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सीएमपी पॉलिशिंग स्लरी
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सीएमपी पॉलिशिंग स्लरी

सीएमपी पॉलिशिंग स्लरी (केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग स्लरी) एक उच्च-प्रदर्शन सामग्री है जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण और सटीक सामग्री प्रसंस्करण में किया जाता है। इसका मुख्य कार्य नैनो स्तर पर सपाटता और सतह की गुणवत्ता की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए रासायनिक संक्षारण और यांत्रिक पीस के सहक्रियात्मक प्रभाव के तहत सामग्री की सतह के ठीक सपाटता और चमकाने के लिए है। आपके आगे के परामर्श के लिए आगे देख रहे हैं।
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उत्पाद वर्णन

Veteksemicon के CMP पॉलिशिंग स्लरी का उपयोग मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर सामग्री की योजना बनाने के लिए CMP रासायनिक मैकेनिकल पॉलिशिंग स्लरी में एक पॉलिशिंग अपघर्षक के रूप में किया जाता है। इसके निम्नलिखित फायदे हैं:

● कणों के व्यास और कण एसोसिएशन की डिग्री को स्वतंत्र रूप से नियंत्रित किया जा सकता है;
● कणों को मोनोडिस्पर्स किया जाता है और कण आकार वितरण समान है;
● फैलाव प्रणाली स्थिर है;
● द्रव्यमान उत्पादन पैमाना बड़ा है और बैचों के बीच का अंतर छोटा है;
● संघनन और व्यवस्थित करना आसान नहीं है।


अल्ट्रा-हाई प्यूरिटी सीरीज़ उत्पादों के लिए प्रदर्शन संकेतक

पैरामीटर
 इकाई
 अल्ट्रा-हाई प्यूरिटी सीरीज़ उत्पादों के लिए प्रदर्शन संकेतक
बिशप
 बिशप2
 बिशप3
 बिशप4
 बिशप-5
 बिशप6
 बिशप7
औसत सिलिका कण आकार
 एनएम
 35 ± 5
 45 ± 5
 65 ± 5
 75 ± 5
 85 ± 5
 100 ± 5
 120 ± 5
नैनोपार्टिकल आकार वितरण (पीडीआई)
 1 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
 <0.15
समाधान पीएच
 1 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
यथार्थ सामग्री
 % 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
 20.5 ± 0.5
उपस्थिति
 -
 हल्का नीला रंग
 नीला
 सफ़ेद
 बंद
 बंद
 बंद
 बंद
कण आकृति विज्ञान x
 X ： S- फेरिकल ； b- घुमावदार ； p- मूंगफली के आकार का ； t- bulbous ； c- चेन-लाइक (एकत्रित राज्य)
आयनों को स्थिर करना
 कार्बनिक / अकार्बनिक अमीन
कच्चा माल रचना y
 और ： m-tmos ； e-you ； me-tamos+teos ； em-ezos+tmos
धातु अशुद्धता सामग्री
 ≤ 300ppb


सीएमपी पॉलिशिंग स्लरी उत्पाद अनुप्रयोग ： ：


● एकीकृत सर्किट ILD सामग्री सीएमपी

● एकीकृत सर्किट पॉली-सी सामग्री सीएमपी

● अर्धचालक एकल क्रिस्टल सिलिकॉन वेफर सामग्री सीएमपी

● अर्धचालक सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री सीएमपी

● एकीकृत सर्किट एसटीआई सामग्री सीएमपी

● एकीकृत सर्किट धातु और धातु बाधा परत सामग्री सीएमपी


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    वांग्डा रोड, ज़ियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिंघुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन

  • टेलीफोन

    +86-18069220752

  • ईमेल

    anny@veteksemi.com

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट या मूल्य सूची के बारे में पूछताछ के लिए, कृपया अपना ईमेल हमें छोड़ दें और हम 24 घंटों के भीतर संपर्क करेंगे।
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