सीएमपी पॉलिशिंग घोल

वेटेक्सेमिकॉन के सीएमपी पॉलिशिंग घोल का उपयोग मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर सामग्री को समतल करने के लिए सीएमपी रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग घोल में पॉलिशिंग अपघर्षक के रूप में किया जाता है। इसके निम्नलिखित फायदे हैं:

अल्ट्रा-उच्च शुद्धता श्रृंखला उत्पादों के लिए प्रदर्शन संकेतक

उच्च शुद्धता श्रृंखला उत्पादों के लिए प्रदर्शन विशिष्टताएँ

पैरामीटर	इकाई	उच्च शुद्धता श्रृंखला उत्पादों के लिए प्रदर्शन विशिष्टताएँ
		WGXY-1Z	WGXY-2Z	WGXY-3Z	WGXY-4Z	WGXY-5Z	WGXY-6Z	WGXY-7Z
औसत सिलिका कण आकार	एनएम	35±5	45±5	65±5	75±5	85±5	100±5	120±5
नैनोकण आकार वितरण (पीडीआई)	1	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
समाधान पीएच	1	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2
यथार्थ सामग्री	%	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40
उपस्थिति	--	हल्का नीला रंग	नीला	सफ़ेद	ऑफ-व्हाइट	ऑफ-व्हाइट	ऑफ-व्हाइट	ऑफ-व्हाइट
कण आकृति विज्ञान एक्स	एक्स: एस- गोलाकार; बी- घुमावदार; पी- मूंगफली के आकार का; टी- बल्बनुमा; सी- श्रृंखला-जैसी (एकत्रित अवस्था)
आयनों को स्थिर करना	एम: कार्बनिक अमाइन; के: पोटेशियम हाइड्रॉक्साइड; एन: सोडियम हाइड्रॉक्साइड; या अन्य घटक
धातु अशुद्धता सामग्री	Z: उच्च-शुद्धता श्रृंखला (H श्रृंखला≤1ppm;L श्रृंखला≤10ppm);मानक श्रृंखला (M श्रृंखला≤300ppm)

सीएमपी पॉलिशिंग घोल उत्पाद अनुप्रयोग：

● एकीकृत सर्किट आईएलडी सामग्री सीएमपी

● एकीकृत सर्किट पॉली-सी सामग्री सीएमपी

● सेमीकंडक्टर सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन वेफर सामग्री सीएमपी

● सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री सीएमपी

● एकीकृत सर्किट एसटीआई सामग्री सीएमपी

● एकीकृत सर्किट धातु और धातु बाधा परत सामग्री सीएमपी