जड़ता तेजी से यांत्रिक प्रतिक्रिया की अनुमति देती है, सटीक "परमाणु स्तर" विकास नियंत्रण को सक्षम करती है और मल्टी-वेफर या मल्टी-प्रोसेस स्विचिंग के दौरान क्रॉस-संदूषण को रोकती है।
● लागत प्रभावी विकल्प: सख्त बजट आवश्यकताओं वाली परियोजनाओं के लिए, हमारे क्वार्ट्ज उत्पाद लेपित ग्रेफाइट की तुलना में एक विश्वसनीय प्रवेश बिंदु प्रदान करते हैं, जो एमओसीवीडी सिस्टम के लिए आवश्यक सुरक्षा और कार्यक्षमता प्रदान करते हैं।