एसआईसी ब्रैकट पैडल

Ⅰ.Product उपयोग अवलोकन

SIC कैंटिलीवर पैडल मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणों में वेफर सपोर्ट और ट्रांसमिशन घटकों के रूप में उपयोग किए जाते हैं। इसका मुख्य कार्य उच्च तापमान और उच्च संक्षारण जैसे चरम प्रक्रिया स्थितियों के तहत सिलिकॉन वेफर्स को सटीक रूप से और सटीक रूप से संसाधित करना है, जो एक चिकनी और कुशल उत्पादन प्रक्रिया सुनिश्चित करता है।

Ⅱ.advantages और sic सामग्री की विशेषताएं

SIC एक उन्नत सिरेमिक सामग्री है, जिसके उत्कृष्ट भौतिक गुण इसे अर्धचालक क्षेत्र में एक अद्वितीय लाभ देते हैं। निम्नलिखित SIC ब्रैकट पैडल से संबंधित प्रमुख भौतिक पैरामीटर हैं:

● उच्च शुद्धता: उच्च शुद्धता वाले SIC सामग्री का उपयोग प्रक्रिया संदूषण को कम कर सकता है और उत्पाद की उपज में सुधार कर सकता है।

● उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध: एसआईसी में 2830 डिग्री सेल्सियस तक का पिघलने बिंदु है, जो इसे अत्यधिक तापमान वातावरण में संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखने में सक्षम बनाता है जैसे कि प्लाज्मा नक़्क़ाशी और उच्च तापमान एनीलिंग, और दीर्घकालिक ऑपरेटिंग तापमान 1000 डिग्री सेल्सियस से अधिक तक पहुंच सकता है।

● उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध: मोह्स हार्डनेस 9-9.5 है, केवल डायमंड के लिए दूसरा, एसआईसी ब्रैकट पैडल को उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध और उच्च-आवृत्ति वेफर ट्रांसमिशन के दौरान आयामी स्थिरता बनाए रखने के लिए।

● उत्कृष्ट तापीय चालकता: SIC सिरेमिक की थर्मल चालकता 120-250 w/(m · k) (विशिष्ट मूल्य) के रूप में अधिक है, जो जल्दी से गर्मी को फैला सकता है और स्थानीय ओवरहीटिंग से बच सकता है जो वेफर को नुकसान पहुंचा सकता है।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक: कम थर्मल विस्तार गुणांक (लगभग 4.0 × 10 k /k) आयामी स्थिरता सुनिश्चित करता है जब तापमान बदलता है, थर्मल विस्तार और संकुचन के कारण तनाव से बचता है, और इस प्रकार वेफर क्षति के जोखिम को कम करता है।

Ⅲ। एसआईसी कैंटिलीवर पैडल के आवेदन परिदृश्य

SIC कैंटिलीवर पैडल के अनूठे गुण उन्हें अर्धचालक विनिर्माण के कई लिंक में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाने में सक्षम बनाते हैं:

● प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण।

● पतली फिल्म बयान उपकरण (सीवीडी/पीवीडी): रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) की प्रक्रिया में, एसआईसी कैंटिलीवर पैडल का उपयोग वेफर्स का समर्थन करने के लिए किया जाता है। उनके उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और थर्मल चालकता समान रूप से वेफर्स को गर्म करने और पतली फिल्म जमाव प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न कण संदूषण को रोकने में मदद करते हैं।

● वेफर ट्रांसफर सिस्टम: स्वचालित वेफर ट्रांसफर सिस्टम में, एसआईसी कैंटिलीवर पैडल अपनी उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध के कारण उच्च आवृत्ति यांत्रिक आंदोलन का सामना कर सकते हैं, विभिन्न प्रक्रिया कक्षों के बीच वेफर्स के सटीक और तेजी से हस्तांतरण को सुनिश्चित करते हुए, वेफर क्षति और संदूषण के जोखिम को कम करते हैं।

● उच्च तापमान एनीलिंग प्रक्रिया: उच्च तापमान की भट्टी में, SIC कैंटिलीवर पैडल अल्ट्रा-हाई तापमान वातावरण का सामना कर सकते हैं, वेफर्स के लिए स्थिर समर्थन प्रदान कर सकते हैं, और एनीलिंग प्रक्रिया की एकरूपता और प्रभावशीलता सुनिश्चित करते हैं।

Veteksemicon उत्पाद की गुणवत्ता के लिए अर्धचालक प्रक्रियाओं की कठोर आवश्यकताओं के बारे में अच्छी तरह से अवगत है। इसलिए, हम अनुकूलित सेवाओं का समर्थन करते हैं और आपके विशिष्ट उपकरणों और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित एसआईसी कैंटिलीवर पैडल डिजाइन और उत्पादन प्रदान कर सकते हैं। और हम यह सुनिश्चित करने के लिए सख्त गुणवत्ता नियंत्रण को भी नियंत्रित करेंगे कि प्रत्येक उत्पाद यह सुनिश्चित करने के लिए सख्त गुणवत्ता निरीक्षण से गुजरता है कि यह उच्चतम उद्योग मानकों को पूरा करता है।

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