Sic लेपित गहरे यूवी ने सूस्व किया हुआ था

Sic कोटेड गहरे यूवी एलईडी सूसोसेप्टर कोर असर घटक हैMOCVD (धातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव) उपकरण। सूसोसीर सीधे एकरूपता, मोटाई नियंत्रण और गहरी यूवी एलईडी एपिटैक्सियल विकास की सामग्री की गुणवत्ता को प्रभावित करता है, विशेष रूप से उच्च एल्यूमीनियम सामग्री के साथ एल्यूमीनियम नाइट्राइड (एएलएन) एपिटैक्सियल परत के विकास में, सूसोसेक के डिजाइन और प्रदर्शन महत्वपूर्ण हैं।

SIC कोटेड डीप यूवी एलईडी सूसप्लेर को विशेष रूप से डीप यूवी एलईडी एपिटैक्सी के लिए अनुकूलित किया गया है, और कड़े प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए थर्मल, यांत्रिक और रासायनिक पर्यावरणीय विशेषताओं के आधार पर ठीक से डिजाइन किया गया है।

वेटेक सेमीकंडक्टर ऑपरेटिंग तापमान रेंज के भीतर सूसोसेक के समान गर्मी वितरण को सुनिश्चित करने के लिए उन्नत प्रसंस्करण तकनीक का उपयोग करता है, तापमान ढाल के कारण होने वाली एपिटैक्सियल परत के गैर-समान वृद्धि से बचता है। सटीक प्रसंस्करण सतह खुरदरापन को नियंत्रित करता है, कण संदूषण को कम करता है, और वेफर सतह संपर्क की तापीय चालकता दक्षता में सुधार करता है।

वेटेक सेमीकंडक्टर सामग्री के रूप में एसजीएल ग्रेफाइट का उपयोग करता है, और सतह के साथ इलाज किया जाता हैसीवीडी एसआईसी कोटिंग, जो लंबे समय तक NH3, HCL और उच्च तापमान वातावरण का सामना कर सकता है। वेटेक सेमीकंडक्टर के एसआईसी कोटेड डीप यूवी एलईडी सुसैप्शनर ने एएलएन/जीएएन एपिटैक्सियल वेफर्स के थर्मल विस्तार गुणांक से मेल खाता है, प्रक्रिया के दौरान थर्मल तनाव के कारण होने वाले वेफर वारिंग या क्रैकिंग को कम करता है।

सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि वेटेक सेमीकंडक्टर के एसआईसी कोटेड डीप यूवी एलईडी सूसिनर पूरी तरह से मुख्यधारा के MOCVD उपकरणों (Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, आदि सहित) के लिए पूरी तरह से अनुकूलित करता है। वेफर आकार (2 ~ 8 इंच), वेफर स्लॉट डिजाइन, प्रक्रिया तापमान और अन्य आवश्यकताओं के लिए अनुकूलित सेवाओं का समर्थन करता है।

आवेदन परिदृश्य:

● डीप यूवी एलईडी तैयारी: 260 एनएम (यूवी-सी कीटाणुशोधन, नसबंदी और अन्य क्षेत्रों) से नीचे बैंड में उपकरणों की एपिटैक्सियल प्रक्रिया पर लागू होता है।

● नाइट्राइड अर्धचालक एपिटैक्सी: गैलियम नाइट्राइड (GAN) और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (ALN) जैसे अर्धचालक सामग्री की एपिटैक्सियल तैयारी के लिए उपयोग किया जाता है।

● अनुसंधान-स्तरीय एपिटैक्सियल प्रयोग: विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में डीप यूवी एपिटैक्सी और नई सामग्री विकास प्रयोग।

एक मजबूत तकनीकी टीम के समर्थन के साथ, Vetek सेमीकंडक्टर ग्राहकों की जरूरतों के अनुसार अद्वितीय विनिर्देशों और कार्यों के साथ संवेदनकों को विकसित करने, विशिष्ट उत्पादन प्रक्रियाओं का समर्थन करने और दीर्घकालिक सेवाएं प्रदान करने में सक्षम है।

CVD SIC कोटिंग फिल्म का SEM डेटा:

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

यह अर्धचालकएसआईसी कोटेड डीप यूवी एलईडी सुस्प्रेस उत्पाद की दुकानें: