ऑक्सीकरण और प्रसार भट्ठी

ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों का उपयोग विभिन्न क्षेत्रों जैसे अर्धचालक उपकरणों, असतत उपकरणों, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों, बिजली इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों, सौर कोशिकाओं और बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट निर्माण में किया जाता है। इनका उपयोग प्रसार, ऑक्सीकरण, एनीलिंग, मिश्रधातु और वेफर्स के सिंटरिंग सहित प्रक्रियाओं के लिए किया जाता है।

वीटेक सेमीकंडक्टर एक अग्रणी निर्माता है जो ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों में उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड और क्वार्ट्ज घटकों के उत्पादन में विशेषज्ञता रखता है। हम सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योगों के लिए उच्च गुणवत्ता वाले फर्नेस घटक प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं, और सतह कोटिंग तकनीक, जैसे सीवीडी-एसआईसी, सीवीडी-टीएसी, पायरोकार्बन इत्यादि में सबसे आगे हैं।

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड घटकों के लाभ:

उच्च तापमान प्रतिरोध (1600℃ तक)

उत्कृष्ट तापीय चालकता और तापीय स्थिरता

अच्छा रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध

थर्मल विस्तार का कम गुणांक

उच्च शक्ति और कठोरता

लंबी सेवा जीवन

ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों में, उच्च तापमान और संक्षारक गैसों की उपस्थिति के कारण, कई घटकों को उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोधी सामग्री के उपयोग की आवश्यकता होती है, जिनमें से सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) आमतौर पर इस्तेमाल किया जाने वाला विकल्प है। ऑक्सीकरण भट्टियों और प्रसार भट्टियों में पाए जाने वाले सामान्य सिलिकॉन कार्बाइड घटक निम्नलिखित हैं:

वेफर नाव

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट एक कंटेनर है जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को ले जाने के लिए किया जाता है, जो उच्च तापमान का सामना कर सकता है और सिलिकॉन वेफर्स के साथ प्रतिक्रिया नहीं करेगा।

फर्नेस ट्यूब

भट्ठी ट्यूब प्रसार भट्ठी का मुख्य घटक है, जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को समायोजित करने और प्रतिक्रिया वातावरण को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है। सिलिकॉन कार्बाइड भट्टी ट्यूबों में उत्कृष्ट उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोध प्रदर्शन होता है।

बाधक पट्टी

भट्ठी के अंदर वायु प्रवाह और तापमान वितरण को विनियमित करने के लिए उपयोग किया जाता है

थर्मोकपल प्रोटेक्शन ट्यूब

तापमान मापने वाले थर्मोकपल को संक्षारक गैसों के सीधे संपर्क से बचाने के लिए उपयोग किया जाता है।

ब्रैकट चप्पू

सिलिकॉन कार्बाइड ब्रैकट पैडल उच्च तापमान और संक्षारण के प्रतिरोधी हैं, और सिलिकॉन वेफर्स को प्रसार भट्टी ट्यूबों में ले जाने वाली सिलिकॉन नौकाओं या क्वार्ट्ज नौकाओं के परिवहन के लिए उपयोग किए जाते हैं।

गैस इंजेक्टर

भट्टी में प्रतिक्रिया गैस डालने के लिए इसका उपयोग किया जाता है, इसे उच्च तापमान और संक्षारण के प्रति प्रतिरोधी होना आवश्यक है।

नाव वाहक

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव वाहक का उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को ठीक करने और समर्थन करने के लिए किया जाता है, जिसमें उच्च शक्ति, संक्षारण प्रतिरोध और अच्छी संरचनात्मक स्थिरता जैसे फायदे होते हैं।

भट्ठी का दरवाज़ा

भट्ठी के दरवाजे के अंदर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स या घटकों का भी उपयोग किया जा सकता है।

गर्म करने वाला तत्व

सिलिकॉन कार्बाइड हीटिंग तत्व उच्च तापमान, उच्च शक्ति के लिए उपयुक्त हैं, और तापमान को 1000 ℃ से अधिक तक बढ़ा सकते हैं।

SiC लाइनर

भट्ठी ट्यूबों की भीतरी दीवार की सुरक्षा के लिए उपयोग किया जाता है, यह गर्मी ऊर्जा के नुकसान को कम करने और उच्च तापमान और उच्च दबाव जैसे कठोर वातावरण का सामना करने में मदद कर सकता है।