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सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म
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सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म

हमारे सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) रोबोटिक आर्म को उन्नत अर्धचालक विनिर्माण में उच्च-प्रदर्शन वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड से बना, यह रोबोटिक आर्म उच्च तापमान, प्लाज्मा संक्षारण और रासायनिक हमले के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करता है, जो क्लीनरूम वातावरण की मांग में विश्वसनीय संचालन सुनिश्चित करता है। इसकी असाधारण यांत्रिक शक्ति और आयामी स्थिरता संदूषण जोखिमों को कम करते हुए सटीक वेफर हैंडलिंग को सक्षम करती है, जिससे यह MOCVD, एपिटैक्सी, आयन आरोपण और अन्य महत्वपूर्ण वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श विकल्प बन जाता है। हम आपकी पूछताछ का स्वागत करते हैं।

Veteksemicon का सिलिकॉन कार्बाइड रोबोटिक आर्म एक उच्च अंत सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण समाधान है जिसे विशेष रूप से कठोर औद्योगिक वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। उन्नत उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री प्रौद्योगिकी का उपयोग करते हुए, यह उच्च तापमान, संक्षारक वातावरण और अल्ट्रा-हाई वैक्यूम स्थितियों में असाधारण स्थिरता और स्थायित्व को प्रदर्शित करता है। वेफर हैंडलिंग, नक़्क़ाशी, और बयान प्रक्रियाओं में एक प्रमुख घटक के रूप में, हमारी रोबोट आर्म उत्पादकता में काफी सुधार करती है और रखरखाव की लागत को कम करती है।


Ⅰ। तकनीकी मापदंड


परियोजना
पैरामीटर
सामग्री
उच्च शुद्धता sic
सतह की कठोरता
2800-3200 एच.वी.
भार क्षमता
3 किग्रा/5 किग्रा/10 किग्रा (विभिन्न विनिर्देश उपलब्ध)
ऊष्मीय चालकता
ऊष्मीय चालकता
प्रतिरोधकता
10^3-10^5 ω; सेमी
लागू वातावरण
उच्च तापमान, प्लाज्मा, संक्षारक गैस, अल्ट्रा-हाई वैक्यूम
पोजिशनिंग सटीकता को दोहराएं
± 0.02 मिमी

Ⅱ। Veteksemicon सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म कोर लाभ


1। चरम पर्यावरण सहिष्णुता

हमारा रोबोट आर्म एक विशिष्ट रूप से तैयार किए गए एसआईसी कोटिंग का उपयोग करता है जो कई उच्च-तापमान बयान प्रक्रियाओं से गुजरता है, जिससे यह 1500 डिग्री सेल्सियस के निरंतर तापमान पर संरचनात्मक अखंडता बनाए रखने में सक्षम होता है और प्लाज्मा बमबारी और मजबूत एसिड और क्षारीय वातावरण से प्रभावी रूप से जंग का विरोध करता है। यह मौलिक रूप से पारंपरिक सामग्रियों के दर्द बिंदुओं को संबोधित करता है जो उम्र बढ़ने के लिए प्रवण होते हैं और अत्यधिक काम करने वाली परिस्थितियों में एक छोटा जीवनकाल होता है।


2। उत्कृष्ट यांत्रिक गुण

ग्रेफाइट सब्सट्रेट और एसआईसी कोटिंग की एक समग्र संरचना को अपनाने से, हमने हाथ से बहुत हल्के होने के साथ -साथ धातु सामग्री से अधिक कठोरता हासिल की है। यह डिज़ाइन यह सुनिश्चित करता है कि रोबोट आर्म की विरूपण उच्च गति वाले पारस्परिक गति के दौरान बहुत छोटा है, प्रभावी रूप से घबराहट को दबाकर, जिससे ± 0.02 मिमी के भीतर रिपीट पोजिशनिंग सटीकता को दृढ़ता से नियंत्रित किया जाता है, जिससे सटीक वेफर्स के सुरक्षित संचरण को सुनिश्चित होता है।


3। अल्ट्रा-हाई स्वच्छता

हम समझते हैं कि पार्टिकुलेट संदूषण उपज का नंबर एक हत्यारा है। इसलिए, प्रत्येक रोबोट आर्म सटीक पॉलिशिंग और विशेष सतह उपचार से गुजरता है, जिसके परिणामस्वरूप सतह का खुरदरापन 0.1μm से कम है। कोटिंग सुरक्षित रूप से पालन करती है, जिससे छीलने के किसी भी जोखिम को रोका जाता है। हमारे उत्पाद 100% स्वच्छता-परीक्षण किए गए हैं, पूरी तरह से अल्ट्रा-हाई क्लीनरूम आवश्यकताओं को पूरा करते हैं और अत्याधुनिक उत्पादन लाइनों में उपयोग के लिए तैयार हैं।


4। लंबी सेवा जीवन

3000 एचवी की एसआईसी की अंतर्निहित कठोरता और उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध के लिए धन्यवाद, हमारे रोबोट हथियार हजारों गति चक्रों के दसियों बाद भी न्यूनतम प्रदर्शन में गिरावट का अनुभव करते हैं। उनकी सेवा जीवन कई बार साधारण सिरेमिक या एल्यूमीनियम मिश्र धातु घटकों की है, प्रतिस्थापन और रखरखाव के लिए डाउनटाइम को काफी कम कर रहा है, हमारे ग्राहकों के लिए महत्वपूर्ण समग्र लागत-प्रभावशीलता प्रदान करता है।


Ⅲ। मुख्य अनुप्रयोग फ़ील्ड


अनुप्रयोग दिशा
विशिष्ट परिदृश्य
Sएमिकॉन्डक्टर विनिर्माण
वेफर हैंडलिंग, ट्रांसफर और पोजिशनिंग
नेतृत्व का उत्पादन
MOCVD प्रतिक्रिया कक्ष घटक
फोटोवोल्टिक उद्योग
PECVD, प्रसार प्रक्रिया
एयरोस्पेस
उच्च तापमान परीक्षण वातावरण में स्वचालित प्रसंस्करण

Veteksemicon सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म 'इकोलॉजिकल चेन वेरिफिकेशन ने कच्चे माल को उत्पादन के लिए कवर किया है, अंतर्राष्ट्रीय मानक प्रमाणन पारित किया है, और अर्धचालक और नए ऊर्जा क्षेत्रों में अपनी विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए कई पेटेंट तकनीकें हैं। किसी भी समय हमसे परामर्श करने के लिए आपका स्वागत है।


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    anny@veteksemi.com

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