Vetek सेमीकंडक्टर ने ग्राहकों के लिए TAC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक को सावधानीपूर्वक डिजाइन किया है। यह उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट और टीएसी कोटिंग से बना है, जो विभिन्न वेफर एपिटैक्सियल वेफर प्रसंस्करण के लिए उपयुक्त है। हम कई वर्षों से SIC और TAC कोटिंग में विशिष्ट हैं। SIC कोटिंग की तुलना में, हमारे TAC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक में एक उच्च तापमान प्रतिरोध और पहनने के लिए प्रतिरोधी है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
आप VeTek सेमीकंडक्टर से अनुकूलित TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर खरीदने के लिए निश्चिंत हो सकते हैं। हम आपके साथ सहयोग करने के लिए तत्पर हैं, यदि आप अधिक जानना चाहते हैं, तो आप अभी हमसे परामर्श कर सकते हैं, हम आपको समय पर जवाब देंगे!
VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर एपिटैक्सी रिएक्टर में वेफर्स के साथ सीधे संपर्क करता है, जिससे दक्षता और प्रदर्शन बढ़ता है। सिलिकॉन कार्बाइड या टैंटलम कार्बाइड कोटिंग के विकल्प के साथ, वीटेक सेमीकंडक्टर टीएसी कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर टैंटलम कार्बाइड के साथ 2-3 गुना तक विस्तारित जीवनकाल प्रदान करता है। LPE SiC एपिटैक्सिअल फर्नेस, JSG, NASO एपिटैक्सियल फर्नेस सहित विभिन्न मशीन मॉडल के साथ संगत।
वेटेक सेमीकंडक्टर टीएसी-लेपित ग्रेफाइट वाहक सटीक प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री सुनिश्चित करता है, अशुद्धता प्रवास को रोकता है, और 2000 डिग्री सेल्सियस से परे तापमान स्थिरता बनाए रखता है। यह H2, NH3, SIH4 और SI के लिए उल्लेखनीय प्रतिरोध प्रदर्शित करता है, कठोर रासायनिक वातावरण के खिलाफ सुरक्षा। थर्मल झटके को समझते हुए, यह बिना कोटिंग के तेजी से परिचालन चक्रों को सक्षम बनाता है।
VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग अति-उच्च शुद्धता की गारंटी देती है, अशुद्धियों को समाप्त करती है, और कड़े आयामी सहनशीलता को पूरा करते हुए अनुरूप कवरेज सुनिश्चित करती है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उन्नत ग्रेफाइट प्रसंस्करण क्षमताओं के साथ, हम आपकी अनुकूलन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सुसज्जित हैं। चाहे आपको कोटिंग सेवाओं या व्यापक समाधानों की आवश्यकता हो, विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम आपके विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार है। अपनी आवश्यकताओं और अपेक्षाओं के अनुरूप उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए हम पर भरोसा करें।
PVT विधि SiC क्रिस्टल ग्रोथ:
TAC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक का उत्पाद पैरामीटर
टीएसी कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व
14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन
0.3
थर्मल विस्तार गुणांक
6.3 10-6/के
कठोरता (एचके)
2000 एच.के
प्रतिरोध
1 × 10-5ओम*सेमी
तापीय स्थिरता
<2500℃
ग्रेफाइट आकार बदलता है
-10 ~ -20UM
कोटिंग मोटाई
≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)
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