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सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कैंटिलीवर पैडल
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सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कैंटिलीवर पैडल

सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कैंटिलीवर पैडल की भूमिका वेफर्स का समर्थन और परिवहन करना है। प्रसार और ऑक्सीकरण जैसी उच्च तापमान वाली प्रक्रियाओं में, एसआईसी कैंटिलीवर पैडल उच्च तापमान के कारण विरूपण या क्षति के बिना वेफर नौकाओं और वेफर्स को ले जा सकता है, प्रक्रिया की चिकनी प्रगति को सुनिश्चित करता है। प्रसार, ऑक्सीकरण और अन्य प्रक्रियाओं को अधिक समान बनाना वेफर प्रसंस्करण की स्थिरता और उपज में सुधार करने के लिए महत्वपूर्ण है। Vetek सेमीकंडक्टर उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड के साथ SIC कैंटिलीवर पैडल बनाने के लिए उन्नत तकनीक का उपयोग करता है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि वेफर्स दूषित नहीं होंगे। वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कैंटिलीवर पैडल उत्पादों पर आपके साथ दीर्घकालिक सहयोग के लिए तत्पर है।

सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कैंटिलीवर पैडल वेफर प्रसंस्करण प्रक्रिया में एक अपरिहार्य प्रमुख घटक है। यह मुख्य रूप से वेफर ट्रांसपोर्ट सिस्टम का एक हिस्सा है। यह उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रसार भट्टियों जैसे उपकरणों में वेफर्स को ले जाने और परिवहन करने का महत्वपूर्ण कार्य करता है, जिससे वेफर और भट्ठी ट्यूब की संकेंद्रितता सुनिश्चित होती है, और वेफर प्रसंस्करण की स्थिरता और उपज में सुधार होता है।


SIC ब्रैकट पैडल में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रदर्शन होता है: 1600 ℃ तक उच्च तापमान के वातावरण में, SIC कैंटिलीवर पैडल अभी भी उच्च शक्ति और स्थिरता बनाए रख सकता है, विकृत, क्षति और अन्य समस्याओं को नहीं बनाएगा, और लंबे समय तक काम कर सकता है।


सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल उच्च शुद्धता वाली SiC सामग्री से बना है, और वेफर प्रसंस्करण के दौरान कोई भी कण नहीं गिरेगा, जिससे वेफर सतह के संदूषण से बचा जा सकेगा। सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री में उच्च झुकने की ताकत होती है, और अधिक वेफर्स ले जाने पर अधिक तनाव का सामना कर सकती है, और टूटने का खतरा नहीं होता है, जिससे वेफर ट्रांसमिशन प्रक्रिया की सुरक्षा और स्थिरता सुनिश्चित होती है। SiC की उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता SiC ब्रैकट पैडल को विभिन्न रसायनों और गैसों से संक्षारण का विरोध करने में मदद करती है, सामग्री संक्षारण के कारण वेफर को दूषित होने से अशुद्धियों को रोकती है, और उत्पाद की सेवा जीवन को बढ़ाती है।


SiC Cantilever Paddle working diagram

Sic ब्रैकट पैडल वर्किंग आरेख


उत्पाद विनिर्देश


● कई आकार: हम विभिन्न प्रकार के अर्धचालक उपकरणों और विभिन्न आकारों के वेफर प्रसंस्करण की जरूरतों को पूरा करने के लिए विभिन्न आकारों के सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) ब्रैकट पैडल प्रदान करते हैं।


●  अनुकूलित सेवा: मानक विनिर्देश उत्पादों के अलावा, हम ग्राहकों के लिए उनकी विशेष आवश्यकताओं, जैसे विशिष्ट आकार, आकृति, भार क्षमता आदि के अनुसार विशेष समाधान भी बना सकते हैं।


●  एक-टुकड़ा मोल्डिंग डिजाइन: यह आमतौर पर एक-टुकड़ा मोल्डिंग प्रक्रिया का उपयोग करके निर्मित किया जाता है, जिसमें कनेक्टिंग सेक्शन, ट्रांजिशन सेक्शन और असर सेक्शन शामिल हैं। भागों को कसकर जुड़ा हुआ है और मजबूत अखंडता है, जो प्रभावी रूप से उत्पाद की संरचनात्मक शक्ति और स्थिरता में सुधार करता है और कमजोर कनेक्शन भागों के कारण होने वाली विफलता के जोखिम को कम करता है।


●  प्रबलित संरचना: कुछ उत्पादों को संक्रमण अनुभाग, जैसे कि नीचे की प्लेट, प्रेशर प्लेट, कनेक्टिंग रॉड, आदि जैसे प्रमुख भागों में सुदृढीकरण संरचनाओं से सुसज्जित किया जाता है, जो संक्रमण अनुभाग और कनेक्टिंग सेक्शन और असर अनुभाग के बीच कनेक्शन की शक्ति को और बढ़ाता है। , वेफर को ले जाने पर उच्च शुद्धता SIC ब्रैकट पैडल की विश्वसनीयता में सुधार करता है, और संक्रमण क्षेत्र में फ्रैक्चर जैसी समस्याओं को रोकता है।


●  विशेष असर क्षेत्र डिजाइन: असर क्षेत्र का डिजाइन पूरी तरह से वेफर के प्लेसमेंट और हीट ट्रांसफर पर विचार करता है। कुछ उत्पाद यू-आकार के खांचे, लंबी पट्टी छेद, आयताकार छेद और असर क्षेत्र में अन्य संरचनाओं से सुसज्जित हैं, जो न केवल असर क्षेत्र के वजन को कम कर देता है, बल्कि अवरुद्ध गर्मी से बचने के लिए वेफर के साथ संपर्क क्षेत्र को भी कम करता है। इसी समय, यह ट्रांसमिशन के दौरान वेफर की स्थिरता को भी सुनिश्चित कर सकता है और वेफर को गिरने से रोक सकता है।


पुनर्नवीनीकरण सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण :

संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस)
1600 डिग्री सेल्सियस (ऑक्सीजन के साथ), 1700 डिग्री सेल्सियस (वातावरण को कम करना)
SiC सामग्री
> 99.96%
मुफ्त सी सामग्री
<0.1%
थोक घनत्व
2.60-2.70 ग्राम/सेमी3
स्पष्ट पोरसिटी
<16%
स्पष्ट पोरसिटी
> 600 एमपीए
ठंडे झुकने की ताकत
80-90 एमपीए (20°C)
गर्म झुकने की शक्ति
90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस)
थर्मल विस्तार @1500 डिग्री सेल्सियस
4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस
थर्मल चालकता @1200 डिग्री सेल्सियस
23 डब्लू/एम•के
लोचदार मापांक
240 जीपीए
थर्मल सदमे प्रतिरोध
बहुत ही अच्छा


उत्पादन प्रक्रिया के दौरान, प्रत्येक सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कैंटिलीवर पैडल को सख्त गुणवत्ता निरीक्षणों से गुजरना होगा, जिसमें आयामी सटीकता निरीक्षण, उपस्थिति निरीक्षण, भौतिक संपत्ति परीक्षण, रासायनिक स्थिरता परीक्षण, आदि शामिल हैं, यह सुनिश्चित करने के लिए कि उत्पाद उच्च गुणवत्ता मानकों को पूरा करता है और पूरा कर सकता है। अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण की सख्त आवश्यकताएं।


वेटेक सेमीकंडक्टर बिक्री के बाद सेवाओं की एक पूरी श्रृंखला प्रदान करता है। यदि ग्राहक उपयोग के दौरान किसी भी समस्या का सामना करते हैं, तो पेशेवर-बिक्री टीम समय पर प्रतिक्रिया देगी और ग्राहकों का उत्पादन प्रभावित नहीं होने के लिए ग्राहकों को तेज और प्रभावी समाधान प्रदान करेगी।



यह अर्धचालकउच्च शुद्धता SiC कैंटिलीवर पैडल उत्पादन दुकानें:


SiC Coating substrateTaC coated guide ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment

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    anny@veteksemi.com

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