ऑक्सीकरण और प्रसार भट्ठी

ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों का उपयोग विभिन्न क्षेत्रों में किया जाता है जैसे कि अर्धचालक उपकरण, असतत उपकरण, ऑप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरण, पावर इलेक्ट्रॉनिक उपकरण, सौर कोशिकाओं, और बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट निर्माण। वे प्रसार, ऑक्सीकरण, एनीलिंग, मिश्र धातु और वेफर्स के सिंटरिंग सहित प्रक्रियाओं के लिए उपयोग किए जाते हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर एक प्रमुख निर्माता है जो ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों में उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड और क्वार्ट्ज घटकों के उत्पादन में विशेषज्ञता रखता है। हम सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योगों के लिए उच्च गुणवत्ता वाली भट्ठी घटक प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं, और सतह कोटिंग तकनीक, जैसे कि सीवीडी-एसआईसी, सीवीडी-टीएसी, पाइरोकार्बन, आदि में सबसे आगे हैं।

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड घटकों के फायदे:

● उच्च तापमान प्रतिरोध (1600 तक) तक

● उत्कृष्ट तापीय चालकता और थर्मल स्थिरता

● अच्छा रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध

● थर्मल विस्तार का कम गुणांक

● उच्च शक्ति और कठोरता

● लंबी सेवा जीवन

ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों में, उच्च तापमान और संक्षारक गैसों की उपस्थिति के कारण, कई घटकों को उच्च तापमान और संक्षारण-प्रतिरोधी सामग्री के उपयोग की आवश्यकता होती है, जिनमें से सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) आमतौर पर इस्तेमाल किया जाने वाला विकल्प है। ऑक्सीकरण भट्टियों और प्रसार भट्टियों में पाए जाने वाले सामान्य सिलिकॉन कार्बाइड घटक निम्नलिखित हैं:

● वेफर बोट

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट एक कंटेनर है जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को ले जाने के लिए किया जाता है, जो उच्च तापमान का सामना कर सकता है और सिलिकॉन वेफर्स के साथ प्रतिक्रिया नहीं करेगा।

● भट्ठी ट्यूब

भट्ठी ट्यूब प्रसार भट्ठी का मुख्य घटक है, जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को समायोजित करने और प्रतिक्रिया वातावरण को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है। सिलिकॉन कार्बाइड भट्टी ट्यूबों में उत्कृष्ट उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोध प्रदर्शन होता है।

● बाफ़ल प्लेट

भट्ठी के अंदर एयरफ्लो और तापमान वितरण को विनियमित करने के लिए उपयोग किया जाता है

● थर्मोकपल प्रोटेक्शन ट्यूब

संक्षारक गैसों के साथ सीधे संपर्क से तापमान मापने वाले तापमान को मापने के लिए उपयोग किया जाता है।

● ब्रैकट पैडल

सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल उच्च तापमान और संक्षारण के लिए प्रतिरोधी हैं, और सिलिकॉन बोट्स या क्वार्ट्ज नौकाओं को ट्रांसपोर्ट भट्ठी ट्यूबों में ले जाने वाले सिलिकॉन नावों या क्वार्ट्ज नौकाओं को ले जाने के लिए उपयोग किया जाता है।

● गैस इंजेक्टर

भट्ठी में प्रतिक्रिया गैस को पेश करने के लिए उपयोग किया जाता है, इसे उच्च तापमान और संक्षारण के लिए प्रतिरोधी होना चाहिए।

● नाव वाहक

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट वाहक का उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को ठीक करने और समर्थन करने के लिए किया जाता है, जिसमें उच्च शक्ति, संक्षारण प्रतिरोध और अच्छी संरचनात्मक स्थिरता जैसे फायदे हैं।

● भट्ठी का दरवाजा

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स या घटकों का उपयोग भट्ठी के दरवाजे के अंदर भी किया जा सकता है।

● हीटिंग तत्व

सिलिकॉन कार्बाइड हीटिंग तत्व उच्च तापमान, उच्च शक्ति के लिए उपयुक्त हैं, और जल्दी से तापमान 1000 से अधिक तक बढ़ सकते हैं।

● sic लाइनर

भट्ठी ट्यूबों की आंतरिक दीवार की रक्षा के लिए उपयोग किया जाता है, यह गर्मी ऊर्जा के नुकसान को कम करने और उच्च तापमान और उच्च दबाव जैसे कठोर वातावरण का सामना करने में मदद कर सकता है।

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उच्च शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड वेफर वाहक

वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड वेफर वाहक अर्धचालक प्रसंस्करण में महत्वपूर्ण घटक हैं, जो विनिर्माण के सभी चरणों में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हुए, सुरक्षित रूप से रखने और नाजुक सिलिकॉन वेफर्स को परिवहन करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। वेटेक सेमीकंडक्टर के उच्च शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड वेफर वाहक को उत्कृष्ट प्रदर्शन और विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए सावधानीपूर्वक डिजाइन और निर्मित किया गया है। वेटेक सेमीकंडक्टर प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है, और हम चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार होने के लिए तत्पर हैं। हमसे पूछताछ करने के लिए स्वतंत्र।

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सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

वेटेक सेमीकंडक्टर की उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, यांत्रिक शक्ति और रासायनिक प्रतिरोध के साथ बेहद शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री से बना है। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट का उपयोग अर्धचालक विनिर्माण में गर्म क्षेत्र के अनुप्रयोगों में किया जाता है, विशेष रूप से उच्च तापमान वाले वातावरण में, और वेफर्स की रक्षा करने, सामग्री के परिवहन और स्थिर प्रक्रियाओं को बनाए रखने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर विनिर्माण की विकसित जरूरतों को पूरा करने के लिए उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट के प्रदर्शन को नया करने और सुधारने के लिए कड़ी मेहनत करना जारी रखेगा। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं। हमसे पूछताछ करने के लिए स्वतंत्र।

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Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

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