Sic लेपित समर्थन अंगूठी

यह अर्धचालक, चीन में स्थित एक प्रमुख निर्माता और आपूर्तिकर्ता, सहित कई उत्पादों का उत्पादन करने में माहिर हैंSiC लेपित समर्थन रिंग, सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स, बल्क SiC, SiC पाउडर, और उच्च शुद्धता वाली SiC सामग्री। हमारा समर्पण सेमीकंडक्टर क्षेत्र के लिए व्यापक तकनीकी सहायता और इष्टतम उत्पाद समाधान प्रदान करने में निहित है। अधिक जानकारी और सहायता के लिए बेझिझक हमसे संपर्क करें।

यह अर्धचालक'एसSiC लेपित समर्थन रिंगउच्च तापमान प्रतिरोधी सामग्रियों की एक नई पीढ़ी है। संक्षारण प्रतिरोधी कोटिंग्स, ऑक्सीकरण प्रतिरोधी कोटिंग्स, और पहनने के प्रतिरोधी कोटिंग्स के रूप में, उनका उपयोग 1650 ℃ से ऊपर के वातावरण में किया जा सकता है, और अर्धचालक क्षेत्रों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

की उच्च गुणवत्ता वाली विशेषताएँSiC लेपित समर्थन रिंगतीसरी पीढ़ी के अर्धचालक घटकों के एपीटैक्सियल विकास में बहुत महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।

तापमान की एकरूपता बनाए रखना: SiC लेपित समर्थन रिंगों में उत्कृष्ट तापीय चालकता होती है और एपिटैक्सियल वृद्धि के दौरान समान तापमान वितरण प्रदान कर सकते हैं। यह वेफर सतह पर थर्मल ग्रेडिएंट्स और तनाव को कम करने में मदद करता है, जिससे एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में सुधार होता है।

अत्यधिक रासायनिक स्थिरता: एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रिया के दौरान,SiC लेपित समर्थन रिंगप्रतिक्रिया गैसों से रासायनिक हमले का विरोध करने में सक्षम हैं, समर्थन के छल्ले के जीवन को बढ़ाते हैं और प्रक्रिया की अखंडता को बनाए रखते हैं। यह रासायनिक स्थिरता संदूषण के जोखिम को कम करने और अर्धचालक उपकरणों की पवित्रता और प्रदर्शन में सुधार करने में मदद करती है।

सटीक स्थिति: SiC लेपित समर्थन रिंग वेफर की सटीक स्थिति बनाए रखने में सक्षम हैं, जो एक समान परत जमाव प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण है। यह सटीक स्थिति एपिटैक्सियल परत की मोटाई और गुणवत्ता की स्थिरता सुनिश्चित करने में मदद करती है।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

डीलर सेमीकंडक्टर:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: