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सीवीडी टैसी लेपित ग्रेफाइट रिंग
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सीवीडी टैसी लेपित ग्रेफाइट रिंग

वेटेक्सेमिकॉन द्वारा सीवीडी टैसी कोटेड ग्रेफाइट रिंग को सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण की अत्यधिक मांगों को पूरा करने के लिए इंजीनियर किया गया है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) तकनीक का उपयोग करते हुए, उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट्स पर एक घनी और समान टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग लागू की जाती है, जो असाधारण कठोरता, पहनने के प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता को प्राप्त करती है। सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन में, सीवीडी टीएसी कोटेड ग्रेफाइट रिंग का व्यापक रूप से एमओसीवीडी, नक़्क़ाशी, प्रसार और एपिटैक्सियल ग्रोथ चैंबर्स में उपयोग किया जाता है, जो वेफर कैरियर्स, ससेप्टर्स और शील्डिंग असेंबली के लिए एक प्रमुख संरचनात्मक या सीलिंग घटक के रूप में कार्य करता है। आपके आगे के परामर्श की प्रतीक्षा में हूं।

सामान्य उत्पाद जानकारी

उत्पत्ति का स्थान:
चीन
ब्रांड का नाम:
मेरा प्रतिद्वंद्वी
मॉडल संख्या:
सीवीडी टैसी कोटेड ग्रेफाइट रिंग-01
प्रमाणीकरण:
ISO9001

उत्पाद व्यवसाय की शर्तें


न्यूनतम आदेश मात्रा:
बातचीत के अधीन
कीमत:
अनुकूलित कोटेशन के लिए संपर्क करें
पैकेजिंग विवरण:
मानक निर्यात पैकेज
डिलीवरी का समय:
डिलीवरी का समय: ऑर्डर की पुष्टि के 30-45 दिन बाद
भुगतान की शर्तें:
टी/टी
आपूर्ति की योग्यता:
200यूनिट/महीना


आवेदन: वेटेक्सेमिकॉन सीवीडी टीएसी कोटेड रिंग विशेष रूप से विकसित की गई हैSiC क्रिस्टल विकास प्रक्रियाएँ. उच्च तापमान प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर एक प्रमुख लोड-असर घटक के रूप में, इसकी अनूठी TaC कोटिंग प्रभावी ढंग से सिलिकॉन वाष्प संक्षारण को अलग करती है, अशुद्धता संदूषण को रोकती है, और दीर्घकालिक उच्च तापमान वातावरण में संरचनात्मक स्थिरता सुनिश्चित करती है, जो उच्च गुणवत्ता वाले क्रिस्टल प्राप्त करने के लिए एक विश्वसनीय गारंटी प्रदान करती है।


सेवाएँ जो प्रदान की जा सकती हैं: ग्राहक एप्लिकेशन परिदृश्य विश्लेषण, मिलान सामग्री, तकनीकी समस्या समाधान।


कंपनी प्रोफ़ाइलe:वेटेक्सेमिकॉन में 2 प्रयोगशालाएं हैं, 20 वर्षों के सामग्री अनुभव वाले विशेषज्ञों की एक टीम, अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन, परीक्षण और सत्यापन क्षमताओं के साथ।


वेटेक्सेमिकॉन सीवीडी टैसी कोटेड रिंग एक कोर उपभोज्य है जिसे उच्च तापमान रासायनिक वाष्प जमाव और उन्नत अर्धचालक सामग्री, विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड के क्रिस्टल विकास के लिए डिज़ाइन किया गया है। हम सघन, एकसमान जमा करने के लिए एक अद्वितीय, अनुकूलित रासायनिक वाष्प जमाव तकनीक का उपयोग करते हैंटैंटलम कार्बाइड कोटिंगउच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट पर। असाधारण उच्च तापमान प्रतिरोध, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और बेहद लंबी सेवा जीवन के साथ, यह उत्पाद प्रभावी ढंग से क्रिस्टल गुणवत्ता की रक्षा करता है और आपकी कुल उत्पादन लागत को काफी कम कर देता है, जिससे यह प्रक्रिया स्थिरता और उच्चतम उपज की आवश्यकता वाली प्रक्रियाओं के लिए एक आवश्यक विकल्प बन जाता है।


तकनीकी मापदंड:

परियोजना
पैरामीटर
मूलभूत सामग्री
आइसोस्टैटिक रूप से दबाया गया उच्च शुद्धता वाला ग्रेफाइट (शुद्धता ≥ 99.99%)
लेपित सामग्री
टैंटलम कार्बाइड
कोटिंग प्रौद्योगिकी
उच्च तापमान रासायनिक वाष्प जमाव
कोटिंग की मोटाई
मानक 30-100μm (प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है)
पूरी का लेप करेंस्व-परीक्षा
≥ 99.995%
अधिकतम परिचालन तापमान
2200°C (निष्क्रिय वातावरण या निर्वात)
मुख्य अनुप्रयोग
SiC PVT/LPE क्रिस्टल ग्रोथ, MOCVD, अन्य उच्च तापमान वाली CVD प्रक्रियाएं


