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सीवीडी एसआईसी कोटिंग ग्रेफाइट पार्ट्स सफाई सेवा
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सीवीडी एसआईसी कोटिंग ग्रेफाइट पार्ट्स सफाई सेवा

CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट पार्ट्स के लिए VETEK प्रोफेशनल क्लीनिंग सर्विस एक विशेष तकनीकी सेवा है जो GaN / AlN / AlGaN एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाने वाले Aixtron / Veeco MOCVD उपकरण सुसेप्टर्स और ग्रेफाइट घटकों के लिए डिज़ाइन की गई है। हमारी मालिकाना सफाई प्रक्रिया पूरी तरह से सतह स्मृति प्रभाव को समाप्त करती है, रिएक्टर में स्थिर गैस प्रवाह को बहाल करती है, और पूर्ण शून्य मोटाई हानि और शून्य धातु अवशेषों के साथ 100 माइक्रोन सीवीडी सीआईसी कोटिंग की सख्ती से रक्षा करती है।

1. चुनौतियाँ जिनका आपको सामना करना पड़ सकता है

• AlN परत को हटाना कठिन:1300°C थर्मल क्लीन अभी भी प्रभावी ढंग से अवशिष्ट AlN परत को खोद नहीं सकता है।

• आवर्ती स्मृति प्रभाव:सतही मेमोरी प्रभाव रिएक्टर में अस्थिर गैस प्रवाह का कारण बनता है, जिससे प्रक्रिया की स्थिरता प्रभावित होती है।

• सफाई चक्र इम्पैकटीएस थ्रूपुट:आमतौर पर प्रत्येक 16 प्रक्रिया चक्रों (4-5 अतिसंवेदनशील) को बाहरी सफाई की आवश्यकता होती है।

• महंगी कोटिंग को नुकसान पहुंचने की चिंता:घरेलू रासायनिक सफाई अनुभव की कमी के कारण ऑपरेटर आक्रामक सफाई का प्रयास करने में झिझकते हैं।

2. हमारा समाधान - GaN / AlN / AlGaN प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया

• व्यावसायिक सफ़ाई:कस्टम प्रक्रिया विशेष रूप से CVD SiC लेपित ग्रेफाइट भागों के लिए विकसित की गई है। ग्राहक से किसी रासायनिक फार्मूले की आवश्यकता नहीं है।

• कोटिंग सुरक्षा:100 µm CVD SiC कोटिंग की सख्ती से सुरक्षा करता है। सफाई के बाद मोटाई में बिल्कुल शून्य हानि।

• सत्यापन योग्य परिणाम:विश्लेषण का पूर्ण प्रमाणपत्र (सीओए) पांच मुख्य आयामों को कवर करता है। संग्रह और गुणवत्ता लेखापरीक्षा के लिए डेटा तैयार है।

3. पांच मुख्य स्वीकृति मानदंड

सेमीकंडक्टर एपिटेक्सी उपयोगकर्ताओं की महत्वपूर्ण आवश्यकताओं के साथ सख्ती से संरेखित:

1. शून्य कोटिंग हानि- सफाई के बाद SiC कोटिंग की मोटाई कभी कम नहीं होती (मोटाई की तुलना से पहले/बाद में सत्यापन)।

2. कोई सतह विरूपण नहीं- कोई भौतिक विकृति न हो यह सुनिश्चित करने के लिए समतलता और ज्यामितीय सटीकता का कड़ाई से निरीक्षण किया जाता है।

3. स्मृति प्रभाव को खत्म करें- अल/गा अवशिष्ट के लिए एक्सपीएस विश्लेषण स्मृति प्रभाव स्रोतों को पूरी तरह से हटाने की पुष्टि करता है।

4. शून्य धातु अवशेष- Fe, Cu, Ni और अन्य धातुओं के लिए ICP-MS परीक्षण शून्य अवशिष्ट धात्विक अशुद्धियों की पुष्टि करता है।

