ऐक्सट्रॉन MOCVD सहायक

ससेप्टर्स द्वारा निर्मितयह अर्धचालकग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्री से बने होते हैं। उच्च पहनने के प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और SiC सामग्री की अत्यधिक उच्च कठोरता को देखते हुए, यह कठोर प्रक्रिया वातावरण में उपयोग के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है। इसलिए, वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा उत्पादित सुसेप्टर्स का उपयोग अतिरिक्त सतह उपचार के बिना सीधे उच्च तापमान एमओसीवीडी प्रक्रियाओं में किया जा सकता है।

सेमीकंडक्टर विनिर्माण में सूसोसेप्टर प्रमुख घटक हैं, विशेष रूप से पतली फिल्म बयान प्रक्रियाओं के लिए MOCVD उपकरण में। की मुख्य भूमिकाऐक्स्ट्रॉन SiC रिसीवरMOCVD प्रक्रिया में अर्धचालक वेफर्स को ले जाने के लिए है, एक समान गर्मी वितरण और प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान करके पतली फिल्मों की समान और उच्च गुणवत्ता वाले बयान सुनिश्चित करें, जिससे उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्म उत्पादन प्राप्त होता है।

ऐक्सट्रॉन MOCVD सहायकआमतौर पर जमाव प्रक्रिया के दौरान वेफर की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए अर्धचालक वेफर्स के आधार को समर्थन और ठीक करने के लिए उपयोग किया जाता है। वहीं, ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी ससेप्टर की सतह कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) से बनी है, जो एक अत्यधिक तापीय प्रवाहकीय सामग्री है। SiC कोटिंग वेफर की सतह पर एक समान तापमान सुनिश्चित करती है, और उच्च गुणवत्ता वाली फिल्में प्राप्त करने के लिए एक समान हीटिंग आवश्यक है।

इसके अलावा,ऐक्सट्रॉन MOCVD सहायकहम सामग्रियों के अनुकूलित डिज़ाइन के माध्यम से प्रतिक्रियाशील गैसों के प्रवाह और वितरण को नियंत्रित करने में एक बड़ी भूमिका निभाते हैं। एक समान फिल्म जमाव प्राप्त करने के लिए एड़ी धाराओं और तापमान प्रवणताओं से बचें।

इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि एमओसीवीडी प्रक्रिया में, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्री में संक्षारण प्रतिरोध होता है, इसलिएयह अर्धचालक'एसऐक्सट्रॉन MOCVD सहायकउच्च तापमान और संक्षारक गैसों का भी सामना कर सकते हैं।

के बुनियादी भौतिक गुणसीसी कोटिंग:

वेटेक सेमीकंडक्टर वेफर बोट शॉप्स:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: