अर्धचालक थर्मल छिड़काव तकनीक

सेमीकंडक्टर थर्मल छिड़काव तकनीक एक उन्नत प्रक्रिया है जो एक कोटिंग बनाने के लिए एक सब्सट्रेट की सतह पर एक पिघले हुए या अर्ध-मोल्टेन राज्य में सामग्री को स्प्रे करता है। इस तकनीक का उपयोग सेमीकंडक्टर विनिर्माण के क्षेत्र में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जिसका उपयोग मुख्य रूप से सब्सट्रेट की सतह पर विशिष्ट कार्यों के साथ कोटिंग्स बनाने के लिए किया जाता है, जैसे कि चालकता, इन्सुलेशन, संक्षारण प्रतिरोध और ऑक्सीकरण प्रतिरोध। थर्मल छिड़काव तकनीक के मुख्य लाभों में उच्च दक्षता, नियंत्रणीय कोटिंग मोटाई, और अच्छी कोटिंग आसंजन शामिल हैं, जिससे यह अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में विशेष रूप से महत्वपूर्ण है कि उच्च परिशुद्धता और विश्वसनीयता की आवश्यकता होती है।

अर्धचालकों में थर्मल छिड़काव तकनीक का अनुप्रयोग

प्लाज्मा किरण नक़्क़ाशी (सूखी नक़्क़ाशी)

आमतौर पर प्लाज्मा और इलेक्ट्रॉनों जैसे आवेशित कणों और अत्यधिक रासायनिक रूप से सक्रिय तटस्थ परमाणुओं और अणुओं और मुक्त कणों से युक्त प्लाज्मा सक्रिय कणों को उत्पन्न करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज के उपयोग को संदर्भित करता है, जो खोदे जाने वाले हिस्से में फैलते हैं, खोदे गए सामग्री के साथ प्रतिक्रिया करते हैं, अस्थिर बनाते हैं उत्पादों को हटा दिया जाता है, जिससे पैटर्न स्थानांतरण की नक़्क़ाशी तकनीक पूरी हो जाती है। यह अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इंटीग्रेटेड सर्किट के उत्पादन में फोटोलिथोग्राफी टेम्प्लेट से वेफर्स तक बारीक पैटर्न के उच्च-निष्ठा हस्तांतरण को साकार करने के लिए एक अपूरणीय प्रक्रिया है।

बड़ी संख्या में सक्रिय मुक्त कण जैसे सीएल और एफ उत्पन्न होंगे। जब वे अर्धचालक उपकरणों को खोदते हैं, तो वे एल्यूमीनियम मिश्र धातु और सिरेमिक संरचनात्मक भागों सहित उपकरण के अन्य हिस्सों की आंतरिक सतहों को खराब कर देते हैं। यह मजबूत क्षरण बड़ी संख्या में कणों का उत्पादन करता है, जिसके लिए न केवल उत्पादन उपकरण के लगातार रखरखाव की आवश्यकता होती है, बल्कि नक़्क़ाशी प्रक्रिया कक्ष की विफलता और गंभीर मामलों में डिवाइस को नुकसान भी होता है।

Y2O3 बहुत स्थिर रासायनिक और तापीय गुणों वाला एक पदार्थ है। इसका गलनांक 2400℃ से कहीं अधिक है। यह तीव्र संक्षारक वातावरण में स्थिर रह सकता है। प्लाज्मा बमबारी के प्रति इसका प्रतिरोध घटकों की सेवा जीवन को काफी हद तक बढ़ा सकता है और नक़्क़ाशी कक्ष में कणों को कम कर सकता है।

मुख्य धारा का समाधान नक़्क़ाशी कक्ष और अन्य प्रमुख घटकों की सुरक्षा के लिए उच्च शुद्धता वाली Y2O3 कोटिंग का छिड़काव करना है।