5. कोई अतिरिक्त कण नहीं- QIII कण परीक्षण और स्वच्छता सत्यापन अवशिष्ट कणों के कारण होने वाली गैस प्रवाह अस्थिरता को रोकता है।

4. डिलिवरी निरीक्षण एवं सीओए रिपोर्ट

प्रत्येक बैच को पाँच मुख्य आयामों में पूर्ण सत्यापन डेटा के साथ वितरित किया जाता है:

निरीक्षण आइटम
सत्यापन विधि एवं उद्देश्य
कण एवं सफ़ाई
QIII कण परीक्षण + स्वच्छता सत्यापन - सुनिश्चित करें कि कोई अतिरिक्त कण न हों
शून्य SiC कोटिंग हानि
पूर्व/बाद की मोटाई की तुलना - सीवीडी सीआईसी कोटिंग में कोई कमी नहीं होने की पुष्टि करें
अल/गा अवशिष्ट
एक्सपीएस सत्यापन - पुष्टि करें कि मेमोरी प्रभाव पूरी तरह समाप्त हो गया है
धातु अशुद्धियाँ
Fe/Cu/Ni आदि के लिए ICP-MS - शून्य अवशिष्ट धातु
समतलता/विकृति
ज्यामितीय सटीकता निरीक्षण - कोई भौतिक विकृति न होने की गारंटी

5. लागू उत्पाद और प्रक्रिया पृष्ठभूमि

उत्पाद पैरामीटर

वस्तु
विनिर्देश
सेवा प्रकार
एक्सट्रॉन / वीको सीवीडी सीआईसी कोटिंग ग्रेफाइट पार्ट्स
आकार
6 इंच/8 इंच और अन्य कस्टम आकार
सब्सट्रेट और कोटिंग
ग्रेफाइट बेस + 100 µm सीवीडी SiC कोटिंग
विकास सामग्री
GaN / AlN / AlGaN (सामान्य: AlN ≈ 100 एनएम, GaN ≈ 2 µm प्रति वृद्धि)

सेवा प्रक्रिया

1. पूछताछ- मूल्यांकन के लिए भाग फ़ोटो/मॉडल/मात्रा भेजें।

2. उद्धरण- तकनीकी मूल्यांकन और कोटेशन के साथ विस्तृत सफाई प्रस्ताव।

3. शिपिंग- हमें पुर्ज़े भेजें या पिकअप सेवा की व्यवस्था करें।

4. सफ़ाई- पेशेवर सफाई + पूर्ण बहु-आयाम निरीक्षण।

5. रिपोर्ट- सीओए रिपोर्ट जारी की गई और साफ किए गए हिस्से वापस कर दिए गए।

6. अनुवर्ती- प्रभाव ट्रैकिंग और चल रही तकनीकी सहायता।

6. VETEK सफ़ाई सेवा क्यों चुनें?

VETEK उच्च मूल्य वाले ग्रेफाइट रिसेप्टर्स के लिए विशेष सफाई क्षमताओं के साथ CVD SiC कोटिंग तकनीक में गहरी विशेषज्ञता को जोड़ती है। हम GaN/AlN एपिटॉक्सी में कोटिंग अखंडता, कण नियंत्रण और प्रक्रिया शुद्धता के महत्वपूर्ण महत्व को समझते हैं। हमारी सेवा उन ग्राहकों के लिए डिज़ाइन की गई है जिन्हें मेमोरी प्रभाव और गैस-प्रवाह अस्थिरता के मुद्दों को पूरी तरह से हल करते समय महंगी सीवीडी सीआईसी कोटिंग्स के लिए पूर्ण सुरक्षा की आवश्यकता होती है।

· छोटे-बैच सत्यापन के लिए परीक्षण सफाई उपलब्ध है

· प्रत्येक डिलीवरी के साथ पूर्ण सीओए रिपोर्ट प्रदान की जाती है

· कोटिंग क्षति या नए संदूषण का शून्य जोखिम

· पेशेवर · सुरक्षित · सत्यापन योग्य

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