सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट

वेटेक्सेमी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नाव का उपयोग करने के लाभ

● 3000 एफ (1650）） के लिए बहुत उच्च तापमान प्रतिरोध

● एसिड, सॉल्वैंट्स, लवण और कार्बनिक पदार्थों के लिए सुपर संक्षारण प्रतिरोध, पहनने के लिए प्रतिरोधी  

● साफ करने में आसान

● मजबूत प्रभाव प्रतिरोध

●  पर्ची मुक्त

वेटेक सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग इंडस्ट्री आमतौर पर इन वफ़र्स को क्षैतिज वेफर वाहक या ऊर्ध्वाधर वाहक में संसाधित करती है।

● क्षैतिज वाहक, आमतौर पर एक "नाव" कहा जाता है, जिसमें तीन या चार क्षैतिज रूप से निपटाया गया है, जो अर्धवृत्त डिजाइन में व्यवस्थित किया गया है, प्रत्येक बार में नियमित रूप से अंतराल पर सेट किए गए खांचे का सामना करना पड़ता है। खांचे का प्रत्येक सेट लंबवत रूप से निपटाया वेफर को ले जाने के लिए एक ऊर्ध्वाधर स्थान को परिभाषित करता है।

● ऊर्ध्वाधर वाहक, जिसे आमतौर पर "ऊर्ध्वाधर रैक" कहा जाता है, इसमें अर्धवृत्त डिजाइन में तीन या चार लंबवत रूप से व्यवस्थित छड़ें (या पोस्ट) होती हैं, प्रत्येक पोस्ट में क्षैतिज रूप से व्यवस्थित वेफर का समर्थन करने के लिए एक स्थान को परिभाषित करने के लिए नियमित अंतराल पर स्लॉट सेट होते हैं।

इस क्षेत्र में आवश्यक ज्यामितीय परिशुद्धता का बीमा करने के लिए, तीन या चार छड़ें एक शीर्ष प्लेट और एक नीचे की प्लेट में तय की जाती हैं। प्रत्येक स्लॉट के बीच पोस्ट के हिस्से, जिसे "दांत" कहा जाता है, को नियमित रूप से नीचे की प्लेट के समानांतर और समानांतर से वेफर्स का समर्थन करने के लिए समान रूप से फैलाया जाता है। पूरे रैक को तब वेफर्स को संसाधित करने के लिए एक ऊर्ध्वाधर भट्ठी के भीतर रखा जाता है।

चूँकि एक ऊर्ध्वाधर रैक पर संसाधित वेफर को उसके चेहरे पर कम तापमान का अनुभव होता है (क्षैतिज नाव में संसाधित वेफर की तुलना में), अर्धचालक निर्माता तेजी से ऊर्ध्वाधर भट्टियों की ओर रुख कर रहे हैं। हालाँकि, ऊर्ध्वाधर फर्नेसिंग में एक खामी है। पारंपरिक ऊर्ध्वाधर रैक पर रखे गए वेफर्स केवल उनके बाहरी किनारे पर समर्थित होते हैं। इस प्रकार, इन दांतों पर टिके हुए वेफर के क्षेत्र बाकी वेफर की तुलना में अधिक तनाव का अनुभव करते हैं।

जब भट्ठी में तापमान लगभग 1000 डिग्री सेल्सियस से अधिक हो जाता है, तो ये तनाव अक्सर महत्वपूर्ण हो जाते हैं और एकल क्रिस्टल वेफर के हिस्से उस तनाव के जवाब में क्रिस्टलोग्राफिक प्लेटों के साथ एक दूसरे के सापेक्ष चलते हैं। यह घटना, जिसे "स्लिप" कहा जाता है, वेफर के उस क्षेत्र में स्थित अर्धचालक उपकरणों के मूल्य को प्रभावी ढंग से नष्ट कर देती है जहां स्लिप हुई है।

चीन में एक प्रमुख सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट आपूर्तिकर्ता और निर्माता के रूप में, वेटेक सेमीकंडक्टर हमेशा अर्धचालक प्रसंस्करण उद्योग के लिए उन्नत प्रौद्योगिकी और वेफर बोट उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध रहा है। हम ईमानदारी से चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

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