सीवीडी एसआईसी लेपित आरटीपी सुसेप्टर

विशेषताएँ

• थर्मल एकरूपता - सामग्री की उच्च तापीय प्रसारशीलता तेजी से, स्थानिक रूप से समान गर्मी हस्तांतरण को सक्षम बनाती है, जो दोहराए जाने योग्य वेफर तापमान प्रोफाइल का समर्थन करती है।
• उच्च शुद्धता स्तर - सीवीडी SiC कोटिंग 99.99995% की शुद्धता प्राप्त करती है, जो महत्वपूर्ण प्रक्रिया चरणों में मोबाइल आयन और धातु संदूषण जोखिमों को प्रभावी ढंग से कम करती है।
• रासायनिक स्थायित्व - कोटिंग ऊंचे तापमान के तहत हैलोजन आधारित गैसों सहित संक्षारक प्रजातियों के लिए मजबूत प्रतिरोध प्रदर्शित करती है। विस्तारित सेवा अंतराल - बढ़ी हुई ऑक्सीकरण और पहनने के प्रतिरोध कम प्रतिस्थापन और कम टूल डाउनटाइम में अनुवाद करते हैं।
• डिज़ाइन लचीलापन - विशिष्ट आरटीपी चैम्बर ज्यामिति और वेफर आकार से मेल खाने के लिए आयाम और कॉन्फ़िगरेशन को अनुकूलित किया जा सकता है।

अनुप्रयोग

• रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी)
• रैपिड थर्मल एनीलिंग (आरटीए)
• डोपेंट सक्रियण ऑक्सीकरण और एनीलिंग चरण
• इंटीग्रेटेड सर्किट (आईसी) विनिर्माण
• पावर डिवाइस निर्माणतकनीकी

विशेष विवरण

वीटेक सेमीकंडक्टर क्यों चुनें?

· इन-हाउस सीवीडी SiC कोटिंग प्रक्रिया विशेष रूप से सेमीकंडक्टर-ग्रेड आवश्यकताओं के लिए विकसित की गई है।

· ग्रेफाइट शुद्धि, सटीक मशीनिंग और कोटिंग मोटाई नियंत्रण के लिए एकीकृत क्षमताएं।

· बैच उत्पादन में सिद्ध कोटिंग आसंजन और परत एकरूपता।

· प्रमुख आरटीपी टूल प्लेटफार्मों के साथ संगत कस्टम ससेप्टर डिजाइन के लिए इंजीनियरिंग समर्थन।

· कठोर आने वाली सामग्री का निरीक्षण, प्रक्रिया में निगरानी, ​​और अंतिम योग्यता परीक्षण बैच-टू-बैच स्थिरता सुनिश्चित करते हैं।