एपिटैक्सी के लिए एसआईसी लेपित सीलिंग रिंग

Ⅰ। Sic कोटेड सील रिंग क्या है?

SIC लेपित सील रिंग (सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड सील रिंग) एक सटीक सीलिंग घटक है जिसे उच्च तापमान, अत्यधिक संक्षारक अर्धचालक प्रक्रिया वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसका मूल रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) या भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) प्रक्रिया, ग्रेफाइट या कार्बन मिश्रित सामग्री सब्सट्रेट सतह के माध्यम से समान रूप से उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कोटिंग की एक परत के साथ कवर किया गया है, जो सब्सट्रेट की यांत्रिक शक्ति और उच्च-प्रदर्शन सील गुणों की कोटिंग दोनों का गठन है।  

Ⅱ। उत्पाद रचना और मुख्य प्रौद्योगिकी  

1। सब्सट्रेट सामग्री:

ग्रेफाइट या कार्बन-कार्बन समग्र सामग्री: आधार सामग्री में उच्च गर्मी प्रतिरोध का लाभ है (2000 से अधिक ℃ से अधिक) और थर्मल विस्तार के कम गुणांक का सामना कर सकते हैं, इस प्रकार उच्च तापमान जैसे चरम परिस्थितियों में आयामी स्थिरता सुनिश्चित करते हैं।  

परिशुद्धता मशीनिंग संरचना: सटीक रिंग डिज़ाइन को अर्धचालक उपकरणों के गुहा के लिए पूरी तरह से अनुकूलित किया जा सकता है, इस प्रकार सीलिंग सतह और अच्छी एयरटाइटनेस की सपाटता सुनिश्चित करता है।  

2। कार्यात्मक कोटिंग:  

उच्च शुद्धता SIC कोटिंग (शुद्धता) 99.99%): कोआइंग की मोटाई आमतौर पर 10-50μm होती है, सीवीडी प्रक्रिया के माध्यम से घने गैर-छिद्रपूर्ण सतह संरचना की एक परत बनाने के लिए, सीलिंग रिंग सतह उत्कृष्ट रासायनिक निष्क्रियता और यांत्रिक गुणों को प्रदान करता है।

Ⅲ। कोर भौतिक गुण और एपिटैक्सी के लिए एसआईसी कोटेड सीलिंग रिंग के फायदे

Veteksemicon के SIC- कोटेड सीलिंग रिंग्स चरम परिस्थितियों में उनके उत्कृष्ट प्रदर्शन के कारण अर्धचालक एपिटैक्सी प्रक्रियाओं के लिए आदर्श हैं। नीचे उत्पाद के विशिष्ट भौतिक गुण हैं:

Iv। सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रोसेसिंग में मुख्य अनुप्रयोग  

एपिटैक्सी के लिए एसआईसी लेपित सीलिंग रिंग मुख्य रूप से MOCVD (धातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव) और MBE (आणविक बीम एपिटैक्सी) और अन्य प्रक्रिया उपकरणों में उपयोग की जाती है, विशिष्ट कार्यों में शामिल हैं:  

1। अर्धचालक उपकरण प्रतिक्रिया कक्ष वायु जकड़न संरक्षण

हमारे एसआईसी-लेपित सीलिंग रिंग्स यह सुनिश्चित करते हैं कि रिंग संरचना को कस्टमाइज़ करके उपकरण कक्ष (जैसे कि निकला हुआ किनारा, बेस शाफ्ट) के साथ इंटरफ़ेस के आयामी सहिष्णुता (आमतौर पर ± 0.01 मिमी के भीतर) के साथ जितना संभव हो उतना छोटा होता है। 

इसी समय, सीलिंग रिंग को सीएनसी मशीन टूल्स का उपयोग करके सटीक रूप से मशीनीकृत किया जाता है ताकि संपर्क सतह की पूरी परिधि के चारों ओर एक समान फिट सुनिश्चित किया जा सके, सूक्ष्म अंतराल को समाप्त किया जा सके। यह प्रभावी रूप से प्रक्रिया गैसों के रिसाव को रोकता है (जैसे, H,, NH,), एपिटैक्सियल लेयर ग्रोथ वातावरण की शुद्धता सुनिश्चित करता है, और वेफर उपज में सुधार करता है।  

दूसरी ओर, अच्छी गैस की जकड़न भी बाहरी प्रदूषकों (O,, H₂o) की घुसपैठ को अवरुद्ध कर सकती है, इस प्रकार प्रभावी रूप से एपिटैक्सियल परत (जैसे अव्यवस्था, अशुद्धियों की असमान डोपिंग) में दोषों से बचती है।  

2। उच्च तापमान गतिशील सीलिंग समर्थन  

सब्सट्रेट-कोटिंग सिनर्जिस्टिक एंटी-डिफॉर्मेशन के सिद्धांत को अपनाना: ग्रेफाइट सब्सट्रेट के थर्मल विस्तार के कम गुणांक के कारण (CTE × 4.5 × 10-°/° C) बहुत छोटा है, और चरम उच्च तापमान पर (＞ 1000 ℃) का विस्तार केवल 1/5 है। SIC कोटिंग (HV2500 या अधिक) की अल्ट्रा-हाई कठोरता के साथ संयुक्त, यह यांत्रिक कंपन या कणों के प्रभाव के कारण सीलिंग सतह पर प्रभावी रूप से खरोंच का विरोध कर सकता है, और सूक्ष्म सपाटता बनाए रख सकता है।

वी। रखरखाव की सिफारिशें

अचानक विफलता से बचने के लिए 1. रेगुलेरली सीलिंग सरफेस वियर (त्रैमासिक ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप निरीक्षण की सिफारिश की जाती है) की जांच करें।  

2. डिपॉजिट को हटाने के लिए विशेष क्लीनर (जैसे निर्जल इथेनॉल) का उपयोग करें, एसआईसी कोटिंग को नुकसान को रोकने के लिए यांत्रिक पीसने पर रोक लगाते हैं।