डिफ्यूजन फर्नेस के लिए क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

1. मुख्य विशेषताएं एवं लाभ

• पीपीबी स्तर पर नियंत्रित धातु की अशुद्धियों और बेहद कम हाइड्रॉक्सिल सामग्री के साथ अल्ट्रा-उच्च शुद्धता डीहाइड्रॉक्सिलेटेड फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज (SiO₂ ≥ 99.999%)

• दीर्घकालिक परिचालन तापमान 1100 डिग्री सेल्सियस तक; 1200 डिग्री सेल्सियस तक अल्पकालिक चरम प्रतिरोध

• पूर्ण तनाव-राहत एनीलिंग के बाद उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध - तेजी से तापमान परिवर्तन के तहत क्रैकिंग के लिए प्रतिरोधी

• ऑक्सीकरण, अपचायक और हैलोजन युक्त प्रक्रिया गैसों के खिलाफ उत्कृष्ट रासायनिक निष्क्रियता; प्लाज्मा और संक्षारक वातावरण के लिए उपयुक्त

• बहुत कम वैक्यूम आउटगैसिंग; चिकनी भीतरी दीवार उपोत्पाद निर्माण को कम करती है और प्रक्रिया की पुनरावृत्ति का समर्थन करती है

• विश्वसनीय सीलिंग के लिए समान दीवार की मोटाई, उच्च समाक्षीयता और सटीक-समाप्त सिरों के साथ एक-टुकड़ा बनाना

• अनुकूलन योग्य संरचनाएँ: सीधी ट्यूब, रेड्यूसर ट्यूब, फ़्लैंज्ड ट्यूब, विस्तारित लंबाई, और ऊर्ध्वाधर या क्षैतिज भट्टियों के लिए विशेष अंत विन्यास

2. विशिष्ट अनुप्रयोग

वीटेक क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबों का व्यापक रूप से मुख्य प्रतिक्रिया कक्ष के रूप में उपयोग किया जाता है:

• थर्मल ऑक्सीकरण भट्टियां (सूखा/गीला ऑक्सीकरण)

• डोपेंट परिचय के लिए प्रसार भट्टियां (बी, पी, एएस, आदि)

• पतली-फिल्म जमाव के लिए एलपीसीवीडी सिस्टम

• वैक्यूम एनीलिंग और अन्य उच्च तापमान ताप-उपचार प्रक्रियाएं

• 4-इंच, 6-इंच, 8-इंच और 12-इंच वेफर प्लेटफॉर्म (Si, SiC, GaN, नीलमणि सब्सट्रेट) के साथ संगत

वे तर्क, मेमोरी, पावर डिवाइस, एमसीयू, एलईडी, एमईएमएस और वाइड-बैंडगैप सेमीकंडक्टर विनिर्माण लाइनों का समर्थन करते हैं जिनके लिए स्थिर तापमान एकरूपता, गैस-प्रवाह नियंत्रण और अल्ट्रा-क्लीन प्रक्रिया वातावरण की आवश्यकता होती है।

3. मुख्य तकनीकी पैरामीटर

• सामग्री: सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहाइड्रॉक्सिलेटेड फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज़ (SiO₂ ≥ 99.999%), कम हाइड्रॉक्सिल, कम धात्विक अशुद्धियाँ

• वेफर अनुकूलता: 4 / 6 / 8 / 12 इंच

• दीर्घकालिक कार्य तापमान: -20 डिग्री सेल्सियस से 1100 डिग्री सेल्सियस; अल्पकालिक शिखर 1200 डिग्री सेल्सियस तक

• प्रक्रिया: वन-पीस थर्मल फॉर्मिंग, दीवार समरूपीकरण, अंतिम परिष्करण, तनाव-राहत एनीलिंग, हीलियम रिसाव परीक्षण, अल्ट्रा-क्लीन सफाई

• उपलब्ध संरचनाएँ: सीधी ट्यूब, रेड्यूसर ट्यूब, फ़्लैंग्ड ट्यूब, विस्तारित / कस्टम-लंबाई ट्यूब, विशेष-अंत कॉन्फ़िगरेशन

• अनुकूलन: भीतरी/बाहरी व्यास, लंबाई, दीवार की मोटाई, निकला हुआ किनारा विवरण, और ग्राहक के चित्र के अनुसार विशेष ज्यामिति

4. वीटेक क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब क्यों चुनें?

सेमीकंडक्टर क्वार्ट्ज घटकों के एक पेशेवर निर्माता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर ऑफर करता है:

• ऑक्सीकरण, प्रसार, एलपीसीवीडी और एनीलिंग उपकरण के लिए इंजीनियर की गई उच्च शुद्धता वाली क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

• सख्त शुद्धता नियंत्रण, आयामी सटीकता, और सफाई कक्षा 10 / कक्षा 100 क्लीनरूम उत्पादन के लिए उपयुक्त है

• ऊर्ध्वाधर और क्षैतिज ट्यूब भट्टियों के लिए पूर्ण अनुकूलन और OEM-संगत डिज़ाइन

• वेफर नौकाओं, क्रूसिबल, लाइनर और अन्य प्रक्रिया घटकों सहित पूरक अर्धचालक क्वार्ट्ज उत्पाद

हमारे क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब स्थिर थर्मल और गैस-प्रवाह की स्थिति को बनाए रखने, कण और धातु संदूषण को कम करने और निरंतर उच्च तापमान चक्र के तहत सेवा जीवन का विस्तार करने में मदद करते हैं - अर्धचालक थर्मल प्रसंस्करण में उच्च उपज और स्वामित्व की कम लागत का समर्थन करते हैं।