एपि वेफर धारक

Vetek सेमीकंडक्टर अनुकूलित उत्पाद सेवाओं का समर्थन करता है, इसलिए EPI वेफर होल्डर आपको आकार के आधार पर अनुकूलित उत्पाद सेवाएं प्रदान कर सकता हैवफ़र(100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी, आदि)। हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार होने की उम्मीद करते हैं।

ईपीआई वेफर धारकों का कार्य और कार्य सिद्धांत

अर्धचालक विनिर्माण के दायरे में, उच्च -प्रदर्शन अर्धचालक उपकरणों को गढ़ने के लिए एपिटैक्सी प्रक्रिया महत्वपूर्ण है। इस प्रक्रिया के केंद्र में ईपीआई वेफर धारक है, जो गुणवत्ता और दक्षता सुनिश्चित करने में एक केंद्रीय भूमिका निभाता हैउपकला वृद्धि.

एपि वेफर धारक को मुख्य रूप से एपिटैक्सी प्रक्रिया के दौरान वेफर को सुरक्षित रूप से रखने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसका प्रमुख कार्य एक सटीक रूप से नियंत्रित तापमान और गैस - प्रवाह वातावरण में वेफर को बनाए रखना है। यह सावधानीपूर्वक नियंत्रण एपिटैक्सियल सामग्री को समान रूप से वेफर सतह पर जमा करने की अनुमति देता है, जो समान और उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक परतों को बनाने में एक महत्वपूर्ण कदम है।

उच्च -तापमान की स्थिति के तहत एपिटैक्सी प्रक्रिया के विशिष्ट, ईपीआई वेफर धारक अपने कार्य में उत्कृष्टता प्राप्त करते हैं। यह दृढ़ता से प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर वेफर को ठीक करता है, जबकि किसी भी संभावित क्षति से बचने के लिए, जैसे कि खरोंच, और वेफर सतह पर कण संदूषण को रोकता है।

भौतिक गुण:क्योंसिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी)चमकता

एपि वेफर धारकों को अक्सर सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) से तैयार किया जाता है, एक ऐसी सामग्री जो लाभकारी गुणों का एक अनूठा संयोजन प्रदान करती है। SIC में लगभग 4.0 x 10⁻⁶ /° C का कम थर्मल विस्तार गुणांक है। यह विशेषता ऊंचे तापमान पर धारक के आयामी स्थिरता को बनाए रखने में महत्वपूर्ण है। थर्मल विस्तार को कम करके, यह प्रभावी रूप से वेफर पर तनाव को रोकता है जो अन्यथा तापमान से संबंधित हो सकता है - संबंधित आकार में परिवर्तन।

इसके अतिरिक्त, SIC उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता का दावा करता है। यह उच्च तापमान को 1,200 डिग्री सेल्सियस से 1,600 डिग्री सेल्सियस तक के उच्च तापमान का सामना कर सकता है जो एपिटैक्सी प्रक्रिया में आवश्यक है। इसके असाधारण संक्षारण प्रतिरोध और सराहनीय तापीय चालकता (आमतौर पर 120 - 160 w/mk के बीच) के साथ युग्मित, SIC एपिटैक्सियल वेफर धारकों के लिए इष्टतम विकल्प के रूप में उभरता है।

एपिटैक्सियल प्रक्रिया में प्रमुख कार्य

एपिटैक्सियल प्रक्रिया में एपि वेफर धारक के महत्व को ओवरस्टेट नहीं किया जा सकता है। यह उच्च तापमान और संक्षारक गैस वातावरण के तहत एक स्थिर वाहक के रूप में कार्य करता है, यह सुनिश्चित करता है कि वेफर एपिटैक्सियल विकास के दौरान अप्रभावित रहता है और एपिटैक्सियल परत के समान विकास को बढ़ावा देता है।

1. रफर फिक्सेशन और सटीक संरेखणएक उच्च -सटीक इंजीनियर ईपीआई वेफर धारक प्रतिक्रिया कक्ष के ज्यामितीय केंद्र में वेफर को मजबूती से रखता है। यह प्लेसमेंट गारंटी देता है कि वेफर सतह प्रतिक्रिया गैस प्रवाह के साथ एक आदर्श संपर्क कोण बनाता है। सटीक संरेखण न केवल एकसमान एपिटैक्सियल लेयर डिपॉजिट को प्राप्त करने के लिए आवश्यक है, बल्कि वेफर स्थिति विचलन के परिणामस्वरूप तनाव एकाग्रता को भी कम करता है।

2. यूनिफ़ॉर्म हीटिंग और थर्मल फील्ड कंट्रोलSIC सामग्री की उत्कृष्ट तापीय चालकता का लाभ उठाते हुए, EPI वेफर धारक उच्च तापमान एपिटैक्सियल वातावरण में वेफर को कुशल गर्मी हस्तांतरण में सक्षम बनाता है। इसके साथ ही, यह हीटिंग सिस्टम के तापमान वितरण पर ठीक नियंत्रण का प्रयोग करता है। यह दोहरी तंत्र पूरे वेफर सतह पर एक सुसंगत तापमान सुनिश्चित करता है, प्रभावी रूप से अत्यधिक तापमान ग्रेडिएंट्स के कारण थर्मल तनाव को समाप्त करता है। नतीजतन, वेफर वारपिंग और दरार जैसे दोषों की संभावना काफी कम है।

3.पार्टिकल संदूषण नियंत्रण और सामग्री शुद्धताउच्च -शुद्धता SIC सब्सट्रेट और CVD - लेपित ग्रेफाइट सामग्री का उपयोग एक गेम है - कण संदूषण नियंत्रण में परिवर्तक। ये सामग्रियां एपिटैक्सी प्रक्रिया के दौरान कणों की पीढ़ी और प्रसार को काफी हद तक रोकती हैं, जो एपिटैक्सियल परत के विकास के लिए एक प्राचीन वातावरण प्रदान करती है। इंटरफ़ेस दोषों को कम करके, वे एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता और विश्वसनीयता को बढ़ाते हैं।

4.corrosion प्रतिरोधदौरानएमओसीवीडीया LPCVD प्रक्रियाएं, EPI वेफर धारक को अमोनिया और ट्राइमेथाइल गैलियम जैसी संक्षारक गैसों को सहना चाहिए। SIC सामग्री का बकाया संक्षारण प्रतिरोध धारक को एक विस्तारित सेवा जीवन बनाने में सक्षम बनाता है, जिससे संपूर्ण उत्पादन प्रक्रिया की विश्वसनीयता की गारंटी होती है।

वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा अनुकूलित सेवाएं

वेटेक सेमीकंडक्टर विविध ग्राहक जरूरतों को पूरा करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम 100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी और उससे आगे सहित विभिन्न वेफर आकारों के अनुरूप अनुकूलित ईपीआई वेफर होल्डर सेवाएं प्रदान करते हैं। विशेषज्ञों की हमारी टीम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादों को देने के लिए समर्पित है जो आपकी आवश्यकताओं से सटीक मेल खाते हैं। हम ईमानदारी से चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं, जो आपको शीर्ष - पायदान सेमीकंडक्टर समाधान प्रदान करता है।

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना का SEM डेटा:

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण：

तुलना अर्धचालक एपि वेफर धारक उत्पादन की दुकानें: