PECVD के लिए ग्रेफाइट नाव

आवेदन: पीईसीवीडी के लिए वेटेक्सेमिकॉन ग्रेफाइट नाव प्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रिया में एक मुख्य घटक है। इसे विशेष रूप से सिलिकॉन वेफर्स, यौगिक अर्धचालकों और डिस्प्ले पैनल सबस्ट्रेट्स पर उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन नाइट्राइड, सिलिकॉन ऑक्साइड और अन्य पतली फिल्मों को जमा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसका प्रदर्शन सीधे तौर पर फिल्म की एकरूपता, प्रक्रिया स्थिरता और उत्पादन लागत को निर्धारित करता है।

सेवाएँ जो प्रदान की जा सकती हैं: ग्राहक एप्लिकेशन परिदृश्य विश्लेषण, मिलान सामग्री, तकनीकी समस्या समाधान।

कंपनी प्रोफाइल：वेटेक्सेमिकॉन में 2 प्रयोगशालाएं हैं, 20 वर्षों के सामग्री अनुभव वाले विशेषज्ञों की एक टीम, अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन, परीक्षण और सत्यापन क्षमताओं के साथ।

सामान्य उत्पाद जानकारी

उत्पाद व्यवसाय की शर्तें

मुख्य अनुप्रयोग फ़ील्ड

पीईसीवीडी के मुख्य लाभों के लिए वेटेक्सेमिकॉन ग्रेफाइट नाव

1. उच्च शुद्धता वाले सब्सट्रेट, स्रोत से प्रदूषण को नियंत्रित करते हैं

हम आधार सामग्री के रूप में 99.995% से अधिक की स्थिर शुद्धता के साथ आइसोस्टैटिक रूप से दबाए गए उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट का उपयोग करने पर जोर देते हैं ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि यह 1600 डिग्री सेल्सियस के निरंतर ऑपरेटिंग वातावरण में भी धातु की अशुद्धियों को जमा नहीं करेगा। यह कठोर सामग्री आवश्यकता सीधे वाहक संदूषण के कारण होने वाले वेफर प्रदर्शन में गिरावट से बच सकती है, जो उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन नाइट्राइड या सिलिकॉन ऑक्साइड फिल्मों को जमा करने के लिए सबसे बुनियादी गारंटी प्रदान करती है।

2. प्रक्रिया की एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए सटीक थर्मल क्षेत्र और संरचनात्मक डिजाइन

व्यापक द्रव सिमुलेशन और प्रक्रिया माप डेटा के माध्यम से, हमने नाव के स्लॉट कोण, गाइड ग्रूव गहराई और गैस प्रवाह पथ को अनुकूलित किया है। यह सावधानीपूर्वक संरचनात्मक विचार वेफर्स के बीच प्रतिक्रियाशील गैसों के समान वितरण को सक्षम बनाता है। वास्तविक माप से पता चलता है कि पूर्ण लोड पर, एक ही बैच में वेफर्स के बीच फिल्म की मोटाई की एकरूपता विचलन को ±1.5% के भीतर स्थिर रूप से नियंत्रित किया जा सकता है, जिससे उत्पाद की उपज में काफी सुधार होता है।

3. विशिष्ट प्रक्रिया क्षरण को संबोधित करने के लिए अनुकूलित कोटिंग समाधान

विभिन्न ग्राहकों के विभिन्न प्रक्रिया गैस वातावरण को पूरा करने के लिए, हम दो परिपक्व कोटिंग विकल्प प्रदान करते हैं: पायरोलाइटिक कार्बन और सिलिकॉन कार्बाइड। यदि आप मुख्य रूप से सिलिकॉन नाइट्राइड जमा करते हैं और हाइड्रोजन सफाई का उपयोग करते हैं, तो घने पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग हाइड्रोजन प्लाज्मा क्षरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान कर सकती है। यदि आपकी प्रक्रिया में फ्लोरीन युक्त सफाई गैसें शामिल हैं, तो उच्च कठोरता वाली सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग एक बेहतर विकल्प है। यह अत्यधिक संक्षारक वातावरण में ग्रेफाइट नाव की सेवा जीवन को सामान्य अनकोटेड उत्पादों की तुलना में तीन गुना से अधिक तक बढ़ा सकता है।

4. उत्कृष्ट थर्मल शॉक स्थिरता, लगातार तापमान चक्रों के अनुकूल

हमारे अद्वितीय ग्रेफाइट फॉर्मूला और आंतरिक सुदृढीकरण रिब डिजाइन के लिए धन्यवाद, हमारी ग्रेफाइट नावें पीईसीवीडी प्रक्रिया के बार-बार होने वाले तीव्र शीतलन और हीटिंग झटके का सामना कर सकती हैं। कठोर प्रयोगशाला परीक्षणों में, कमरे के तापमान से 800 डिग्री सेल्सियस तक 500 तीव्र तापीय चक्रों के बाद, नाव की लचीली शक्ति प्रतिधारण दर अभी भी 90% से अधिक है, जो थर्मल तनाव के कारण होने वाली दरार से प्रभावी ढंग से बचती है और उत्पादन निरंतरता और सुरक्षा सुनिश्चित करती है।

5. पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन समर्थन

PECVD' पारिस्थितिक श्रृंखला सत्यापन के लिए वेटेक्सेमिकॉन ग्रेफाइट नाव उत्पादन के लिए कच्चे माल को कवर करती है, अंतरराष्ट्रीय मानक प्रमाणीकरण पारित कर चुकी है, और अर्धचालक और नई ऊर्जा क्षेत्रों में इसकी विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए कई पेटेंट प्रौद्योगिकियां हैं।

विस्तृत तकनीकी विशिष्टताओं, श्वेत पत्रों, या नमूना परीक्षण व्यवस्थाओं के लिए, कृपया हमारी तकनीकी सहायता टीम से संपर्क करें ताकि पता लगाया जा सके कि वेटेक्सेमिकॉन आपकी प्रक्रिया दक्षता को कैसे बढ़ा सकता है।