AMAT कवर टॉप क्वार्ट्ज़ 8 इंच PCII

एएमएटी कवर टॉप क्वार्ट्ज 8 इंच पीसीआईआई (भाग संख्या 0200-00218) एक उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज घटक है जिसे 200 मिमी (8 इंच) पीवीडी प्रक्रिया कक्षों में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो विशेष रूप से एप्लाइड मटेरियल एंडुरा® प्लेटफॉर्म (पीसीआईआई कक्ष) के साथ संगत है।

अति-उच्च शुद्धता वाले फ़्यूज्ड क्वार्ट्ज़ से निर्मित, यह घटक संदूषण को कम करके और सुसंगत प्लाज्मा व्यवहार को सुनिश्चित करके एक स्वच्छ और स्थिर जमाव वातावरण को बनाए रखने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर में, हम सख्त सामग्री नियंत्रण और आयामी सटीकता के साथ सटीक-इंजीनियर्ड क्वार्ट्ज पार्ट्स प्रदान करते हैं, सेमीकंडक्टर फैब्स और उपकरण सेवा प्रदाताओं के लिए विश्वसनीय विकल्प प्रदान करते हैं।

मुख्य विशिष्टताएँ:

प्रक्रिया आवेदन और चैम्बर स्थिति

यह क्वार्ट्ज कवर विशेष रूप से पीवीडी स्पटरिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिसका व्यापक रूप से एल्यूमीनियम (अल), टाइटेनियम (टीआई), और तांबा (सीयू) जैसी धातु की पतली फिल्म जमाव के लिए अर्धचालक निर्माण में उपयोग किया जाता है।

चैम्बर स्थिति

घटक को पीवीडी कक्ष के ऊपरी भाग में स्थापित किया जाता है, जिसे आमतौर पर शीर्ष कवर क्षेत्र के रूप में जाना जाता है, जहां यह उजागर होता है:

● प्लाज्मा डिस्चार्ज जोन

● प्रक्रिया गैस प्रवाह पथ

● धातु कण जमाव वातावरण

चैंबर में कार्यात्मक भूमिका

चैम्बर संरचना के भीतर, कवर टॉप क्वार्ट्ज एक गैर-धातु सुरक्षात्मक बाधा और इन्सुलेट तत्व के रूप में कार्य करता है, जो वेफर के ऊपर और लक्ष्य क्षेत्र के पास स्थित होता है।

इसका प्लेसमेंट इसके लिए महत्वपूर्ण है:

● संवेदनशील कक्ष घटकों को धातु जमाव से बचाना

● आरएफ प्लाज्मा वातावरण में विद्युत इन्सुलेशन बनाए रखना

● स्थिर और दोहराने योग्य प्रक्रिया स्थितियों का समर्थन करना

मुख्य कार्य और प्रदर्शन लाभ

1) संदूषण नियंत्रण

पीवीडी प्रक्रियाओं के दौरान, थूके हुए धातु परमाणु न केवल वेफर्स पर बल्कि आंतरिक कक्ष सतहों पर भी जमा होते हैं।

यह क्वार्ट्ज कवर:

● यज्ञोपवीत सुरक्षा परत के रूप में कार्य करता है

● महत्वपूर्ण कक्ष संरचनाओं पर धातु निर्माण को रोकता है

● कण उत्पादन और क्रॉस-संदूषण को कम करता है

परिणाम: बेहतर वेफर उपज और प्रक्रिया की सफाई

2) प्लाज्मा स्थिरता और विद्युत इन्सुलेशन

अपने उत्कृष्ट ढांकता हुआ गुणों के लिए धन्यवाद, उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज सुनिश्चित करता है:

● स्थिर आरएफ क्षेत्र वितरण

● विद्युत हस्तक्षेप का कम जोखिम

● प्रक्रिया चक्रों में लगातार प्लाज्मा घनत्व

परिणाम: फिल्म की एकरूपता और पुनरावृत्ति में वृद्धि

3) उत्कृष्ट सामग्री शुद्धता

वीटेक सेमीकंडक्टर अशुद्धता परिचय को कम करने के लिए अति-उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज सामग्री का उपयोग करता है।

● कम धात्विक संदूषण

● निर्वात परिस्थितियों में न्यूनतम गैस उत्सर्जन

● उन्नत अर्धचालक नोड्स के लिए उपयुक्त

परिणाम: कड़े फैब-स्तरीय स्वच्छता मानकों को पूरा करता है

4) उत्कृष्ट प्लाज्मा और थर्मल प्रतिरोध

घटक को झेलने के लिए इंजीनियर किया गया है:

● प्लाज्मा क्षरण और आयन बमबारी

● बार-बार थर्मल साइक्लिंग करना

परिणाम: लंबी सेवा जीवन और कम रखरखाव आवृत्ति

5) लागत प्रभावी उपभोज्य डिजाइन

एक प्रतिस्थापन योग्य उपभोज्य कक्ष के रूप में, यह भाग:

● महंगे चैम्बर हार्डवेयर की सुरक्षा करता है

● रखरखाव चक्र को सरल बनाता है

● स्वामित्व की कुल लागत कम हो जाती है (टीसीओ)

वीटेक सेमीकंडक्टर क्यों चुनें?

वेटेक सेमीकंडक्टर में, हम उच्च प्रदर्शन वाले क्वार्ट्ज घटकों को वितरित करने के लिए सामग्री विज्ञान विशेषज्ञता को सेमीकंडक्टर प्रक्रिया समझ के साथ जोड़ते हैं।

हमारे लाभ:

● कड़ी सहनशीलता के साथ परिशुद्धता मशीनिंग

● सख्त कच्चे माल का चयन और पता लगाने की क्षमता

● AMAT एंडुरा प्लेटफॉर्म के साथ सिद्ध अनुकूलता

● वैश्विक सेमीकंडक्टर ग्राहकों के लिए स्थिर आपूर्ति

● अनुकूलन और अनुकूलन के लिए इंजीनियरिंग समर्थन