वेफर कैरियर के लिए सीवीडी सीआईसी लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर

1. उत्पाद लाभ

• उच्च शुद्धता सामग्री:सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइट सामग्री और सघन SiC कोटिंग संरचना संदूषण के जोखिम को कम करती है और CVD SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर की विश्वसनीयता में सुधार करती है।
• उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता:अनुकूलित ग्रेफाइट संरचना और SiC कोटिंग स्थिर गर्मी हस्तांतरण और समान वेफर तापमान नियंत्रण प्रदान करती है।
• बेहतर रासायनिक प्रतिरोध:घनी SiC कोटिंग प्रक्रिया गैसों और संक्षारक वातावरण के खिलाफ मजबूत प्रतिरोध प्रदान करती है।
• लंबी सेवा जीवन:उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध उच्च तापमान एपिटेक्सी स्थितियों के तहत स्थायित्व में सुधार करता है।
• निम्न कण उत्पादन:सघन CVD SiC सतह कण उत्सर्जन को कम करती है और वेफर प्रक्रिया की विश्वसनीयता में सुधार करती है।
• अनुकूलित डिज़ाइन क्षमता:उपकरण आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकारों, संरचनाओं और विन्यासों में उपलब्ध है।

2. तकनीकी विशिष्टताएँ

3. अनुप्रयोग

• SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया:ग्रेफाइट ससेप्टर का उपयोग SiC एपिटैक्सिअल उपकरण में वेफर वाहक के रूप में किया जाता है, जो उच्च तापमान वाले एपिटैक्सियल विकास के दौरान SiC सब्सट्रेट का समर्थन करता है।
• सिलिकॉन एपिटैक्सी प्रक्रिया:वेफर्स का समर्थन करने और स्थिर थर्मल स्थितियों को बनाए रखने के लिए सिलिकॉन एपिटैक्सियल रिएक्टरों में लागू किया जाता है।
• एमओसीवीडी एपिटैक्सी:VETEK ग्रेफाइट रिसेप्टर्स MOCVD, LED एपिटैक्सी, GaN एपिटैक्सी, सिलिकॉन एपिटैक्सी और अन्य सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त हैं जिनके लिए उत्कृष्ट तापीय एकरूपता और रासायनिक स्थिरता की आवश्यकता होती है।
• सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण:एलपीई क्षैतिज भट्टियां, ऐक्सट्रॉन, न्यूफ्लेयर और संबंधित अर्धचालक उपकरण सहित विभिन्न एपिटैक्सी प्लेटफार्मों के साथ संगत।

4. VETEK क्यों चुनें?

VETEK ग्रेफाइट शुद्धि, सटीक मशीनिंग, सीवीडी कोटिंग और निरीक्षण क्षमताओं को एकीकृत करते हुए अनुकूलित सीवीडी सीआईसी लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर समाधान प्रदान करता है। हमारे सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइट ससेप्टर उत्पादों में वेफर वाहक अनुप्रयोगों की मांग के लिए उच्च शुद्धता, समान कोटिंग मोटाई, उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन और लंबी सेवा जीवन की सुविधा है।