वेटेक्सेमिकॉन सीवीडी टीएसी कोटेड रिंग के मुख्य फायदे


अद्वितीय शुद्धता और स्थिरता

SiC क्रिस्टल वृद्धि के चरम वातावरण में, जहां तापमान 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक है, यहां तक ​​कि थोड़ी सी भी अशुद्धियां पूरे क्रिस्टल के विद्युत गुणों को नष्ट कर सकती हैं। हमारासीवीडी टैसी कोटिंग, अपनी असाधारण शुद्धता के साथ, अंगूठी से संदूषण को मूल रूप से समाप्त कर देता है। इसके अलावा, इसकी उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता सुनिश्चित करती है कि कोटिंग लंबे समय तक उच्च तापमान और थर्मल साइक्लिंग के दौरान प्रक्रिया गैसों के साथ विघटित, अस्थिर या प्रतिक्रिया नहीं करेगी, जो क्रिस्टल विकास के लिए एक शुद्ध और स्थिर वाष्प चरण वातावरण प्रदान करती है।


उत्कृष्ट संक्षारण औरक्षरण प्रतिरोध

सिलिकॉन वाष्प द्वारा ग्रेफाइट का क्षरण पारंपरिक ग्रेफाइट रिंगों में विफलता और कण संदूषण का प्राथमिक कारण है। हमारी TaC कोटिंग, सिलिकॉन के साथ अपनी बेहद कम रासायनिक प्रतिक्रियाशीलता के साथ, सिलिकॉन वाष्प को प्रभावी ढंग से अवरुद्ध करती है, अंतर्निहित ग्रेफाइट सब्सट्रेट को क्षरण से बचाती है। यह न केवल रिंग के जीवन को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है, बल्कि, इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि, सब्सट्रेट जंग और स्पैलिंग द्वारा उत्पन्न कण पदार्थ को काफी कम कर देता है, जिससे सीधे क्रिस्टल विकास उपज और आंतरिक गुणवत्ता में सुधार होता है।


शानदार यांत्रिक प्रदर्शन और सेवा जीवन

सीवीडी प्रक्रिया द्वारा बनाई गई TaC कोटिंग में अत्यधिक उच्च घनत्व और विकर्स कठोरता होती है, जो इसे पहनने और शारीरिक प्रभाव के प्रति बेहद प्रतिरोधी बनाती है। व्यावहारिक अनुप्रयोगों में, हमारे उत्पाद पारंपरिक ग्रेफाइट रिंगों या पायरोलाइटिक कार्बन/सिलिकॉन कार्बाइड लेपित रिंगों की तुलना में सेवा जीवन को 3 से 8 गुना तक बढ़ा सकते हैं। इसका मतलब है प्रतिस्थापन के लिए कम डाउनटाइम और उच्च उपकरण उपयोग, जिससे एकल क्रिस्टल उत्पादन की कुल लागत में काफी कमी आती है।


उत्कृष्ट कोटिंग गुणवत्ता

किसी कोटिंग का प्रदर्शन उसकी एकरूपता और बंधन शक्ति पर अत्यधिक निर्भर होता है। हमारी अनुकूलित सीवीडी प्रक्रिया हमें सबसे जटिल रिंग ज्यामिति पर भी अत्यधिक समान कोटिंग मोटाई प्राप्त करने में सक्षम बनाती है। इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि कोटिंग उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट के साथ एक मजबूत धातुकर्म बंधन बनाती है, जो तेजी से हीटिंग और शीतलन चक्रों के दौरान थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर के कारण होने वाले छीलने, टूटने या झड़ने को प्रभावी ढंग से रोकती है, जिससे उत्पाद के पूरे जीवन चक्र में निरंतर विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित होता है।


पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन समर्थन

वेटेक्सेमिकॉन सीवीडी टीएसी कोटेड रिंग' पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन उत्पादन के लिए कच्चे माल को कवर करता है, अंतरराष्ट्रीय मानक प्रमाणीकरण पारित कर चुका है, और सेमीकंडक्टर और नई ऊर्जा क्षेत्रों में इसकी विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए कई पेटेंट प्रौद्योगिकियां हैं।


मुख्य अनुप्रयोग फ़ील्ड

आवेदन दिशा
विशिष्ट परिदृश्य
SiC क्रिस्टल वृद्धि
पीवीटी (भौतिक वाष्प परिवहन) और एलपीई (तरल चरण एपिटैक्सी) विधियों द्वारा उगाए गए 4H-SiC और 6H-SiC एकल क्रिस्टल के लिए कोर सपोर्ट रिंग।
SiC एपिटैक्सी पर GaN
MOCVD रिएक्टर में एक वाहक या असेंबली।
अन्य उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाएं
यह किसी भी उन्नत अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया के लिए उपयुक्त है जिसके लिए उच्च तापमान और अत्यधिक संक्षारक वातावरण में ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सुरक्षा की आवश्यकता होती है।


कृपया विस्तृत तकनीकी विशिष्टताओं, श्वेत पत्र, या नमूना परीक्षण व्यवस्था के लिएहमारी तकनीकी सहायता टीम से संपर्क करेंयह पता लगाने के लिए कि वेटेकसेमिकॉन आपकी प्रक्रिया दक्षता को कैसे बढ़ा सकता है।


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    वांग्डा रोड, ज़ियांग स्ट्रीट, वुयी काउंटी, जिंहुआ शहर, झेजियांग प्रांत, चीन

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    +86-15988690905

  • ईमेल

    anny@veteksemi.com

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