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वीको ने ईपी का नेतृत्व किया
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वीको ने ईपी का नेतृत्व किया

वेटेक सेमीकंडक्टर के वीको एलईडी ईपीआई सुसैप्टर को लाल और पीले एल ई डी के एपिटैक्सियल विकास के लिए डिज़ाइन किया गया है। उन्नत सामग्री और सीवीडी एसआईसी कोटिंग प्रौद्योगिकी, सूसोसेप्टर की थर्मल स्थिरता को सुनिश्चित करती है, विकास के दौरान तापमान क्षेत्र को समान बनाती है, क्रिस्टल दोषों को कम करती है, और एपिटैक्सियल वेफर्स की गुणवत्ता और स्थिरता में सुधार करती है। यह वीको के एपिटैक्सियल ग्रोथ उपकरण के साथ संगत है और इसे उत्पादन लाइन में मूल रूप से एकीकृत किया जा सकता है। सटीक डिजाइन और विश्वसनीय प्रदर्शन दक्षता में सुधार करने और लागत को कम करने में मदद करते हैं। आपकी पूछताछ के लिए आगे देख रहे हैं।

एलईडी एक ठोस-राज्य अर्धचालक उपकरण है जो विद्युत ऊर्जा को दृश्य प्रकाश में बदल सकता है। पी-एन जंक्शन के लिए एक फॉरवर्ड वोल्टेज लागू करके, इलेक्ट्रॉनों और छेदों को पी-एन जंक्शन पर पुन: संयोजित किया जाता है। जब इलेक्ट्रॉन एक उच्च ऊर्जा स्तर से कम ऊर्जा स्तर तक कूदते हैं, तो ऊर्जा जारी की जाती है, जो फोटॉनों के रूप में उत्सर्जित होती है, जिससे प्रकाश उत्पन्न होता है। विभिन्न अर्धचालक सामग्री प्रकाश के विभिन्न रंगों का उत्सर्जन करती हैं। एलईडी में उच्च चमकदार दक्षता होती है और यह सबसे अधिक विद्युत ऊर्जा को प्रकाश ऊर्जा में बदल सकता है। यह आमतौर पर एक लंबी सेवा जीवन है और बहुत पर्यावरण के अनुकूल है।


Working diagram of VEECO LED EPI Susceptor

एल्यूमीनियम गैलियम इंडियम फॉस्फाइड (algainp) लाल और पीले एल ई डी बनाने के लिए मुख्य सामग्री है। सामग्री में एल्यूमीनियम (एएल), गैलियम (जीए), इंडियम (आईएन) और फास्फोरस (पी) की रचना अनुपात को समायोजित करके, सामग्री के बैंड गैप को बदला जा सकता है, जिससे लाल से पीले रंग से प्रकाश उत्सर्जन प्राप्त होता है। विनिर्माण प्रक्रिया में, एपिटैक्सियल ग्रोथ एक महत्वपूर्ण कदम है। Algainp एपिटैक्सी आमतौर पर अपनाता हैधातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (MOCVD) प्रौद्योगिकी। लाल एलईडी की एपिटैक्सियल परत को बढ़ाते समय, कच्चे माल के अनुपात और प्रतिक्रिया की स्थिति जैसे कि ट्राइमेथिलाल्यूमीनियम, ट्राइमेथाइलगैलियम, ट्राइमेथाइलिंडियम और फॉस्फीन को नियंत्रित किया जाता है ताकि अंतिम सामग्री लाल प्रकाश का उत्सर्जन कर सके।


यहां तक ​​कि वितरण और गर्मी का प्रभावी नियंत्रण लाल और पीले एल ई डी की एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया में महत्वपूर्ण है। वेटेक सेमीकंडक्टर के वीको एलईडी ईपीआई सुसैप्टर के पास उत्कृष्ट तापीय चालकता है, जो पूरे वेफर सतह पर तापमान एकरूपता में न्यूनतम विचलन सुनिश्चित करने के लिए जल्दी और समान रूप से गर्मी का संचालन कर सकता है। एपिलैयर की विकास दर और गुणवत्ता में महत्वपूर्ण सुधार।


एसजीएल ग्रेफाइट और उन्नत का उपयोग करनासीवीडी एसआईसी कोटिंगप्रौद्योगिकी, वेटेक सेमीकंडक्टर के वीको एलईडी ईपीआई सूसप्लेर के पास उत्कृष्ट स्थायित्व है। यह मूल सूसोसेक से सबसे बड़ी सीमा तक अप्रभेद्य है। यह हमेशा दीर्घकालिक, उच्च तीव्रता वाले MOCVD उत्पादन प्रक्रियाओं के दौरान स्थिरता बनाए रखता है। वेटेक सेमीकंडक्टर के वीको के एलईडी ईपीआई सुसेप्टर संक्षारण और विरूपण के लिए मजबूत प्रतिरोध प्रदर्शित करता है। इसका मतलब यह है कि कंपनियों को बार -बार सेंसिटर को बदलने की आवश्यकता नहीं होती है, जिससे उत्पादन उपकरणों के रखरखाव की लागत और डाउनटाइम को बहुत कम किया जाता है।


वेटेक सेमीकंडक्टर पूरी तरह से लाल और पीले एलईडी विनिर्माण प्रक्रिया में विभिन्न ग्राहकों की व्यक्तिगत आवश्यकताओं पर विचार करता है। Vetek सेमीकंडक्टर विशिष्ट आकार या विशेष प्रक्रिया मापदंडों के वेफर उत्पादन के लिए अनुकूलित VEECO एलईडी ईपीआई सॉल्यूशन सॉल्यूशंस प्रदान कर सकता है।


वेटेक सेमीकंडक्टर की पेशेवर तकनीकी टीम ग्राहकों के साथ गहराई से संवाद करेगी, जो उनके विशिष्ट एप्लिकेशन परिदृश्यों, उपकरण कॉन्फ़िगरेशन और उत्पादन लक्ष्यों के अनुसार सबसे उपयुक्त सुश्री उत्पादों को दर्जी करेगी, जिससे कंपनियों को तकनीकी सफलता और उत्पाद उन्नयन प्राप्त करने में मदद मिलेगी।


CVD SIC कोटिंग फिल्म का SEM डेटा:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
कोटिंग घनत्व
3.21 ग्राम/सेमी।
Sic कोटिंग कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500g लोड)
अनाज आकार
2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
Cvd sic कोटिंग गर्मी क्षमता
640 जे · किग्रा-1· K-1
उच्चता तापमान
2700
आनमनी सार्मथ्य
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक
430 GPA 4pt बेंड, 1300 ℃
ऊष्मीय चालकता
300W · एम-1· K-1
थर्मल विस्तार
4.5 × 10-6K-1

Vetek सेमीकंडक्टर Veeco ने EPI Soucceptor Products Shops का नेतृत्व किया:

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

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