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पीजेडटी पीजोइलेक्ट्रिक वेफर्स (एसआई/एसओआई पर पीजेडटी)
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पीजेडटी पीजोइलेक्ट्रिक वेफर्स (एसआई/एसओआई पर पीजेडटी)

जैसे-जैसे 5जी संचार, सटीक चिकित्सा उपकरणों और स्मार्ट पहनने योग्य उपकरणों के विस्तार के साथ उच्च-संवेदनशीलता और कम-शक्ति वाले एमईएमएस ट्रांसड्यूसर की मांग बढ़ती है, Si/SOI वेफर्स पर हमारा PZT एक महत्वपूर्ण सामग्री समाधान प्रदान करता है। सोल-जेल या स्पटरिंग जैसी उन्नत पतली-फिल्म जमाव प्रक्रियाओं का उपयोग करके, हम सिलिकॉन सब्सट्रेट्स पर असाधारण स्थिरता और बेहतर पीजोइलेक्ट्रिक प्रदर्शन प्राप्त करते हैं। ये वेफर्स इलेक्ट्रोमैकेनिकल ऊर्जा रूपांतरण के लिए मौलिक कोर के रूप में काम करते हैं।

1. तकनीकी वास्तुकला

हमारे वेफर्स में जटिल एमईएमएस प्रसंस्करण के दौरान इष्टतम आसंजन, चालकता और पीज़ोइलेक्ट्रिक प्रतिक्रिया सुनिश्चित करने के लिए डिज़ाइन की गई एक परिष्कृत बहु-परत स्टैक संरचना है:

 ●शीर्ष इलेक्ट्रोड (कुंजी परत): पीटी (प्लैटिनम)।

पीजो परत (कोर परत): पीजेडटी.

मध्यवर्ती परतें: अनाज अभिविन्यास और संरचनात्मक स्थिरता को अनुकूलित करने के लिए बफर परत, निचला इलेक्ट्रोड और आसंजन परत शामिल है।

सब्सट्रेट: Si या SOI वेफर्स के साथ संगत।


PZT Piezoelectric Ceramic Wafers Physical Structure

2. गुणवत्ता आश्वासन एवं सूक्ष्म संरचना विश्लेषण

हम कठोर तकनीकी लक्षण वर्णन के माध्यम से उच्च विश्वसनीयता सुनिश्चित करते हैं:

Typical Stack of PZT Piezoelectric Ceramic Wafers


 ●एसईएम विश्लेषण: स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (एसईएम) छवियां समान अनाज आकार वितरण के साथ एक घनी, दरार-मुक्त सतह आकृति विज्ञान को प्रकट करती हैं, जो उच्च-विश्वसनीयता वाले एमईएमएस अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है।

 ●एक्सआरडी विशेषता: एक्स-रे विवर्तन (एक्सआरडी) पैटर्न एक मजबूत (100) पसंदीदा अभिविन्यास के साथ शुद्ध पेरोव्स्काइट चरण गठन की पुष्टि करते हैं, जो अधिकतम पीजोइलेक्ट्रिक प्रदर्शन गुणांक सुनिश्चित करता है।


3. तकनीकी विशिष्टताएँ (विशेषताएँ)

पीजेडटी विशेषताएँ
पॉलीक्रिस्टल PZT
पीजोइलेक्ट्रिक स्थिरांक d31
200 पीसी/एन
पीजोइलेक्ट्रिक गुणांक e31
-14 सी/एम²
क्यूरी तापमान
एक्स ℃
वेफर आकार
4/6/8 इंच उपलब्ध है


4. मुख्य अनुप्रयोग


 ● पीजोइलेक्ट्रिक माइक्रोमैकेनाइज्ड अल्ट्रासोनिक ट्रांसड्यूसर (pMUT): फ़िंगरप्रिंट सेंसर, हावभाव पहचान और ऑटोमोटिव अल्ट्रासोनिक रडार के लिए उच्च-आवृत्ति लघु सरणी।

 ● संचार: व्यापक बैंडविड्थ और कम प्रविष्टि हानि प्राप्त करने के लिए 5G/6G में FBAR या SAW फ़िल्टर के निर्माण की कुंजी।

 ● ध्वनिक एमईएमएस: एमईएमएस स्पीकर के लिए शक्तिशाली क्षणिक प्रतिक्रिया प्रदान करता है और एमईएमएस माइक्रोफोन के लिए सिग्नल-टू-शोर अनुपात (एसएनआर) में सुधार करता है।

 ● परिशुद्धता द्रव नियंत्रण: इंकजेट प्रिंटहेड्स में ड्रॉपलेट वॉल्यूम के नैनोलीटर-स्केल सटीक नियंत्रण के लिए डी31 मोड के माध्यम से उच्च गति कंपन।

 ● चिकित्सा एवं सौंदर्य (माइक्रो पंपिंग): उच्च विश्वसनीयता और कॉम्पैक्ट आकार के साथ मेडिकल नेब्युलाइज़र या कॉस्मेटिक अल्ट्रासोनिक पंप चलाता है।


5. अनुकूलन सेवाएँ

सी वेफर्स पर मानक जमाव के अलावा, हम कस्टम जमाव सेवाएं भी प्रदान करते हैं:

 ●फिल्म एवं मोटाई अनुकूलन: डिज़ाइन आवश्यकताओं के अनुसार विशिष्ट फिल्म प्रकार और कस्टम मोटाई का जमाव।

 ●ओईएम फाउंड्री: उच्च गुणवत्ता वाले पीजोइलेक्ट्रिक थिन-फिल्म विकास के लिए ग्राहकों से आपूर्ति किए गए वेफर्स की स्वीकृति।

 ●एसओआई सब्सट्रेट समर्थन: निम्नलिखित विशिष्टताओं के साथ एसओआई वेफर्स पर विशेषीकृत निक्षेपण:


एसओआई सब्सट्रेट वेफर
आकार
शीर्ष सी प्रतिरोध
मोटाई
डोपेंट
बॉक्स परत
6 इंच, 8 इंच
> 5000 ओम/सेमी




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