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Cvd sic पैनकेक सूस्विनर
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Cvd sic पैनकेक सूस्विनर

चीन में CVD SIC Pancake Susceptor उत्पादों के एक प्रमुख निर्माता और इनोवेटर के रूप में। वेटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी एसआईसी पैनकेक सूसप्लेर, सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए डिज़ाइन किए गए डिस्क-आकार के घटक के रूप में, उच्च तापमान वाले एपिटैक्सियल बयान के दौरान पतले अर्धचालक वेफर्स का समर्थन करने के लिए एक महत्वपूर्ण तत्व है। Vetek सेमीकंडक्टर उच्च गुणवत्ता वाले SIC पैनकेक सूसोसेप्टर उत्पाद प्रदान करने और प्रतिस्पर्धी कीमतों पर चीन में अपने दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए प्रतिबद्ध है।

यह अर्धचालक सीवीडी एसआईसी पैनकेक सूसप्लेर को उत्कृष्ट स्थायित्व और चरम तापमान अनुकूलनशीलता सुनिश्चित करने के लिए नवीनतम रासायनिक वाष्प बयान (सीवीडी) तकनीक का उपयोग करके निर्मित किया जाता है। निम्नलिखित इसके मुख्य भौतिक गुण हैं:


● तापीय स्थिरता: सीवीडी एसआईसी की उच्च थर्मल स्थिरता उच्च तापमान स्थितियों के तहत स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक: सामग्री में एक बेहद कम थर्मल विस्तार गुणांक होता है, जो तापमान में बदलाव के कारण होने वाले युद्ध और विरूपण को कम करता है।

● रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध: उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध इसे विभिन्न प्रकार के कठोर वातावरण में उच्च प्रदर्शन बनाए रखने में सक्षम बनाता है।


सटीक समर्थन और अनुकूलित गर्मी हस्तांतरण

Veteksemi के पैनकेक सस्पेक्टर आधारित SIC कोटेड को अर्धचालक वेफर्स को समायोजित करने और एपिटैक्सियल बयान के दौरान उत्कृष्ट समर्थन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। एसआईसी पैनकेक सूसोसेक्टर को विभिन्न तापमान और दबाव की स्थिति के तहत युद्ध और विरूपण को कम करने के लिए उन्नत कम्प्यूटेशनल सिमुलेशन तकनीक का उपयोग करके डिज़ाइन किया गया है। इसका विशिष्ट थर्मल विस्तार गुणांक लगभग 4.0 × 10 है-6/° C, जिसका अर्थ है कि इसकी आयामी स्थिरता उच्च तापमान वाले वातावरण में पारंपरिक सामग्रियों की तुलना में काफी बेहतर है, जिससे वेफर मोटाई (आमतौर पर 200 मिमी से 300 मिमी) की स्थिरता सुनिश्चित होती है।


इसके अलावा, सीवीडी पैनकेक सूसोसेप्टर गर्मी हस्तांतरण में उत्कृष्टता प्राप्त करता है, जिसमें 120 w/m · K तक की थर्मल चालकता है। यह उच्च तापीय चालकता जल्दी और प्रभावी रूप से गर्मी का संचालन कर सकती है, भट्ठी के भीतर तापमान एकरूपता को बढ़ा सकती है, एपिटैक्सियल बयान के दौरान समान गर्मी वितरण सुनिश्चित करती है, और असमान गर्मी के कारण होने वाले दोषों को कम करती है। अनुकूलित गर्मी हस्तांतरण प्रदर्शन बयान गुणवत्ता में सुधार के लिए महत्वपूर्ण है, जो प्रभावी रूप से प्रक्रिया में उतार -चढ़ाव को कम कर सकता है और उपज में सुधार कर सकता है।


इन डिजाइन और प्रदर्शन अनुकूलन के माध्यम से, वेटेक सेमीकंडक्टर के सीवीडी एसआईसी पैनकेक सूसोसेप्टर सेमीकंडक्टर विनिर्माण के लिए एक ठोस आधार प्रदान करता है, कठोर प्रसंस्करण की स्थिति के तहत विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करता है और उच्च सटीक और गुणवत्ता के लिए आधुनिक सेमीकंडक्टर उद्योग की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करता है।


Cvd sic फिल्म क्रिस्टल संरचना

CVD SiC Pancake Susceptor FILM CRYSTAL STRUCTURE


सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व
3.21 ग्राम/सेमी।
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500g लोड)
अनाज आकार
2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
ताप की गुंजाइश
640 जे · किग्रा-1· K-1
उच्चता तापमान
2700 ℃
आनमनी सार्मथ्य
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक
430 GPA 4pt बेंड, 1300 ℃
ऊष्मीय चालकता
300W · एम-1· K-1
थर्मल विस्तार
4.5 × 10-6K-1


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